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bürkert 8712 Bedienungsanleitung
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Type 8006 / 8702
MFM, Mass Flow Meter IP65
Type 8626 / 8712
MFC, Mass Flow Controller IP65
Operating Instructions
Bedienungsanleitung
Manuel d'utilisation

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für bürkert 8712

  • Seite 1 Type 8006 / 8702 MFM, Mass Flow Meter IP65 Type 8626 / 8712 MFC, Mass Flow Controller IP65 Operating Instructions Bedienungsanleitung Manuel d‘utilisation...
  • Seite 2 We reserve the right to make technical changes without notice. Technische Änderungen vorbehalten. Sous réserve de modifications techniques. © 2013 Bürkert SAS Operating Instructions 1307/1_EU-ML 00563581...
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

     T yp8006,8702/8626,8712  1. Die BeDienungsanleitung ...............4 7.4. reihenfolge der auszuführenden arbeitsschritte ..... 25 7.5. Parametereinstellungen ..............25 1.1. Verwendete symbole ................4 7.6. mechanische installation ..............28 1.2. Begriffsdefinition "gerät" ..............4 7.7. Fluidische installation ............... 28 2. Bestimmungsgemässe VerwenDung ........5 7.8. elektrische installation ..............29 8. BeDienung unD FunKtion .............. 31 3. grunDlegenDe sicherheitshinweise ........5 8.1. sicherheitshinweise ................31 4. allgemeine hinweise ................7 8.2. Bedienung der mFm / mFc ............
  • Seite 4: Die Bedienungsanleitung

    Benutzer zugänglich ist und jedem neuen Eigentümer des Gerätes zur Folge haben. wieder zur Verfügung steht. HInweIS! Diese Bedienungsanleitung enthält wichtige informationen zur sicherheit! warnt vor sachschäden! • Bei Nichtbeachtung kann das Gerät oder die Anlage beschädigt Das Nichtbeachten dieser Hinweise kann zu gefährlichen Situa- werden. tionen führen. • Diese Bedienungsanleitung muss gelesen und verstanden werden. bezeichnet wichtige Zusatzinformationen, Tipps und Empfehlungen. 1.1. Verwendetesymbole verweist auf Informationen in dieser Bedienungsanleitung GefaHR! oder in anderen Dokumentationen. warnt vor einer unmittelbaren gefahr! • Bei Nichteinhaltung sind Tod oder schwere Verletzungen → markiert einen Arbeitsschritt, den Sie ausführen müssen. die Folge. waRnunG! 1.2. Begriffsdefinition"Gerät" Der in dieser Anleitung verwendete Begriff "Gerät" steht immer für warnt vor einer möglicherweise gefährlichen situation! einen Mass Flow Meter (MFM) Typ 8006 oder 8702, oder einen • Bei Nichteinhaltung drohen schwere Verletzungen oder Tod. Mass Flow Controller (MFC) Typ 8626 oder 8712. deutsch deutsch...
  • Seite 5: Bestimmungsgemässe Verwendung

    VerwenDunG sicherheiTshinweise Diese Sicherheitshinweise berücksichtigen keine Bei nicht bestimmungsgemäßem einsatz der mFc / mFm- typen 8006, 8702, / 8626, 8712 können gefahren für Per- • Zufälligkeiten und Ereignisse, die bei Montage, Betrieb und sonen, anlagen in der umgebung und die umwelt entstehen. Wartung der Geräte auftreten können, • Mit den Massendurchflussmessern der Typen 8006, 8702 kann • örtlich geltenden Sicherheitsbestimmungen, für deren Einhaltung, ausschließlich der Massendurchfluss reiner und trockener Gase auch in Bezug auf das Installations- und Wartungspersonal, der gemessen werden. Betreiber verantwortlich ist. • Mit den Massendurchflussreglern der Typen 8626, 8712 kann ausschließlich der Massendurchfluss reiner und trockener Gase geregelt werden. • Nur die auf dem Typschild und auf dem Kalibrierprotokoll gefahr bei Dauerbetrieb durch heiße geräteoberfläche! genannten Medien für den Betrieb verwenden. • Das Gerät von leicht brennbaren Stoffen und Medien fernhalten. • Schützen Sie das Gerät vor elektromagnetischen Stö- • Das Gerät nur mit Schutzhandschuhen anfassen. rungen, U.V.-Bestrahlung und bei Außenanwendung vor gefahr durch hohen Druck in der anlage! Witterungseinflüssen. • Vor dem Lösen der Prozessanschlüsse die Anlage drucklos • Für den Einsatz sind die in den Vertragsdokumenten und der schalten und den Gasstrom absperren.
  • Seite 6 Resistance Chart • Nach einer Unterbrechung der elektrischen oder fluidischen Im Zweifel wenden Sie sich bitte an den Hersteller. Versorgung ist ein definierter oder kontrollierter Wiederanlauf des Prozesses zu gewährleisten. HInweIS! • Betreiben Sie das Gerät nur in einwandfreiem Zustand und unter Beachtung der Bedienungsanleitung. elektrostatisch gefährdete Bauelemente / Baugruppen! • Bei der Einsatzplanung und dem Betrieb des Gerätes die allge- • Das Gerät enthält elektronische Bauelemente, die gegen meinen Regeln der Technik einhalten. elektrostatische Entladung empfindlich reagieren. Berührung mit elektrostatisch aufgeladenen Personen oder Gegenständen • Die MFM / MFC-Typen 8006, 8702 / 8626, 8712 dürfen nicht für die gefährdet diese Bauelemente. Im schlimmsten Fall werden sie Messung oder Regelung des Massendurchflusses partikelhaltiger sofort zerstört oder fallen nach der Inbetriebnahme aus. (Partikelgröße > 25 µm), Medien eingesetzt werden. • Beachten Sie die Anforderungen nach EN 61340 -5-1 und 5-2, • Betreiben Sie das Gerät nicht ohne das werksseitig eingebaute um die Möglichkeit eines Schadens durch schlagartige elektro- Eingangsfilter. statische Entladung zu minimieren bzw. zu vermeiden! • Betreiben Sie das Gerät nicht in einer von den • Achten Sie ebenso darauf, dass Sie elektronische Bauelemente nicht bei anliegender Versorgungsspannung berühren! Kalibrierbedingungen abweichenden Einbaulage. • Betreiben Sie das Gerät nicht mit einem höheren Betriebsdruck als dem angegebenen Prüfdruck (MFC) bzw. Kalibrierdruck (MFM).
  • Seite 7: Allgemeine Hinweise

