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MP129D
Q-632 Miniatur-Drehtisch
Benutzerhandbuch
Version: 1.1.2
PI miCos GmbH, Freiburger Straße 30, 79427 Eschbach, Deutschland
Tel. +49 7634 5057-0, Fax +49 7634 5057-99, E-Mail info@pimicos.de, www.pi.de
Datum: 16.05.2019
Dieses Dokument beschreibt das folgende
Produkt:
Q-632.930
Q-Motion® Rotationstisch, piezoelektrischer
Trägheitsantrieb, >360° Drehbereich,
inkrementeller Encoder, 0,75 µrad Auflösung,
6 mNm Antriebsmoment, 30 mm Durchmesser,
vakuumkompatibel bis 10
-6
hPa
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Kapitel
Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für PI Q-632.930
Inhaltszusammenfassung für PI Q-632.930
- Seite 1 Q-Motion® Rotationstisch, piezoelektrischer Trägheitsantrieb, >360° Drehbereich, inkrementeller Encoder, 0,75 µrad Auflösung, 6 mNm Antriebsmoment, 30 mm Durchmesser, vakuumkompatibel bis 10 PI miCos GmbH, Freiburger Straße 30, 79427 Eschbach, Deutschland Tel. +49 7634 5057-0, Fax +49 7634 5057-99, E-Mail info@pimicos.de, www.pi.de...
- Seite 2 Die von PI gehaltenen Patente finden Sie in unserer Patentliste: http://www.physikinstrumente.de/de/ueber- pi/patente © 2019 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Deutschland. Die Texte, Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschützt. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG behält insoweit sämtliche Rechte vor.
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ............1 Symbole und Kennzeichnungen ................. 1 Begriffserklärung ......................2 Abbildungen ....................... 2 Mitgeltende Dokumente .................... 3 Handbücher herunterladen ..................3 Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung ................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ................. 5 Organisatorische Maßnahmen ................... 6 Maßnahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten ...... - Seite 4 10.2 Betriebsdauer ......................39 10.3 Abmessungen ......................40 10.3.1 Adapterplatte Q-101.AP1 ................41 10.3.2 Vakuumdurchführung C-815.VF für 10 hPa..........42 10.4 Pinbelegung ......................44 10.4.1 Q-632.930 (vakuumtauglich bis 10 hPa) ............ 44 10.4.2 Vakuumdurchführung C-815.VF ..............45 Altgerät entsorgen EU-Konformitätserklärung...
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Seite 5: Ziel Und Zielgruppe Dieses Benutzerhandbuchs
1 Über dieses Dokument Über dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ................1 Symbole und Kennzeichnungen ..................... 1 Begriffserklärung ..........................2 Abbildungen ........................... 2 Mitgeltende Dokumente ....................... 3 Handbücher herunterladen ......................3 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthält die erforderlichen Informationen für die bestimmungsgemäße Verwendung des Q-632. -
Seite 6: Begriffserklärung
1 Über dieses Dokument INFORMATION Informationen zur leichteren Handhabung, Tricks, Tipps, etc. Symbol/ Bedeutung Kennzeichnung Handlung mit mehreren Schritten, deren Reihenfolge eingehalten werden muss Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten, deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufzählung S. 5 Querverweis auf Seite 5 RS-232 Bedienelement-Beschriftung auf dem Produkt... -
Seite 7: Mitgeltende Dokumente
1 Über dieses Dokument Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Beschreibung Dokument E-873.1AT Q-Motion® Controller, 1 Kanal, USB Benutzerhandbuch PZ274D Schnittstelle E-873.3QTU Q-Motion® Controller für Benutzerhandbuch PZ273D piezoelektrische Trägheitsantriebe, 3 Achsen, Tischgerät (Industrie), TCP/IP, USB, I/O,... - Seite 8 Wechseln Sie über die Links im Browser-Fenster direkt zu den Inhalten für Ihr Produkt, und melden Sie sich dort mit den erhaltenen Zugangsdaten an. Generelles Vorgehen: 1. Öffnen Sie die Website www.pi.de. 2. Wenn der Zugang zu den Handbüchern durch ein Kennwort geschützt ist: a) Klicken Sie auf Login.
