Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Varian Turbo-V 2K-G Bedienungshandbuch Seite 69

Turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Uporaba Turbo-V 2K-G
Zagon sistema
Preden sistem zaženete se prepričajte, da je I/O priključek
izključen. Če je sistem povezan na oddaljen I/O, se prepričajte,
da je na voljo stop signal (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v
prilogi "Tehničnih informacij").
Za zagon sistema sledite naslednjim korakom:
5.
izključite (če je na voljo) sistemski I/O priključek
6.
priključite napetost
7.
izčrpajte vakuumsko posodo do 0.1 mbar
8.
oddajte signal za začetek z enim od naslednjih načinov:
a.
Priključite priložen I/O priključek
b.
Oddajte oddaljeni signal za zagon preko I/O
priključka (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v
prilogi "Tehničnih informacij").
c.
Oddajte oddaljeni signal za zagon preko RS
232/485 serijskega vmesnika (glej odstavek
"RS232/RS 485 Opis komunikacij" v prilogi
"Tehničnih informacij").
OPOZORILO
Ko je dovedena napetost in je vstavljen tovarniško privzeti 15
pin se Turbo-V 2K-G samodejno zažene.
!
Upravljalec je mehansko in elektronsko povezan na črpalko.
Odstranjevanje upravljalca iz črpalke mora izvesti samo poo-
blaščeno osebje Varian Vacuum Technologies.
OPOMBA
Ko prvič zaženete Turbo-V 2K-G, kontrolna enota samodejno
zažene sistem s posedbno proceduro, ki zavaruje tečaje proti
poškodbam (SOFT START) Sistem se po korakih zažene do
polne hitrosti v času od 10 minut do 1 ure. Ko sistem doseže
polno hitrost se mehki zagon onemogoči in naslednji zagoni so
normalni.
OPOMBA
Za vzdrževanje IP-54 zaščitnega nivoja morate uporabljati
samo priključke, ki so bili zraven črpalke. Uporabite priključke
PN: 969-9957 ali 969-9958 za napetostni kabel, ki ga pritrdite
na upravljalec s posebnim nosilcem (glej naslednjo skico).
Uporabljajte ta kabel in vtikač skupaj s primerno ozemljeno
vtičnico, tako, da vas tok ne strese in da zadovoljite EU
predpisom.
!
POZOR
Sistem ima zeleni statusni signal
Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Turbo-V 2K-
G, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema:
Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;
Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v
stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for
interloc«;
Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka.
Zaustavljanje sistema
Za zaustavljanje sistema lahko uporabite eno od naslednjih
metod:
4.
priključite priložen I/O priključek
5.
oddajte oddaljeni signal za zagon preko I/O priključka (glej
odstavek
"J1-REMOTE
informacij").
6.
Oddajte oddaljeni signal za zagon preko RS 232/485
serijskega vmesnika (glej odstavek "RS232/RS 485 Opis
komunikacij" v prilogi "Tehničnih informacij").
Zaustavitev v sili
Za zaustavitev naprave Turbo-V 2K-G v sili morate odstraniti
napetost.
VZDRŽEVANJE
Turbo-V 2K-G ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na
sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti,
prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte,
da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura
črpalke pade pod 50 °C.
V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki
vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim.
Preden odnesete sistem na popravilo ali zamenjavo z drugo
enoto, morate izpolniti »Health and Safety« obrazec, ki je pri-
ložen navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni. Pred
pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema.
Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi stan-
dardi.
64
NAVODILA ZA UPORABO
I/O"
v
prilogi
"Tehničnih
OPOZORILO
!
OPOMBA
87-900-968-01(C)

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Diese Anleitung auch für:

969-8871969-8873

Inhaltsverzeichnis