    AllgemeineHinweise 4. allGemeinehinweise 5. sysTemBeschreiBunG 5.1. allgemeineBeschreibung 4.1. herstelleradresseund • Die Massendurchflussmesser MFM der Typen 8006, 8702 wur- internationaleKontaktadressen den für die Messung des Massendurchflusses reiner und tro- ckener Gase entwickelt. Den Hersteller können Sie unter folgender Adresse anschreiben: Bürkert SAS • Die Massendurchflussregler MFC der Typen 8626, 8712 wurden Rue du Giessen für die Regelung des Massendurchflusses reiner und trockener Gase entwickelt. F-67220 TRIEMBACH-AU VAL typ des gerätes sensortyp Die Adressen unserer internationalen Vertretungen finden Sie im 8006 Inline Internet unter: www.burkert.com 8702 MEMS 8626 Inline 4.2....
  • Seite 8: Funktionsweise Des Sensors Eines Mfm Oder Eines Mfc

    Typ8006,8702 Systembeschreibung 5.1.2. allgemeineFunktionsweisedes Bei den MFM und MFC der Typen 8712, 8702 müssen mFc,massFlowcontroller wegen der integrierten Sensortechnologie im Fall verunrei- nigter Medien vor dem Gerät Filter eingebaut werden. Der MFC besteht aus: • einem Sensor, der den Massendurchfluss misst, 5.3. FunktionsweiseeinesmFcim • einer Regelelektronik, Detail • e inem Regelelement: Reibungsarmes Proportionalventil mit hoher Ansprechempfindlichkeit. 5.2. Funktionsweisedessensors einesmFmodereinesmFc • Die integrierten Massendurchflussmesser ermitteln den = w-x Massendurchfluss nach dem Prinzip der thermischen Messung (anemometrisch und kalorimetrisch). Sie bestehen Regelelektronik im Wesentlichen aus einem Heizwiderstand und einem Temperaturfühler. Das durch das Gerät strömende Gas verändert die gemessene Temperaturdifferenz zwischen beiden Widerständen. Regelelement Sensor • Anhand der thermischen Messung kann der MFC den (Magnetventil) erforderlichen Massendurchfluss unabhängig von Druck- und Temperaturänderungen der betreffenden Anwendung regeln.
  • Seite 9 Typ8626,8712 Systembeschreibung verändert. 0...10 V 0 V, w = 0 % 10 V, w = 100 % Die Regelung erfolgt unabhängig von Druckschwankungen oder Für die Regelung von Anlagen, bei denen schnelle Massendurchfluss- einer eventuell durch ein verschmutztes Eingangsfilter verursachten änderungen nicht zulässig sind, kann eine Rampenfunktion aktiviert Erhöhung des Fließwiderstands. Die hohe Reaktionsgeschwindigkeit werden. Die Parameter für den steigenden und den fallenden Sollwert des Magnetventils und die Dynamik des Sensors ermöglichen eine können getrennt geregelt werden.
  • Seite 10 Typ8006,8702 Systembeschreibung des Reglers gedämpft werden. Er reagiert dann nur langsam auf Wenn das Gerät im angegebenen Druckbereich eingesetzt sehr kleine Änderungen des Messwertes oder des Sollwertes. wird, übernimmt das Ventil nicht nur die Regelfunktion, nullpunktabschaltung sondern auch die Dichtschließfunktion. Einschränkung: Die Dichtschließfunktion ist nicht gewährleistet, wenn die Um die Dichtschließfunktion des Ventils zu gewährleisten, ist eine Dichtungen aus speziellen harten Materialien bestehen. In Nullpunktabschaltung integriert. Diese wird aktiv, wenn gleichzeitig diesem Fall empfiehlt sich die Installation eines zusätzlichen nachfolgende Bedingungen eintreten: Absperrventils. Sollwert < 2 % vom Nenn- Messwert < 2 % vom Nenn- durchfluss Q durchfluss Q nenn nenn (bei Messspanne 1:50) (bei Messspanne 1:50) Bei aktiver Nullpunktabschaltung wird das PWM-Signal auf 0 % gesetzt, so dass das Ventil komplett geschlossen ist. 5.3.2. magnetventildermFc Das im MFC verwendete Magnetventil ist ein direktwirkendes, stromlos geschlossenes Proportionalventil.
  • Seite 11: Technische Daten

    Typ8626,8712 TechnischeDaten 6. TechnischeDaTen VORSICHT! Verletzungsgefahr durch Druck und mediumsaustritt. Wichtige gerätespezifische technische Angaben sind auf dem Typschild und auf dem Kalibrierschild angegeben (siehe Kap. „6.1“). • Das auf dem Typschild angegebene zulässige Medium ist unbedingt zu beachten (aufgrund der verwendeten Dichtungswerkstoffe). • Der auf dem Kalibrierschild des Geräts angegebene Druckbereich ist unbedingt zu beachten. 6.1. KennzeichnungenamGerät Kalibrierschild Beispiele: Calibration data 00182381 Medium 1 P1 : 0,800 barg Mounting: horizontal upright QC passed: 25.11.2011 Typschild 8006 35.0 Nm3/h 24V DC 13W DP S/N 1004...
  • Seite 12: Betriebsbedingungen

    S/N 1004 Max. Leistungsauf- 00182381 • Darauf achten, dass die für das Gerät zulässige Umgebungs- W49MM nahme Ausgangssignal temperatur eingehalten wird. • Das Gerät vor Feuchtigkeit schützen. Serien- Bestellnummer Herstellungscode nummer des Gerätes Funktion wert Umgebungstemperatur Typen 8702 / 8712 : -10 °C bis +50 °C Bild 3: Die Angaben auf dem Typschild Typen 8006 / 8626 : -10 °C bis +45 °C UL-gelistete Geräte: 0 °C bis 40 °C Bestellnummer des Mediumstemperatur -10 °C bis +70 °C Gerätes Bei Sauerstoff: -10 °C bis +60 °C Luftfeuchte < 95 %, nicht kondensierend Kalibrierdaten 00202378 Relative Feuchte für 80 % bis zu einer Temperatur von 31 °C,...
  • Seite 13: Einhaltung Von Normen Und Richtlinien

    Typ8626,8712 TechnischeDaten 6.3. einhaltungvonnormenund 6.4. mechanischeDaten richtlinien Die zu verwendende Einbaulage ist auf dem Kalibrierprotokoll und dem Kalibrierschild angegeben. Durch die Erfüllung folgender Normen ist die Konformität der MFM/ MFC mit den EG-Richtlinien gewährleistet: werkstoff des gehäusewerkstoff leitungsan- • EMV : EN 61000-6-2, EN 61000-6-3. grundblocks schlüsse 8006, Edelstahl 1.4305, Druckguss-Alu- G 1/4, G 3/8, G 8626 Edelstahl 1.4404 minium, lackiert 1/2, G 3/4 Die mit der ATEX-Richtlinie 94/9/EWG kompatiblen MFM/MFC erfüllen oder eloxiertes folgende Normen: NPT 1/4, NPT Aluminium 3/8, NPT 1/2, • EN 60079-15 NPT 3/4 • EN 61241-1. 8702, Edelstahl 1.4404 Polykarbonat...
  • Seite 14: Abmessungen