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Seite 9: Sicherheit
2 Sicherheit Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgemäße Verwendung ....................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ....................5 Organisatorische Maßnahmen ...................... 6 Maßnahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten ......... 6 Bestimmungsgemäße Verwendung Der Q-632 ist ein Laborgerät im Sinne der DIN EN 61010-1. Er ist für die Verwendung in Innenräumen und in einer Umgebung vorgesehen, die frei von Schmutz, Öl und Schmiermitteln ist. -
Seite 10: Organisatorische Maßnahmen
Produkten Für die Anwendung des Drehtischs im Vakuum muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden. Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Berühren Sie den Drehtisch nur mit puderfreien Handschuhen. -
Seite 11: Produktbeschreibung
Lieferumfang ..........................9 Optionales Zubehör ........................10 Geeignete Elektronik ........................10 Technische Ausstattung ....................... 11 Produktansicht Abbildung 1: Drehtisch Q-632.930 ESD-Schutzkappe Typenschild S. 8 Anschluss für Antrieb und Sensor: Stecker D-Sub 15 (m) Warnzeichen "Elektrostatisch gefährdete Bauteile" Kabelabgang für Antriebs- und Sensoranschluss Bewegungsplattform Grundkörper... -
Seite 12: Produktbeschriftung
3 Produktbeschreibung Abbildung 2: Bewegungsrichtung der Plattform des Q-632 Der Pfeil in der Abbildung oben zeigt die Bewegungsrichtung bei positiver Kommandierung. Produktbeschriftung Abbildung 3: Produktbeschriftung und Typenschild des Positionierers Version: 1.1.2 MP129D Q-632 Miniatur-Drehtisch... -
Seite 13: Lieferumfang
113064246 Seriennummer (Beispiel), individuell für jeden Q-632 Bedeutung der Stellen (Zählung von links): 1 = interne Information, 2 und 3 = Herstellungsjahr, 4 bis 9 = fortlaufende Nummer Q-632.930 Produktbezeichnung A, C Warnzeichen "Handbuch beachten!" Altgeräteentsorgung A, C Konformitätszeichen CE WWW.PIMICOS.COM... -
Seite 14: Optionales Zubehör
3 Produktbeschreibung Optionales Zubehör Bestell- Beschreibung nummer Luftseitiges Verlängerungskabel von Vakuumdurchführung oder Q-632 an E-873.UHV1 die Elektronik, D-Sub 15 (f) auf D-Sub 15 (m), 1 m Luftseitiges Verlängerungskabel von Vakuumdurchführung oder Q-632 an E-873.UHV2 die Elektronik, D-Sub 15 (f) auf D-Sub 15 (m), 2 m Luftseitiges Verlängerungskabel von Vakuumdurchführung oder Q-632 an E-873.UHV3 die Elektronik, D-Sub 15 (f) auf D-Sub 15 (m), 3 m... -
Seite 15: Technische Ausstattung
Hardware Einstellungen für den Sensor: Interpolationsrate, Hysterese-, Phasen- und Offsetkorrekturen, Verstärkungsfaktoren Beim Einschalten oder Neustart lesen Controller von PI die Daten vom ID-Chip aus. Weitere Informationen zur ID-Chip-Erkennung finden Sie im Handbuch des verwendeten Controllers. Q-632 Miniatur-Drehtisch MP129D... -
Seite 17: Auspacken
INFORMATION Für die Anwendung des Drehtischs im Vakuum muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden. Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Berühren Sie den Drehtisch nur mit puderfreien Handschuhen. -
Seite 19: Installation
5 Installation Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation ................... 15 Q-632 auf Unterlage befestigen und an Schutzleiter anschließen ..........16 Last am Q-632 befestigen ......................19 Q-632 an Elektronik anschließen ....................20 Allgemeine Hinweise zur Installation HINWEIS Erwärmung des Q-632 während des Betriebs! Die während des Betriebs des Q-632 abgegebene Wärme kann Ihre Anwendung beeinträchtigen. -
Seite 20: Q-632 Auf Unterlage Befestigen Und An Schutzleiter Anschließen
5 Installation HINWEIS Schäden durch ungeeignete Kabel! Ungeeignete Kabel können Schäden an der Elektronik verursachen. Verwenden Sie für den Anschluss des Q-632 an die Elektronik nur Kabel von PI. INFORMATION Die positive Bewegungsrichtung entspricht der Drehung entgegen dem Uhrzeigersinn. INFORMATION Der Q-632 kann mit der Adapterplatte Q-101.AP1 auf einem optischen Tisch befestigt werden. - Seite 21 5 Installation INFORMATION Der Kontakt des Q-632 zum Schutzleiter wird wie folgt hergestellt: Bohrungen, die zum Befestigen des Q-632 verwendet werden: − Vier Senkbohrungen mit ∅ 2,2 mm / ∅ 4,2 mm im Grundkörper des Q-632 Geeignete, leitfähige Schrauben (S. 9) ...
