PI Q-632.930 Benutzerhandbuch Seite 4

6.2 Q-632 in Betrieb nehmen ......................................................................................... 28
7 Wartung
7.1 Allgemeine Hinweise zur Wartung ........................................................................... 31
7.2 Wartungsfahrt durchführen ..................................................................................... 31
7.3 Q-632 reinigen .......................................................................................................... 31
8 Störungsbehebung
9 Kundendienst
10 Technische Daten
10.1 Spezifikationen ......................................................................................................... 37
10.1.1 Datentabelle ................................................................................................ 37
10.1.2 Bemessungsdaten ........................................................................................ 38
10.1.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ......................................... 39
10.2 Betriebsdauer ........................................................................................................... 39
10.3 Abmessungen ........................................................................................................... 40
10.3.1 Adapterplatte Q-101.AP1 ............................................................................ 41
10.3.2 Vakuumdurchführung C-815.VF für 10
10.4 Pinbelegung .............................................................................................................. 44
10.4.1 Q-632.930 (vakuumtauglich bis 10
10.4.2 Vakuumdurchführung C-815.VF .................................................................. 45
11 Altgerät entsorgen
12 EU-Konformitätserklärung
-6
hPa............................................... 42
-6
hPa) .................................................... 44
31
33
35
37
47
49