    2x Ø 8,8 4x Ø 4,5 2x M4 2x Ø 6 29,2 44,5 Bild 5: Abmessungen MFM, Typ 8702, und MFC, Typ 8712 Bild 6: Abmessungen MFM mit Flanschen, Typ 8702, und MFC mit Flanschen, Typ 8712 gewicht edelstahl (kg) gewicht edelstahl (kg) ungefähr 1,4 ungefähr 1,4...
  • Seite 15 Bild 8: Abmessungen MFC, Typ 8626, mit Magnetventil Typ 2873 gewicht gewicht (mm) (mm) (mm) aluminium edelstahl (kg) (kg) Bild 7: Abmessungen MFC, Typ 8712, mit externem Magnetventil G3/4 ; 27,25 ungefähr 2,0 ungefähr 4,0 NPT3/4 gewicht edelstahl (kg) G1/2 ; 27,25 ungefähr 2,0 NPT1/2 G3/8 ; 22,25 NPT3/8 G1/4 ;...
  • Seite 16 Typ8006,8702 TechnischeDaten 87,25 12,5 4x M4 4x M 4 59,5 88,5 59,5 88,5 Bild 9: Abmessungen MFC, Typ 8626, mit Magnetventil Bild 10: Abmessungen MFC, Typ 8626, mit Magnetventil Typ 2875 Typ 6024 gewicht gewicht gewicht gewicht (mm) (mm) (mm) aluminium edelstahl (mm)
  • Seite 17 Typ8626,8712 TechnischeDaten 4x M4 88,5 4x M4 59,5 88,5 Bild 11: Abmessungen MFC, Typ 8626, mit Magnetventil Bild 12: Abmessungen MFC, Typ 8626, mit Grundblock für große Typ 2836 Massendurchflüsse und Magnetventil Typ 2873 gewicht gewicht gewicht gewicht (mm) (mm)
  • Seite 18 Typ8006,8702 TechnischeDaten 87,5 12,5 4x M4 88,5 4x M4 88,5 Bild 13: Abmessungen MFC, Typ 8626, mit Grundblock für große Bild 14: Abmessungen MFC, Typ 8626, mit Grundblock für große Massendurchflüsse und Magnetventil Typ 2875 Massendurchflüsse und Magnetventil Typ 6024 gewicht gewicht gewicht...
  • Seite 19 Typ8626,8712 TechnischeDaten 4x M4 88,5 Bild 15: Abmessungen MFC, Typ 8626, mit Grundblock für große Bild 16: Abmessungen MFM, Typ 8006 Massendurchflüsse und Magnetventil Typ 2836 gewicht gewicht gewicht gewicht (mm) (mm) (mm) aluminium edelstahl (mm) (mm) (mm) aluminium edelstahl...
  • Seite 20: Fluidische Daten

    Typ8006,8702 TechnischeDaten 6.6. FluidischeDaten 6.6.1. Übersichtmessspezifikation 8006, 8626 8702, 8712 endwertebereich bzgl. n 16 … 1500 0,01 … 80 /min) messgenauigkeit (nach ± 1,5 % vom MW ± 0,8 % vom MW aufwärmzeit) ± 0,3 % vom MBE ± 0,3 % vom MBE 4x M4 messspanne / 1 : 50 *) 1 : 50 **) 27,25 88,5 regelbereich ausregelzeit (mFc) oder < 500 < 150 antwortzeit (mFm) Bild 17: Abmessungen MFM, Typ 8006, mit Grundblock für große Massendurchflüsse...
  • Seite 21 Typ8626,8712 TechnischeDaten 6.6.2. Betriebsmedien 6.6.3. Druckverlustdiagramme • Betriebsmedien: saubere und trockene Gase. ∆p [mbar] • Betriebsmedien für UL-gelistete Geräte: neutrale, nicht kontaminierte Gase. Andere gefährdende Gase sind auf Anfrage möglich, unter normalen Betriebsbedingungen setzen die Geräte kein gefährdendes Gas frei. Wenn jedoch der MFC mit Erdgas betrieben wird, kann nur ein Ventil Typ 2875 verwendet werden. In diesem Fall muss der Geräteschlüssel ein „-D-“ enthalten (z. B. 8626-0100L-CH4-E-A-GM82-ALFF-D-08,0).“ • Kalibriermedium: Betriebsgas oder Luft. • Max. Betriebsdruck: 10 bar (bei MFCs abhängig vom 0 100 1100 1300 1500 Nenndurchmesser des Ventils). 1000 1200 1400 Q [l /min] Um die geforderte Mess- bzw. Regelgenauigkeit zu erreichen, aber auch, um die Sicherheitsanforderungen zu erfüllen, muss das Gas...
  • Seite 22 Typ8006,8702 TechnischeDaten ∆p [mbar] 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 75 80 Q [l /min] Bild 19: Druckverlustdiagramm (mit Luft, bei 250 µm-Eingangs- Filter), Typ 8702 Die Kurven zeigen den Luftdruckverlust im Gerät für die Ausführung mit Flanschanschlüssen und ¼-Zoll Leitungsanschlüssen. Zur Ermittlung des Druckverlustes eines anderen Gases zunächst auf den entsprechenden Luftdurchfluss umrechnen und die beim anderen Gas verwendete Fluidik berücksichtigen. deutsch...
  • Seite 23: Elektrische Daten

    Typ8626,8712 TechnischeDaten 6.7. elektrischeDaten Betriebsspannung 24 V DC ± 10 % ; Restwelligkeit < 2 % (5 % bei UL-gelisteten Geräten) Spannungsversorgungseinheit (nicht mitgeliefert) der UL Spannungsversorgungseinheit begrenzt auf Klasse 2 Geräte 8006 8702 8626 8712 Leistungsaufnahme (max. in Watt) je nach Gerätetyp 12,5 36,5 Nur MFC: • 0/4 - 20 mA Max. Eingangsimpedanz: 300 Ω, Auflösung: 5 µA Analogeingang (konfigurierbar) • 0 - 5/10 V Min. Eingangsimpedanz: 20 kΩ, Auflösung: 2,5 mV Binäreingänge (konfigurierbar) 3, Low-aktiv Zur Aktivierung an DGND anschließen Analogausgang (konfigurierbar) • 0/4 - 20 mA Max. Last: 600 Ω, Auflösung: 20 µA • 0 - 5/10 V Maximale Stromstärke: 10 mA, Auflösung: 10 mV Bei bestimmten Ausführungen: Feldbus-Kommunikation (alter- PROFIBUS DP V1, DeviceNet oder CANopen nativ zu „analogen Ein- und Ausgängen“) Relaisausgänge (konfigurierbar) 2 Relaisausgänge Potentialfreier Wechsler 60 V, 1 A, 60 VA...
  • Seite 24: Installation Und Inbetriebnahme