- Seite 22 5 Installation − Die Bohrungen zur Aufnahme der Schrauben müssen ausreichend leitfähig sein, um die ordnungsgemäße Funktion des Schutzleiters sicherzustellen. − Bei Anwendungen mit großen Temperaturschwankungen: Die Unterlage besitzt möglichst dieselben Wärmeausdehnungseigenschaften wie der Q-632 (z. B. Unterlage aus Aluminium). −...
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Seite 23: Last Am Q-632 Befestigen
5 Installation Last am Q-632 befestigen HINWEIS Unzulässig hohe Kräfte und Momente! Unzulässig hohe Kräfte und Momente, die an der Bewegungsplattform angreifen, können den Q-632 beschädigen. Beachten Sie hinsichtlich Masse und Befestigungsart der Last die maximal zulässigen Kräfte gemäß den Spezifikationen (S. 37). ... -
Seite 24: Q-632 An Elektronik Anschließen
5 Installation − Wenn Sie Passstifte verwenden, um die Last auszurichten: Sie haben in die Last zwei bis vier Passbohrungen mit Ø 1,5 mm H7 für die Aufnahme von Passstiften eingebracht. Werkzeug und Zubehör 4 Schrauben M2 von geeigneter Länge (S. 40) ... -
Seite 25: Übersicht: Anschließen Für Den Atmosphärischen Betrieb
5 Installation 5.4.1 Übersicht: Anschließen für den atmosphärischen Betrieb Abbildung 7: Anschlussmöglichkeiten des Q-632 an eine geeignete Elektronik bei atmosphärischem Betrieb Controller Verlängerungskabel Mechanik 5.4.2 Übersicht: Anschließen für den Betrieb in Vakuum Abbildung 8: Anschließen des Q-632 an eine geeignete Elektronik bei Betrieb in Vakuum Controller Verlängerungskabel Vakuumdurchführung für Druck bis 10... -
Seite 26: Q-632 An Elektronik Anschließen
5 Installation Abbildung 9: Beispiel für den Einbau der Vakuumdurchführung C-815.VF. Links: Vakuumseite, rechts: Luftseite Anschluss des Q-632 auf Vakuumseite Beispiel einer Vakuumdurchführung, Teil einer Vakuumkammer Dichtungsring Vakuumdurchführung C-815.VF Anschluss des luftseitigen Verlängerungskabels zum Anschluss an die Elektronik. Werkzeug und Zubehör 4 Senkschrauben M3 von geeigneter Länge (ISO 7046) aus Edelstahl ... - Seite 27 5 Installation Werkzeug und Zubehör Wenn der Q-632 im Vakuum betrieben werden soll: − Verlängerungskabel E-873.UHVx, erhältlich als optionales Zubehör (S. 10) − Geeignete Vakuumdurchführung, erhältlich als optionales Zubehör (S. 10): C-815.VF (geeignet für den Einsatz im Vakuum bis 10 hPa) −...
