Inhaltsverzeichnis
Werbung
Gebruik van de Turbo-V 2K-G
Hoe wordt het systeem gestart
Controleer, alvorens het systeem te starten, of de I/O
contraconncetor verwijderd is. Als het systeem verbonden is
met een remote I/O, controleer dan of het STOP signaal actief
is (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical
Information").
Start het systeem via de volgende stappen:
1.
verwijder de I/O contraconnector (indien aanwezig)
2.
sluit het voedingsnet aan
3.
breng de druk in de vacuümkamer op 0,1 mbar
4.
geef aan de Turbo-V 2K-G het START signaal op een
van de volgende manieren:
a.
sluit de bijgeleverde I/O contraconnector aan
b.
geeft het START signaal op afstand via de I/O
connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de
bijlage "Technical Information")
c.
geef het START signaal op afstand via de seriële
interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485
Communication
"Technical Information").
GEVAAR!
Wanneer de voeding wordt geleverd en de bijgeleverde 15-pin
connector is ingebracht, start de Turbo-V 2K-G automatisch.
!
De controller wordt reeds mechanisch en elektrisch aan de
pomp verbonden geleverd. De controller kan slechts van het
pomplichaam worden gescheiden door hiertoe bevoegd
personeel van Varian Vacuum Technologies.
OPMERKING
Wanneer de Turbo-V 2K-G voor de eerste keer wordt gestart,
start de controller automatisch het systeem met een speciale
procedure die de lagers tegen mogelijke schade beschermt
(SOFT START). Het systeem wordt via opeenvolgende stappen
op volle snelheid gebracht, in een tijdsbestek dat van 10
minuten tot 1 uur kan variëren. Nadat het systeem de volle
snelheid heeft bereikt, wordt de "soft start" procedure
ontmachtigd en worden de volgende starten op de normale
wijze uitgevoerd.
OPMERKING
Om de beveiligingsgraad IP-54 te behouden, mogen uitsluitend
de bij de pomp geleverde connectoren gebruikt worden.
Gebruik voor de voedingskabel uitsluitend de PN 969-9957 of
969-9958, en bevestig de kabel aan de controller met behulp
van de hiervoor bestemde opsluitbeugel (zie volgende figuur).
Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard
stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te
voldoen aan de vereisten van de EG-normen.
Description"
in
de
bijlage
ATTENTIE!
Het systeem is voorzien van een groene LED die door een
statussignaal wordt aangestuurd.
De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de Turbo-
V 2K-G geeft door de frequentie van zijn knipperen, de
werkcondities van het systeem aan:
-
brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
-
knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem
is in de status "oploop" of "remmen" of "stop" of "waiting for
interlock";
-
knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Hoe wordt de Turbo-V 2K-G gestopt
Om de pomp te stoppen, kan één van de volgende methoden
worden gebruikt:
1.
verwijdering van de bijgeleverde I/O contraconnector
2.
verzending van een STOP signaal op afstand via de I/O
connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage
"Technical Information")
3.
verzending van een STOP signaal op afstand via de
seriële interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485
Communication Description" in de bijlage "Technical
Information").
Noodstop
Om de Turbo-V 2K-G in noodomstandigheden te stoppen, moet
de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden.
ONDERHOUD
De Turbo-V 2K-G is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden
moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
24
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
GEVAAR!
OPMERKING
87-900-968-01(C)
Werbung
Inhaltsverzeichnis