    Typ8006,8702 InstallationundInbetriebnahme 7. insTallaTionunD waRnunG! inBeTrieBnahme Verletzungsgefahr bei unsachgemäßer installation oder inbetriebnahme! 7.1. sicherheitshinweise • Fluidische und elektrische Installationen sowie Inbetriebnahme dürfen nur durch autorisiertes Fachpersonal und mit geeignetem GefaHR! Werkzeug durchgeführt werden! Verletzungsgefahr durch ungewolltes einschalten der anlage Verletzungsgefahr durch hohen Druck in der anlage! und unkontrollierten wiederanlauf! • Vor dem Lösen der Prozessanschlüsse die Anlage drucklos • Anlage vor unbeabsichtigtem Betätigen sichern. schalten und den Gasstrom absperren. • Nach jedem Eingriff an dem Gerät einen kontrollierten Wieder- Verletzungsgefahr durch elektrische spannung! anlauf gewährleisten. • Schalten Sie vor Beginn der Arbeiten in jedem Fall die Span- nungsversorgung ab und sichern Sie diese vor unbeabsich- tigtem Wiedereinschalten! 7.2. Vorderinstallation • Beachten Sie geltende Unfallverhütungs- und Sicherheitsbe- → Vor der Installation des MFM / MFC die Leitungen und fluidfüh- stimmungen für elektrische Geräte! renden Komponenten der Anlage von allen Verunreinigungen Verletzungsgefahr durch austretendes Betriebsmedium! befreien.
  • Seite 25: Beschreibung Der Mfm / Mfc

    Typ8626,8712 InstallationundInbetriebnahme 7.3. BeschreibungdermFm/mFc 7.4. reihenfolgederauszuführenden arbeitsschritte Steckdose M12, 5-polig, oder LEDs Mechanische Installation Steckdose Sub-D, 9-polig Fluidische Installation Feldbus Elektrische Installation Gerätestecker Sub HD, Parametrierung des Geräts 15-polig, Sollwerteingang / Druckbeaufschlagung der Leitungen mit dem Betriebsmedium Ausgang gemessener Massendurchfluss / Spülung und komplette Entlüftung der Leitungen mit dem Binäreingänge / RS232 Betriebsmedium bei Kalibrierdruck Erdungsanschlussschraube 7.5. Parametereinstellungen Runder Gerätestecker, 8-polig, 7.5.1. einstellungBus-adresse 24 V- Spannungsver- sorgung / Um eine Einstellung frei von Fehlfunktionen zu gewähr- Relaisausgänge leisten, muss das Gerät durch Unterbrechung der Stromver- Anschluss an die sorgung reinitialisiert werden. Leitung Die Bus-Adresse des Geräts kann mit Hilfe der Software „Mass Flow Communicator“ von Bürkert im Fenster „Views“ →...
  • Seite 26 Typ8006,8702 InstallationundInbetriebnahme 7.5.2. steckerbelegung runder gerätestecker, 8-polig Belegung 24 V - Versorgung + Relais 1 - Mittelkontakt Relais 2 - Mittelkontakt Relais 1 - Ruhekontakt Relais 1 - Schließer 24 V - Versorgung GND Relais 2 - Schließer Relais 2 - Ruhekontakt gerätestecker sub-hD, 15-polig Belegung mFc typ 8626, 8712 Belegung mFm typ 8006, 8002 Sollwerteingang + Nicht belegt Sollwerteingang GND Nicht belegt Messwertausgang + Binäreingang 2 12 V - Ausgang (nur werksinterne Verwendung) RS232 T x D (direkte Verbindung zum PC) Binäreingang 1 DGND (für Binäreingänge) Nur für werksinterne Zwecke (nicht belegen!) 12 V - Ausgang (nur werksinterne Verwendung) 12 V - Ausgang (nur werksinterne Verwendung) Binäreingang 3 Messwertausgang GND RS232 R x D (direkte Verbindung zum PC) DGND (für RS232-Schnittstelle) In der Feldbus-Version der MFC-Typen 8626 / 8712 sind diese Pins nicht belegt. In der Feldbus-Version der MFC-Typen 8626 / 8712 und der MFM-Typen 8702 / 8706 sind diese Pins nicht belegt. deutsch...
  • Seite 27 Typ8626,8712 InstallationundInbetriebnahme Steckerbelegung für die Feldbus-Version ProFiBus DP m12-Buchse, Belegung B-kodiert (DP V1 max. 12 mBaud) RxD / TxD – N (A-Leitung) DGND RxD / TxD – N (B-Leitung) Nicht belegt Devicenet oder canopen Belegung steckverbinder m12, a-kodiert Schirm Nicht belegt / 24V DGND CAN_H CAN_L gerätestecker D-sub, 9-polig Profibus-Belegung Devicenet-Belegung Abschirmung (FE), funktionelle Erde Abschirmung (FE), funktionelle Erde nicht belegt CAN-L Datenleitung RxD/TxD-P Leitung B RTS-Steuersignal für Melder nicht belegt GND Datenübertragungspotential nicht belegt VDD Versorgungsspannung + (P5V) nicht belegt CAN_H Datenleitung nicht belegt RxD/TxD-N Leitung A nicht belegt nicht belegt nicht belegt deutsch...
  • Seite 28: Mechanische Installation

    Typ8006,8702 InstallationundInbetriebnahme 7.6. mechanischeinstallation Eine Leitung mit geeignetem Durchmesser und glatter Oberfläche verwenden. → Die Leitung rechtwinklig [1] abschneiden und entgraten [2]. Die auf dem Kalibrierschild oder dem Kalibrierprotokoll angegebene Einbauposition beachten. 7.7. Fluidischeinstallation GefaHR! Verletzungsgefahr durch hohen Druck in der anlage! • Vor dem Lösen der Prozessanschlüsse die Anlage drucklos schalten und den Gasstrom absperren. → Nacheinander die Überwurfmutter [A] und den Klemmring auf die Die Fluidanschlüsse entsprechend dem maximalen Massendurchfluss und Leitung schieben. optimierter Druckverluste wählen. Eine Einlaufstrecke ist nicht erforderlich. Auf Anfrage kann das Gerät mit fertigen Fluidanschlüssen geliefert werden. waRnunG! Klemmring gefahr durch leckage! Bei geringen Massendurchflüssen und hohen Drücken muss besonders auf die Dichtheit des Systems geachtet werden, um Fehldosierungen bzw. Austreten des Betriebsmediums zu vermeiden.
  • Seite 29: Elektrische Installation

