Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Varian Turbo-V 2K-G Bedienungshandbuch Seite 36

Turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

Werbung

INSTALLATION
VARNING!
På grund av vikten måste pumpen flyttas med hjälp av lämpliga
lyft-
och
flytthjälpmedel.
fastskruvade i de gängade hålen på pumphuset.
!
VIKTIGT !
Ta inte bort skruvlocket förrän turbopumpen ansluts till
systemet.
Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för
påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva
gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
-
maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
-
temperatur: från +5°C till +40°C (se bild i "Technical
Information")
-
relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan "Technical information" för ytterligare
upplysningar. Turbo-V 2K-G måste anslutas till en huvudpump
(se schemat i "Technical information").
Turbo-V 2K-G kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 10600 Nm kring sin
axel.
Turbopumpen
med
ISO
vakuumkammaren med bultar. I följande tabell anges hur
många bultar som behövs samt åtdragningsmoment som
rekommenderas av Varian.
FLÄNS
TYP AV
KLAMMER
ISO 250 F
M10 bult
OBSERVERA
Turbo-V 2K-G kan inte fästas med hjälp av sitt fundament.
Systemet kan endast fästas med hjälp av flänsen ISO 250F.
Fastsättningen måste ske i överensstämmelse med ISO-
standard 1609. Stålbultar med en sträckgräns på 500 N/mm²
måste användas.
Använd
lyftöglorna
som
intagsfläns
måste
fästas
ANT.
ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
12
22 Nm
Turbo-V 2K-G tillhör den andra installationsklassen (eller ö-
verspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut där-
för anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna
klass.
är
Använd
de
medlevererade
kapslingklass IP54.
Turbo-V
2K-G
ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen
som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går att
komma åt någon spänningsförande del. Kontrollera att
anordningen som är ansluten till Turbo-V 2K-G har en lämplig
isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
Installation
av
Information".
ANVÄNDNING
Anvisningar
för
bruksanvisning.
Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och
pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får
temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 80°C.
När pumpen är i funktion får temperaturen på rotorn aldrig
överstiga 120 ¡C. Användaren måste vara noga med välja rätt
funktionssätt beroende på vilken gas som ska pumpas: 1 för
kväve och lättare gaser, 0 för argon (standard). För ytterligare
information, se bilagan "Technical Information".
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad
till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.
Undvik
sammanstötningar,
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
vid
Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från
damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr
måsteunderstiga 1 bar (utöver det atmosfäriska trycket).
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
"Technical information").
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller
radioaktiva
anvisningarna för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
Pumpen är konstruerad för att pumpa stora mängder kväve,
argon och lättare gaser.
Om du skulle behöva pumpa gaser som är tyngre än argon,
kontakta Varians tekniska service för information.
31
BRUKSANVISNING
!
VIKTIGT !
kontakterna
för
är
utrustad
med
kontaktdon
tillbehörsutrustning
beskrivs
riktig
användning
finns
i
VARNING!
!
VIKTIGT!
svängningar
eller
VARNING!
gaser,
bör
man
följa
87-900-968-01(C)
att
uppnå
för
i
"Technical
styrenhetens
plötsliga
de
särskilda

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Diese Anleitung auch für:

969-8871969-8873

Inhaltsverzeichnis