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Seite 29: Inbetriebnahme Und Betrieb
6 Inbetriebnahme und Betrieb Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb ..............25 Q-632 in Betrieb nehmen ......................28 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb VORSICHT Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter! Bei fehlendem oder nicht ordnungsgemäß angeschlossenem Schutzleiter können im Falle eines Fehlers oder Defekts gefährliche Berührungsspannungen am Q-632 entstehen. - Seite 30 Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung! Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Schäden am Q-632 verursachen. Verwenden Sie nur Controller/Treiber und Originalzubehör von PI für den Betrieb des Q-632. Überschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich (S. 38), für den der Q-632 spezifiziert ist.
- Seite 31 6 Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS Zerstörung des Piezoaktors durch elektrische Überschläge! Der Einsatz des Q-632 in Umgebungen, die die elektrische Leitfähigkeit erhöhen, kann zur Zerstörung des Piezoaktors durch elektrische Überschläge führen. Elektrische Überschläge können durch Feuchtigkeit, hohe Luftfeuchtigkeit, Flüssigkeiten und leitende Materialien (z.
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Seite 32: Q-632 In Betrieb Nehmen
Betriebsparameter aus der Positioniererdatenbank PIMicosStages3.dat geladen werden. Die Einträge in der Positioniererdatenbank werden regelmäßig aktualisiert. Installieren Sie den PI Update Finder von der Produkt-CD der Elektronik auf Ihren PC und aktualisieren Sie damit die Positioniererdatenbank PIMicosStages3.dat auf Ihrem PC. - Seite 33 6 Inbetriebnahme und Betrieb Sie haben das Benutzerhandbuch der Elektronik gelesen und verstanden. Sie haben das Handbuch der PC-Software gelesen und verstanden. Die Elektronik und die benötigte PC-Software sind installiert. Alle Anschlüsse an der Elektronik sind eingerichtet (siehe Benutzerhandbuch der Elektronik). Q-632 in Betrieb nehmen 1.
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Seite 35: Wartung
7 Wartung Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung ....................31 Wartungsfahrt durchführen ......................31 Q-632 reinigen ..........................31 Allgemeine Hinweise zur Wartung HINWEIS Schäden durch falsche Wartung! Eine falsche Wartung kann zur Dejustage und zum Ausfall des Q-632 führen. ... -
Seite 37: Störungsbehebung
8 Störungsbehebung Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Beeinträchtigung der Elektronik Laden Sie aus der Positioniererdatenbank Funktion nach den Parametersatz des Q-632. wurde Systemveränderung ausgetauscht Wenn nötig: Stellen Sie die Parameter im PC-Programm PIMikroMove an der Drehtisch Elektronik so ein, dass sie der Anwendung wurde (Last, Ausrichtung) des Q-632 entsprechen... - Seite 38 8 Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Ungeeignete Betreiben Sie den Q-632 nur in sauberer Umgebungsbedin- Umgebung und bei zulässigen gungen Umgebungsbedingungen (S. 39). Verschleiß des Tauschen Sie den Q-632 aus und stellen Sie Antriebs sicher, dass die Betriebsparameter der Elektronik an den Drehtisch angepasst sind.