    Typ8626,8712 InstallationundInbetriebnahme → → Den Dichtring [c] anbringen und den Anschluss [B] am Gerät Zum Abschluss die Überwurfmutter mit einem geeigneten anschrauben. Schlüssel festziehen, damit der Anschluss dicht ist. → Die Leitung einschieben und die Überwurfmutter [a] von Hand anziehen. 7.8. elektrischeinstallation GefaHR! Verletzungsgefahr durch stromschlag! • Schalten Sie vor Beginn der Arbeiten in jedem Fall die Span- nungsversorgung ab und sichern Sie diese vor unbeabsich- tigtem Wiedereinschalten! • Beachten Sie geltende Unfallverhütungs- und Sicherheitsbe- stimmungen für elektrische Geräte! deutsch...
  • Seite 30 Typ8006,8702 InstallationundInbetriebnahme → Die Funktionserde (FE) an der gekennzeichneten Schraube waRnunG! anschließen, zum Beispiel mit einer Erdungsklemme. Das Kabel muss möglichst kurz und der Querschnitt möglichst groß sein. Brand- und Zündgefahr durch elektrostatische entladung! Wenn das Gerät elektrostatisch aufgeladen ist, können sich brennbare Gasdämpfe bei einer elektrostatischen Entladung entzünden. • Um die Möglichkeit elektrostatischer Entladungen zu vermeiden, das Gehäuse über ein möglichst kurzes Kabel (Querschnitt so groß wie möglich) mit der Funktionserde (FE) verbinden. gefahr durch elektromagnetische Felder! Wenn die FE-Verbindung nicht angeschlossen ist, werden die Bedingungen der EMV-Richtlinie nicht eingehalten! • Das Gehäuse über ein möglichst kurzes Kabel (Querschnitt so groß wie möglich) mit der Funktionserde (FE) verbinden. HInweIS! wichtiger hinweis zur einwandfreien Funktion des gerätes: Die GND- oder Masse-Leitungen aller Signale des MFM / MFC müssen in jedem Fall einzeln an das Gerät herangeführt werden. Werden alle GND-Signale direkt am Gerät gebrückt und nur eine gemeinsame Leitung zum Schaltschrank geführt, kann es zu Signalverschiebungen sowie Störungen (Impulse, Schwingungen, usw.) der analogen Signale kommen. deutsch...
  • Seite 31: Bedienung Und Funktion

    Typ8626,8712 BedienungundFunktion 8. BeDienunGunDFunKTion 8.2. BedienungdermFm/mFc 8.1. sicherheitshinweise Die Bedienung des MFM / MFC geschieht mittels analoger Normsignale bzw. einer Feldbuskommunikation sowie binärer Eingänge. 4 LEDs und Relaisausgänge informieren über den Betriebsstatus. waRnunG! Über eine serielle Schnittstelle (RS232) und mit Hilfe der Software Verletzungsgefahr bei unsachgemäßer Bedienung! „Mass Flow Communicator“ kann die Verbindung zu einem PC her- gestellt werden. Nicht sachgemäße Bedienung kann zu Verletzungen, sowie Schäden am Gerät und seiner Umgebung führen. Feldbus • Der Inhalt der Bedienungsanleitung muss dem Bedienungsper- sonal bekannt sein. • Besonders zu beachten sind die Sicherheitshinweise und die Binäreingänge bestimmungsgemäße Verwendung. • Das Gerät darf nur durch ausreichend geschultes Personal in Betrieb genommen werden. Relaisausgänge LEDs deutsch...
  • Seite 32 Typ8006,8702 BedienungundFunktion • auswahl der normsignale / Belegung der status der leDs Bedeutung Binäreingänge LED Communication (gelb) Das Gerät kommuniziert über den leuchtet Feldbus oder die serielle Schnitt- Der Typ des Normsignals und die Belegung der Binärein- stelle (RS232). gänge können bei der Bestellung angegeben und mit Hilfe der PC-Software „Mass Flow Communicator“ eingerichtet werden (siehe auch Kapitel „10.1.3“). • Belegung der leDs / Belegung der Binärausgänge Die Belegung der LEDs „Communication“ und „Limit(y)“ sowie LED Limit (y) (blau) leuchtet MFM: zeigt an, dass der die Belegung der Binärausgänge können über die Software Messwert nahezu den Nenn- konfiguriert werden (siehe auch Kapitel „10.1.3“) durchfluss erreicht hat. MFC: zeigt an, dass die Stell- größe des Proportionalventils 8.2.1. standard-BelegungderleDs nahezu 100 % erreicht hat. Im Betrieb bedeutet dies, dass der status der leDs Bedeutung Druck im Bereich des Reglers zu LED Power (grün) leuchtet Das Gerät ist unter Spannung. niedrig ist, um den gewünschten Massendurchfluss zu erreichen. LED Limit (y) (blau) blinkt Das Gerät befindet sich in einem anderen Betriebsmodus als im Standard-Regelbetrieb oder in der Autotune-Funktion.
  • Seite 33 Typ8626,8712 BedienungundFunktion Binäreingänge status der leDs Bedeutung Durch Aktivierung der Binäreingänge können verschiedene Funktionen LED Error (rot) leuchtet Geringfügiger Fehler, Beispiel: am MFC ausgelöst werden oder der MFC kann in einen bestimmten Die Autotune-Funktion ist Betriebsmodus geschaltet werden. Sie erfolgt über die Verbindung fehlgeschlagen. des Binäreingangs mit GND während mindestens 0,5 s. LED Error (rot) blinkt Schwerwiegender Fehler, Aktivierung Aktivierung zum Beispiel beschädigter Binäreingang 2 Binäreingang 1 Sensor, falsche interne Versor- gungsspannung oder zu hoher Betriebsdruck. eingang standard-Belegung 8.2.2. eingänge Binäreingang 1 Auslösung der Autotune-Funktion Binäreingang 2 Nicht verwendet analoger eingang / ausgang Binäreingang 3 Nicht verwendet Über den analogen Eingang (nur MFC) kann der Sollwert, das heißt...
  • Seite 34: Relaisausgänge

    Typ8006,8702 BedienungundFunktion 8.2.3. relaisausgänge Funktion Beschreibung Die MFM / MFC sind mit 2 Relaisausgängen ausgestattet, die den Autotune auslösen Starten der Autotune-Funktion zur Optimierung Betriebsstatus, das Überschreiten von Grenzwerten oder einen Fehler der Regelparameter entsprechend den Instal- anzeigen. lationsbedingungen (siehe Kapitel „8.3“). Umschalten auf Es werden die unter Gas 2 hinterlegte Kali- ausgang Belegung Kennlinie 2 brierkurve sowie alle dort eingetragenen Para- Relais-Ausgang 1 y2 Limit meter verwendet. Relais-Ausgang 2 Fehler (bei schwerem Fehler, z.B. defekter Totalizer Reset Der integrierte Mengenzähler (Totalisator) wird Sensor oder interner Spannungsfehler) auf Null zurückgesetzt. Sollwert-Profil Start des hinterlegten Sollwert-Profils (siehe Tab.
  • Seite 35 Typ8626,8712 BedienungundFunktion Funktion Beschreibung Funktion Beschreibung Sollwert-Profil aktiv Das im Gerät hinterlegte Sollwert-Profil wird Sensorfehler Das Gerät ist in der Lage, über einen als Sollwert verwendet. Selbsttest ein Sensordefekt zu erkennen. Ist dies der Fall, so wird diese Funktion Steuerbetrieb aktiv Der Steuerbetrieb ist aktiv, d.h. der vorge- aktiviert. gebene Sollwert wird direkt als Stellgröße an das Proportionalventil ausgegeben. MFI Fehler Das Feldbusmodul (MFI) ist defekt oder falsch bestückt. Eine Feldbuskommunikation ist Ventil komplett Die Funktion Ventil komplett schließen ist unmöglich. schließen aktiv aktiviert. x Limit Der Messwert hat einen frei einstellbaren Ventil komplett Die Funktion Ventil komplett öffnen ist aktiviert. Grenzwert über- bzw. unterschritten. öffnen aktiv w Limit Der Sollwert hat einen frei einstellbaren Fehlerhafte Die Stromaufnahme des Geräts wird über- Grenzwert über- bzw. unterschritten. Stromaufnahme wacht. Liegt dieser Wert außerhalb definierter Grenzen, wird diese Funktion ausgelöst. Eine y2 Limit Die Stellgröße hat einen frei einstellbaren...
  • Seite 36: Betriebsmodi Des Mfc

