10 Technische Daten
10.3
Lebensdauer
Das folgende Diagramm zeigt die Abnahme der Schrittweite über die Lebensdauer des N-470.
Die Lebensdauer des Linearaktors N-470 ist mit 1 000 000 000 Schritten spezifiziert. Dabei
nimmt die typische Schrittweite maximal um 30 % ab.
Abbildung 12: Typische Schrittweite in nm vs. Anzahl Schritte
10.4
Betriebs und Einschaltdauer
Die Betriebsdauer und die Einschaltdauer beeinflussen die Lebensdauer des Linearaktors. Um
Überhitzung und hohen Verschleiß zu vermeiden, dürfen die Betriebsdauer und die
Einschaltdauer die in den folgenden Tabellen angegebenen Werte nicht überschreiten. Die
Grenzwerte hängen von folgenden Faktoren ab:
Einstellung für die Anzahl der Schritte pro Sekunde
Einsatz außerhalb oder innerhalb des Vakuums
40
Version: 1.2.0
MP125D
N470 Linearaktor