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Seite 39: Kundendienst
9 Kundendienst Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI-Vertretung oder schreiben Sie uns eine E-Mail (service@pi.de). Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an: − Produkt- und Seriennummern von allen Produkten im System −... -
Seite 41: Technische Daten
10 Technische Daten Technische Daten In diesem Kapitel Spezifikationen ..........................37 Betriebsdauer ..........................39 Abmessungen..........................40 Pinbelegung ..........................44 10.1 Spezifikationen 10.1.1 Datentabelle Bewegen und Positionieren Q-632.930 Einheit Toleranz Rotationstisch mit Positionssensor für den geregelten Betrieb Aktive Achse θ Rotationsbereich >360 °... -
Seite 42: Bemessungsdaten
10 Technische Daten Mechanische Eigenschaften Q-632.930 Einheit Toleranz Höhe Durchmesser des Drehtellers Antriebseigenschaften Q-632.930 Einheit Toleranz Motortyp Piezoelektrischer Trägheitsantrieb Anschlüsse und Umgebung Q-632.930 Einheit Toleranz Betriebstemperaturbereich 0 bis 40 °C Material Aluminium, Stahl Masse ohne Kabel ±10 % Kabellänge Stecker... -
Seite 43: Umgebungsbedingungen Und Klassifizierungen
10 Technische Daten 10.1.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind für den Q-632 zu beachten: Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenräumen Maximale Höhe 2000 m Luftdruck 1100 hPa bis 10 Relative Luftfeuchte Höchste relative Luftfeuchte 80 % für Temperaturen bis 31 °C Linear abnehmend bis 50 % relativer Luftfeuchte bei 40 °C... -
Seite 44: Abmessungen
10 Technische Daten 10.3 Abmessungen Abmessungen in mm Abbildung 10: Q-632.930 Version: 1.1.2 MP129D Q-632 Miniatur-Drehtisch... -
Seite 45: Adapterplatte Q-101.Ap1
10 Technische Daten 10.3.1 Adapterplatte Q-101.AP1 Abmessungen in mm. Abbildung 11: Adapterplatte Q-101.AP1 Q-632 Miniatur-Drehtisch MP129D Version: 1.1.2... -
Seite 46: Vakuumdurchführung C-815.Vf Für 10 -6 Hpa
10 Technische Daten 10.3.2 Vakuumdurchführung C-815.VF für 10 Abmessungen in mm. Abbildung 12: Vakuumdurchführung C-815.VF D-Sub 15 (m/f) Version: 1.1.2 MP129D Q-632 Miniatur-Drehtisch... - Seite 47 10 Technische Daten Empfohlene Abmessungen eines Durchbruchs in der Vakuumkammer für die Vakuumdurchführung C-815.VF für 10 Abmessungen in mm. Abbildung 13: Oben: Ansicht des Durchbruchs von der Luftseite her; Mitte: Schnitt der Vakuumkammer ohne Angaben, da von Kunde vorzugeben; unten: Ansicht von der Vakuumseite her Q-632 Miniatur-Drehtisch MP129D Version: 1.1.2...
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Seite 48: Pinbelegung
10 Technische Daten 10.4 Pinbelegung 10.4.1 Q-632.930 (vakuumtauglich bis 10 hPa) Stecker: D-Sub 15 (m) Der Stecker D-Sub 15 (m) überträgt die Signale des Antriebs, des Sensors und des ID-Chips. Abbildung 14: Stecker D-Sub 15 (m) Signal* Funktion Richtung REF -... -
Seite 49: Vakuumdurchführung C-815.Vf
10 Technische Daten 10.4.2 Vakuumdurchführung C-815.VF D-Sub 15 (m/f) Abbildung 15: Vakuumseite: Buchse D-Sub 15 (f) Abbildung 16: Luftseite: Einbaustecker D-Sub 15 (m) Vakuumseite (f) Luftseite (m) Signal Funktion REF - Referenzsignal differentiell (-) Motor (-) Motorsignal differentiell (-) Motor (+) Motorsignal differentiell (+) Versorgungsspannung (+5 V) ID Chip Daten... -
Seite 51: Altgerät Entsorgen
Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden, übernimmt die PI miCos GmbH kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI miCos-Altgerätes, sofern es nach dem 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI miCos besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: PI miCos GmbH Freiburger Straße 30... -
Seite 53: Eu-Konformitätserklärung
12 EU-Konformitätserklärung EU-Konformitätserklärung Für den Q-632 wurde eine EU-Konformitätserklärung gemäß den folgenden europäischen Richtlinien ausgestellt: Niederspannungsrichtlinie EMV-Richtlinie RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. Sicherheit (Niederspannungsrichtlinie): EN 61010-1 EMV: EN 61326-1 RoHS: EN 50581 Q-632 Miniatur-Drehtisch MP129D Version: 1.1.2...