    Typ8006,8702 BedienungundFunktion 8.3. BetriebsmodidesmFc Der MFC verfügt über verschiedene Betriebsmodi: Betriebsmodus status der leDs erreichen des Betriebszustands über Dieser Betriebsmodus kann unter- (standardeinstellung) Binäreingang (falls konfiguriert) brochen oder beendet werden durch Standard-Regelbetrieb LED Power (grün) • Autotune-Funktion (siehe Kapitel „8.3.1“) leuchtet • Sicherheitsfunktion • Sollwertprofil • Steuerbetrieb Autotune-Funktion Power LED (grün) blinkt Eingang während mindestens 0,5 s aktiv • Sicherheitsfunktion (siehe Kap. „8.3.2“) (Neustart bei dauerhafter Belegung) • Gerät-Reset Sicherheitsfunktion Limit LED (blau) blinkt Solange der Eingang aktiv ist (siehe Kap. „8.3.3“) deutsch...
  • Seite 37 Typ8626,8712 BedienungundFunktion Betriebsmodus status der leDs erreichen des Betriebszustands über Dieser Betriebsmodus kann unter- (standardeinstellung) Binäreingang (falls konfiguriert) brochen oder beendet werden durch Sollwert-Profil (siehe Limit LED (blau) blinkt Eingang während mindestens 0,5 s aktiv • Autotune-Funktion Kapitel „8.3.4“) (Neustart bei dauerhafter Belegung) • Sicherheitsfunktion • Gerät-Reset Steuerbetrieb (siehe Limit LED (blau) blinkt Solange der Eingang aktiv ist • Autotune-Funktion Kapitel „8.3.5“) • Sicherheitsfunktion • Gerät-Reset Tab. 5 : Übersicht·der·Betriebsmodi deutsch...
  • Seite 38 Typ8006,8702 BedienungundFunktion 8.3.1. standard-regelbetrieb Beim MFM Wenn die blaue LED Limit (y) aufleuchtet, nähert sich der Der Massendurchfluss wird in dieser Betriebsart mit hoher Dynamik, aktuelle Massendurchfluss dem Nenndurchfluss bzw. hat d.h. schnell auf den vorgegebenen Sollwert geregelt. diesen überschritten (siehe Kapitel „9.3“). Nachdem er unter Spannung gesetzt wurde und nach einer kurzen Bei einer starken Überschreitung des Nenndurchflusses Initialisierungsphase befindet sich der MFC in diesem Betriebsmodus. kann dies dazu führen, dass der ausgegebene Massen- Die LED Power (grün) leuchtet. durchfluss vom tatsächlichen Massendurchfluss abweicht. Der Sollwert wird, je nach Geräteversion, über den Analogeingang Um auf die Abweichung eine externe Reaktion zu ermög- oder den Feldbus vorgegeben. lichen, wird darüber hinaus ein Digitalausgang geschaltet. Die Reglerparameter sind so eingestellt, dass Sollwertänderungen oder Störgrößen möglichst schnell ausgeregelt werden, ohne dass dabei nennenswerte Überschwinger auftreten. Der Massendurchflussmesswert ist, je nach Geräteversion, am Analo- gausgang oder am Feldbus verfügbar.
  • Seite 39: Autotune-Funktion

    Typ8626,8712 BedienungundFunktion 8.3.2. Autotune-Funktion waRnunG! Während die Autotune-Funktion ausgeführt wird, kommt es zu Die Autotune-Funktion wird während der Endkontrolle im verschiedenen Änderungen des Massendurchflusses. Werk unter Betriebsdruck und mit dem im Kalibrierprotokoll • Die Spannungsversorgung des MFC nicht unterbrechen. angegebenen Kalibriermedium durchgeführt. • Den Versorgungsdruck konstant halten. Deshalb ist eine erneute Ausführung dieser Funktion nicht zwingend erforderlich. → Vor der Aktivierung der Autotune-Funktion müssen die typischen Die Autotune-Funktion muss jedoch in folgenden Fällen Druckbedingungen vorliegen. ausgeführt werden: Während die Autotune-Funktion ausgeführt wird, regelt der MFC nicht. • Die Druckbedingungen in der Anlage haben sich dra- Nach Abschluss der Autotune-Funktion kehrt der MFC wieder in den stisch geändert. ursprünglichen Betriebsmodus zurück. • Das Betriebsmedium entspricht nicht dem Kalibriermedium. 8.3.3. sicherheitsfunktion In diesem Betriebsmodus berechnet und optimiert das Gerät die In diesem Betriebsmodus verhält sich das Gerät wie im Regelmodus,...
  • Seite 40: Wartung, Störungsbeseitigung

    Typ8006,8702 Wartung,Störungsbeseitigung 8.3.4. sollwertprofil 9. warTunG, sTörunGsBeseiTiGunG In diesem Betriebsmodus verhält sich das Gerät wie im normalen Regelmodus, der externe Sollwert wird jedoch ignoriert und durch eine 9.1. sicherheitshinweise vordefinierte chronologische Sequenz mit bis zu 30 Massendurch- flusswerten ersetzt (mit der PC-Software „Mass Flow Communicator“ konfigurierbar). GefaHR! Diese Funktion des MFC kann durch eine mindestens 0,5 s dauernde Aktvierung eines Binäreingangs (der für diese Funktion konfiguriert ist) Verletzungsgefahr durch hohen Druck in der anlage! ausgelöst werden. Die LED Limit (blau) blinkt, um anzuzeigen, dass die • Vor dem Lösen der Prozessanschlüsse die Anlage drucklos Funktion ausgeführt wird. schalten und den Gasstrom absperren. Wenn das Sollwertprofil über einen Binäreingang aktiviert wurde und Verletzungsgefahr durch stromschlag! der Eingang wieder deaktiviert wurde, kehrt das Gerät nach Abschluss • Schalten Sie vor Beginn der Arbeiten in jedem Fall die Span-...
  • Seite 41: Wartung

