Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Varian Turbo-V 2K-G Bedienungshandbuch Seite 64

Turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

Werbung

INŠTALÁCIA
VAROVANIE!
Kvôli jej váhe, s vývevou manipulujte s pomocou vhodných
pomôcok a nástrojov.
Použite závesné očká zaskrutkované do otvorov v telese
vývevy.
!
UPOZORNENIE
Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.
Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom
vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny,
ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké
riziko
požiaru.
Počas
činnosti
zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia:
maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického
tlaku
teplota vzduchu: od +5 °C do +40 °C
relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú
v dodatku „Technické informácie".
Zariadenie Turbo-V 2K-G sa musí pripojiť k primárnej výveve
(pozri „Technické informácie").
Zariadenie Turbo-V 2K-G môže byť nainštalované v ľubovoľnej
polohe. Upevnite Turbo-V 2K-G do stabilnej polohy pripojením
vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak,
aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 10600 Nm okolo
svojej osi.
Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou skrutiek. Nasledujúca tabuľka
uvádza potrebný počet skrutiek a relevantný uťahovací točivý
moment.
PRÍRUBA
UPEVŇOVACÍ
MECHANIZMUS
ISO 250 F
skrutky M10
POZNÁMKA
Turbo-V 2K-G nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky.
Systém možno upevniť len pomocou jeho ISO príruby 250F.
Upevnenie musí byť prevedené podľa normy ISO 1609.
Musia byť použité oceľové skrutky s pevnosťou v ťahu najmenej
2
500 N/mm
.
zariadenia
je
potrebné
POČET
UŤAHOVACÍ
KRÚTIACI
MOMENT
12
22 Nm
!
Zariadenie
Turbo-V
(prepäťovej) kategórie podľa smernice EN 61010-1. Zariadenie
je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje
uvedenej kategórii.
Zariadenie Turbo-V 2K-G má konektory pre vstup/výstup
a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť
k vonkajším okruhom tak, aby nebola dostupná žiadna
elektrická súčasť.
Pre získanie úrovne ochrany IP-54 použite dodané protikusy
konektorov.
Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k Turbo-V 2K-G má
adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa
smernice EN 61010-1.
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku "Technické
Informácie".
POUŽITIE
Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia.
Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické
a pneumatické pripojenia.
Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory
nesmie prekročiť 80 °C.
Počas prevádzky vývevy teplota rotora nesmie prekročiť 120
°C. Používateľ musí zvoliť správny plynový režim, podľa aký
plyn sa čerpá. 1 pre N
nastavenie). Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie".
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je
pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho
príslušenstva.
popáleniny
!
Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená
nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa
poškodiť ložiská.
Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu,
zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe
musí byť nižší než 1 bar (pretlakový).
Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie
agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného
plynu (napríklad N
, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri
2
dodatok „Technické informácie").
Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých
alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované
postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Výveva
je navrhnuté pre veľké prietoky dusíka, argónu a ľahkých
plynov. Ak potrebujete čerpať plyn ťažší ako argón, informujte
sa u technickej podpory firmy Varian.
59
NÁVOD K POUŽITIU
UPOZORNENIE
2K-G
patrí
do
druhej
a ľahké plyny, 0 pre argón (východzie
2
VAROVANIE!
Vysoké
teploty
môžu
UPOZORNENIE
VAROVANIE!
87-900-968-01(C)
inštalačnej
spôsobiť

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Diese Anleitung auch für:

969-8871969-8873

Inhaltsverzeichnis