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6
Technische Grundlagen
6.1
Leistungsparameter von MINISCALE PLUS
Max. Beschleunigung
Max. Geschwindigkeit
Vorspannklassen
Genauigkeitsklassen
Materialien
- Schiene, Wagen, Kugeln
- Kugelumlenkungen
Einsatzbereiche
- Temperaturbereich
(1)
- Vakuum
- Luftfeuchtigkeit
- Reinraum
Auflösung
Genauigkeit
(2)
Wiederholgenauigkeit
(2)
Massverkörperung
Versorgungsspannung
Stromaufnahme (typisch)
Ausgangssignal
Ausgangsformat
Die Standardschmierung deckt einen Temperaturbereich von -20 °C bis +80 °C ab. Schmierungen für andere Tempe ra turen
(1)
können bei SCHNEEBERGER angefragt werden.
Die Werte gelten bei 20 °C (68 °F) Raumtemperatur.
(2)
Beachten Sie die hohen Signalfrequenzen bei hoher Auflösung und hoher Geschwindigkeit.
(3)
Linearitätsprotokoll auf Anfrage
(4)
6.2
Systemgenauigkeit
24
300 m/s
2
5 m/s analog, 3.2 m/s digital
V1
Vorspannung 0 bis 0.03 C
G1
rostbeständiger, durchgehärteter Stahl
POM
-40 °C bis +80 °C (-40 °F bis +176 °F)
auf Anfrage
10 % bis 70 % (nicht kondensierend)
Reinraumklasse ISO 7 oder ISO 6 (gem. ISO 14644-1)
TTL Ausgang
1000 mm
unidirektional
bidirektional
Teilung
Max. Länge
Ausdehnungskoeffizient
5 V DC +/- 5 %
60 mA (analog) / 90 mA (digital)
Analog:
1 Vss (an 120 Ω)
Digital:
TTL entsprechend der RS 422 Norm
Differentielle sin/cos Analogsignale mit Referenzimpuls
oder
Differentielle, interpolierte Digitalsignale (A, B, R)
Das Referenzsignal ist mit den Inkrementalsignalen synchronisiert
6.2.1.
Systemgenauigkeit
Die Systemgenauigkeit setzt sich zusammen aus dem langwelligen Fehler (Linearität
der Massverkörperung) und dem kurzwelligen Fehler (z.B. Interpolationsgenauigkeit)
des Abtastsystems (Sensor und Interfacemodul). Die Werte der Genauigkeit beziehen
sich jeweils auf 20 °C (68 °F) Raumtemperatur.
Langwelliger Fehler
Die Linearität der Massverkörperung bezieht sich auf die gesamte Schienenläge. Auf
dieser Strecke ist die Abweichung der Massverkörperung zu einem idealen Massstab
immer kleiner als +/- 5 µm.
Kurzwellliger Fehler
Alle inkrementellen Wegmesssysteme werden durch den Effekt einer periodischen
Abweichung begleitet. Diese periodische Abweichung oder auch kurzwelliger Fehler
genannt, entsteht durch kleine Abweichungen in der Sensorik oder der elektrischen
Signalverarbeitung. Die Sinus- und Cosinus-Signale weichen dabei von der mathe-
matisch exakten Form ab. Entstehen die periodischen Abweichungen ausschliesslich
bei der Digitalisierung und Errechnung der Position, so spricht man von einem Inter-
polationsfehler.
Der kurzwellige Fehler von MINISCALE PLUS liegt immer im Bereich kleiner als +/- 0.6 µm.
(C = dynamische Tragzahl)
0.1 µm
(optional: 1 µm / 10 µm)
(3)
+/- 5 µm
(4)
+/- 0.1 µm
(bei Auflösung 0.1 µm)
+/- 0.2 µm
100 µm
1000 mm
11.7 x 10-6K-1
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