    Typ8626,8712 Wartung,Störungsbeseitigung 9.2. wartung 9.2.1. wartungbeiBetriebmitstark verunreinigtenmedien Der MFM / MFC ist völlig wartungsfrei, wenn er entsprechend den Angaben in diesem Handbuch verwendet wird. Eine regelmäßige Wenn ein stark verunreinigtes Medium verwendet wird: Neukalibrierung ist nicht nötig. → Die Verschmutzung des Edelstahlsiebs regelmäßig überprüfen [5]. VORSICHT! → Es reinigen oder bei Bedarf ersetzen. Verletzungsgefahr durch Funktionsbeeinträchtigung und geräteausfall durch öffnung des gerätes! Im Inneren des Gerätes befinden sich Komponenten zur Regelung und Messung des Massendurchflusses. Ein Eingriff in das Gerät, zum Beispiel um es zu reinigen, ist nur wie in Kapitel „9.2.1“ beschrieben, zulässig.
  • Seite 42 Typ8006,8702 Wartung,Störungsbeseitigung Vorgehensweise: → Zum Zugriff auf das Edelstahlsieb die Eingangsflanschplatte [2] durch Lösen der beiden Schrauben demontieren (siehe „Bild 21“). → Das Edelstahlsieb herausnehmen. → Das Edelstahlsieb [5] entweder mit destilliertem Wasser (kein Leitungswasser), Azeton, Isopropanol oder Druckluft reinigen. → Die Teile nach der Reinigung trocknen. → Die Teile wieder in der richtigen Reihenfolge und Position ein- bauen (siehe „Bild 21“). Die feine Seite des Edelstahlsiebes [5] muss in Richtung Eingangsflanschplatte [2] weisen. 9.2.2. reinigungundneukalibrierung imwerk Wenn der Sensor durch den Betrieb verschmutzt oder beschädigt wurde, kann das Massendurchflusssignal des Gerätes stärkere Abweichungen zum tatsächlichen Massendurchfluss aufweisen. In diesem Fall ist eine Reinigung oder ein Austausch im Werk und eine 1 - Schraube Neukalibrierung erforderlich.
  • Seite 43: Problemlösung

    Typ8626,8712 Wartung,Störungsbeseitigung 9.3. Problemlösung Problem mögliche ursache maßnahme Power LED leuchtet nicht Keine elektrische Versorgung. Elektrische Anschlüsse prüfen. Power LED blinkt Die Autotune-Funktion wird ausgeführt. Siehe Kap. „8.3“. Die LED Power erlischt Die Spannungsversorgung bricht periodisch zusammen Eine Spannungsversorgung mit ausreichender Leistung periodisch - das Gerät führt jeweils einen Reset durch. verwenden. Der Spannungsabfall im Anschlusskabel ist zu groß. Den Querschnitt des Kabels erhöhen. Die Kabellänge reduzieren. Die LED Limit (y) leuchtet MFC: Die Stellgröße des Proportionalventils hat Den Betriebsdruck erhöhen (den maximal zulässigen (nahezu) 100% erreicht. Der Sollwert kann nicht erreicht Versorgungsdruck beachten). werden. Rohrleitungswiderstände überprüfen und gegebenen- falls verringern. Die Dimensionierung der Anlage überprüfen. Die in der Leitung installierten Filter überprüfen und bei Bedarf reinigen. MFM: Der gemessene Massendurchfluss hat den Nenn- Den Massendurchfluss reduzieren. durchfluss fast erreicht oder überschritten. deutsch...
  • Seite 44 Typ8006,8702 Wartung,Störungsbeseitigung Problem mögliche ursache maßnahme Die LED Limit (y) blinkt Das Gerät befindet sich in einem anderen Betriebs- Siehe Kap. „8.3“. modus als Standard-Regelbetrieb oder in der Autotune-Funktion. Die LED Error leuchtet Geringfügiger Fehler, Beispiel: Die letzte Autotune- Die Autotune-Funktion erneut starten oder das Gerät Funktion ist fehlgeschlagen. reinitialisieren, um den Fehler zu quittieren. Die LED Error blinkt Die Restwelligkeit der Versorgungsspannung ist zu Spannungsversorgung mit geglätteter Ausgangs- hoch. spannung bei der geforderten Leistung verwenden. Ein schwerwiegender Fehler ist aufgetreten; Beispiel: Das Gerät zur Beseitigung des Defekts an den Her- ein defekter Sensor oder interner Spannungsfehler. steller schicken. Der Sensor wurde bei einem Betriebsdruck verwendet, Den Betriebsdruck reduzieren. der über dem maximal zulässigen lag. Das Gerät zur Beseitigung des Defekts an den Her- steller schicken. kein Massendurchfluss Der Sollwert ist unterhalb der Grenze für die Sollwert auf > 2 % des Nenndurchflusses erhöhen. vorhanden Nullpunktabschaltung. Das Gerät befindet sich in einem anderen Betriebs- Den Betriebsmodus prüfen, siehe auch Kapitel „8.3“. modus als Standard-Regelbetrieb. Die Leitungen sind zu groß bemessen oder noch nicht Die Leitungen entlüften. vollständig entlüftet. Den Leitungsdurchmesser ändern.
  • Seite 45 Typ8626,8712 Wartung,Störungsbeseitigung Problem mögliche ursache maßnahme Der Messwert schwankt Der Erdungsanschluss (FE) ist nicht ordnungsgemäß FE am Erdungsanschluss anschließen (Kabel so kurz wie angeschlossen. möglich, Querschnitt mindestens 2,5 mm²). Der Regler muss ständig die Unregelmäßigkeiten einer Dem Gerät einen geeigneten Druckregler vorschalten. Versorgung mit instabilem Druck ausgleichen, zum Bei- Zur Dämpfung der Druckschwankungen ein Druckaus- spiel verursacht durch die Pumpen. gleichsgefäß installieren. Die Restwelligkeit der Versorgungsspannung ist zu Spannungsversorgung mit geglätteter Ausgangs- hoch. spannung bei der geforderten Leistung verwenden. Sollwert ist 0 %, das Der Betriebsdruck liegt oberhalb des vom Proportional- Den Betriebsdruck reduzieren. Medium fließt trotzdem ventil dichtgehaltenen Drucks. Das Gerät zur Beseitigung des Defekts an den Her- steller schicken. Sollwert = 0 %, das Die Einbaulage des Gerätes ist falsch. Den MFC in der im Kalibrierprotokoll oder auf dem Ventil ist geschlossen, Kalibrierschild angegebenen Einbaulage installieren kein Massendurchfluss in und für die Anpassung an die Betriebsbedingungen die den Leitungen; Autotune-Funktion ausführen. aber ein Durchfluss Ein anderes als das bei der Kalibrierung vorgesehene Das Gerät an den Hersteller schicken, der dann für das ungleich Null wird Medium wird verwendet.
  • Seite 46: Zubehör / Ersatzteile

