Reiter Wafer - SENSOPART VISOR Benutzerhandbuch

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VISOR Benutzerhandbuch
Flexible Einstellung der Prüfkriterien: z. B. Toleranzen für Wafergröße und Drehlage, Größe
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und Anzahl der erlaubten Konturdefekte
Einfache Optimierung des Sensors hinsichtlich Auswertegeschwindigkeit und Prüfgenauigkeit
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(Subpixelverfahren)
Freie Zuschnittfunktion bei größeren Defekten
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Verzeichnungskorrektur
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8.3.13.1 Reiter Wafer

Dieser Detektor eignet sich, um Ausbrüche an den Kanten der Waferkontur zu prüfen und geo-
metrische Parameter wie Breite, Höhe, Position, Drehwinkel usw, zu messen.
Abbildung 192: Detektor Wafer, Reiter Wafer
Einstellungen im Reiter Wafer
Parameter
Höhe
Breite
Fläche
Winkelbereich
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VISOR 068-14490 - 03.08.2018-14
Funktion
Bereich für die zu akzeptierende Waferhöhe
Bereich für die zu akzeptierende Waferbreite
Bereich für die zu akzeptierende Waferfläche
Bereich für die zu akzeptierende Waferdrehlage
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