    Typ8006,8702 Zubehör/Ersatzteile 10. ZuBehör/ersaTZTeile 10.1.1.elektrischesZubehör typen Zubehör Bestellnummer 8006, Steckverbinder M16, 8-polig 918 299 VORSICHT! 8702, (zum Verlöten) 8626, Steckverbinder M16, 8-polig, mit 787 733 Verletzungsgefahr, sachschäden durch ungeeignete teile! 8712 Kabel 5 m, einseitig konfektioniert Falsches Zubehör und ungeeignete Ersatzteile können Ver- Steckverbinder M16, 8-polig, 787 734 letzungen und Schäden am Gerät und dessen Umgebung mit Kabel 10 m, einseitig verursachen. konfektioniert • Verwenden Sie nur Originalzubehör sowie Originalersatzteile Steckverbinder D-Sub, 15-polig, mit 787 735 der Fa. Bürkert. 5 m Kabel, einseitig konfektioniert Steckverbinder D-Sub, 15-polig, mit 787 736 10 m Kabel, einseitig konfektioniert 10.1. Zubehör RS232-Adapter für den Anschluss 654 757 Die im Folgenden beschriebenen Bürkert-Zubehörteile werden für...
  • Seite 47 Typ8626,8712 Zubehör/Ersatzteile Deshalb für mindestens einen der Anschlüsse einen handelsüblicher typen Zubehör Bestellnummer Steckverbinder mit geringerem Durchmesser, max. Ø 15 mm, ver- Profibus- Steckverbinder M12, gerade 918 198 wenden (z.B. mit Ummantelung). Version (B-kodiert) Buchse M12 gerade (B-kodiert) 918 447 PROFIBUS* Y-Verteiler 902 098 10.1.2.FluidtechnischesZubehör PROFIBUS T-Stück 918 531 Die MFM / MFC sind mit einer Prozessanschlussplatte mit Gewinde PROFIBUS-Abschlusswiderstand 902 553 nach DIN ISO 228/1 ausgerüstet. (B-kodiert) Mit einem als Zubehör erhältlichen Gewindeanschluss kann das Gerät GSD-Datei Herunterladen an eine Leitung angeschlossen werden: unter www. • Die Geräteanschlussseite hat ein Gewinde nach DIN ISO 228/1, burkert.com...
  • Seite 48 Typ8006,8702 Zubehör/Ersatzteile geräteanschluss, mit gewinde leitungsdurchmesser werkstoff Bestell-nummer Bestell-nummer nach Din iso 228/1 Klemmringverschraubung Dichtungsring G 1/4 6 mm 901 538 901 575 G 1/4 8 mm 901 540 901 575 G 1/4 1/4 " 901 551 901 579 G 1/4 3/8 " 901 553 901 579 G 3/8 8 mm 901 542 901 576 G 3/8 10 mm 901 544 901 576 G 3/8 1/4" 901 555 901 580 Edelstahl G 3/8 3/8"...
  • Seite 49: Weitere Unterlagen

    Typ8626,8712 Zubehör/Ersatzteile 10.1.3.massFlowcommunicator 10.1.4.weitereunterlagen (Pc-software) Bezeichnung Bestellnummer Die PC-Software „Mass Flow Communicator“ ermöglicht die Kom- Ergänzung zur Bedienungsanleitung für 804 553 munikation mit allen Geräten der Familien Mass Flow Controller und Feldbus-Geräte Liquid Flow Controller von Bürkert. Kontaminationserklärung 806 075 Zusatzblatt „Konfiguration über PROFIBUS 805 923 Die Software läuft unter Windows und kommuniziert mit mit GSD-Datei“ dem MFM / MFC über eine serielle Schnittstelle (RS232). 10.2. ersatzteile Die Software ermöglicht: Bezeichnung Bestellnummer • das Auslesen bestimmter spezifischer Gerätedaten, Edelstahlsieb, Maschenweite 250 µm, 646 808 • die Änderung der Belegung von binären Ein- und Ausgängen, für 8626 / 8006 (Standard-Grundkörper) • die Änderung der Belegung der LEDs, Edelstahlsieb, Maschenweite 250 µm,...
  • Seite 50: Ausserbetriebnahme

    Typ8006,8702 Außerbetriebnahme 11. ausserBeTrieBnahme 11.2. DemontagedermFm/mFc Vorgehensweise: 11.1. sicherheitshinweise GefaHR! gefahr durch hohen Druck in der anlage! • Vor dem Lösen der Prozessanschlüsse die Anlage drucklos schalten und den Gasstrom absperren. gefahr durch austretendes Betriebsmedium! • Die geltenden Unfallverhütungs- und Sicherheitsbestimmungen für die verwendeten Betriebsmedien beachten. gefahr durch elektrische spannung! • Schalten Sie vor Beginn der Arbeiten in jedem Fall die Span- nungsversorgung ab und sichern Sie diese vor unbeabsich- tigtem Wiedereinschalten! → Systemdruck des Betriebsmediums abbauen. • Beachten Sie geltende Unfallverhütungs- und Sicherheitsbe- → Die Öffnung des Magnetventils steuern. stimmungen für elektrische Geräte! → Das Gerät mit einem neutralen Medium spülen (z. B. Stickstoff). → Systemdruck des Spülfluids abbauen. waRnunG! → Die Spannungsversorgung [a] unterbrechen. → Verletzungsgefahr bei unsachgemäßer Demontage! Die elektrischen Anschlüsse [B] abziehen. →...
  • Seite 51: Verpackung, Lagerung, Transport

    Typ8626,8712 Verpackung,Lagerung,Transport 12. VerPacKunG,laGerunG, 13. rÜcKsenDunG TransPorT es werden keine arbeiten oder untersuchungen am 12.1. Verpackung,Transport gerät vorgenommen, solange keine gültige Kontamina- tionserklärung vorliegt. HInweIS! Die Kontaminationserklärung kann von unserer Homepage transportschäden! heruntergeladen oder bei ihrem lokalen Bürkert-Büro ange- fordert werden. Unzureichend geschützte Geräte können durch den Transport beschädigt werden. www.buerkert.de Service Service / Wartung / Inbe- triebnahme Kontaminationserklärung • Entfernen Sie alle Kabel, Anschlüsse, separate Filter und Montagematerial. Für die Rücksendung eines bereits verwendeten Geräts ist • Verunreinigte Geräte reinigen und auslüften. eine Rücksendenummer erforderlich. • Die Fluidanschlüsse mit Schutzabdeckungen schützen, um Für die Rücksendung eines bereits verwendeten Geräts an Bürkert sie vor Beschädigung zu schützen und ihre Dichtheit zu wie folgt vorgehen: → gewährleisten. Die Kontaminationserklärung ausfüllen →...
  • Seite 52: Entsorgung Des Gerätes

    Typ8006,8702 EntsorgungdesGerätes 14. enTsorGunGDesGeräTes → Gebrauchte Produkte nach ihrer Art sortieren. → Entsorgen Sie das Gerät und die Verpackung umweltgerecht. HInweIS! umweltschäden durch teile, die durch medien kontaminiert wurden! • Geltende Entsorgungsvorschriften und Umweltbestimmungen einhalten! Beachten Sie die nationalen Abfallbeseitigungsvorschriften. deutsch...
  • Seite 54 www.burkert.com...

Diese Anleitung auch für:

800687028626

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