bürkert 8626 Bedienungsanleitung
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Inhaltszusammenfassung für bürkert 8626
- Seite 1 F l u i d C o n t r o l S y s t e m s MASS FLOW CONTROLLER TYPE 8626 Bedienungsanleitung / Operating Instructions / Instructions de service...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
MASS FLOW CONTROLLER TYP 8626 INHALT ALLGEMEINES ...................... 3 Sicherheitshinweise ....................3 Schutz gegen Beschädigung durch elektrostatische Aufladung ......3 Lieferbedingungen ....................4 Garantiebestimmungen ................... 4 SYSTEMBESCHREIBUNG ..................5 Allgemeine Funktion ....................5 Fluidische Anschlüsse .................... 6 Elektrische Anschlüsse ................... 7 2.4. - Seite 3 DARSTELLUNGSMITTEL In dieser Betriebsanleitung werden folgende Darstellungsmittel verwendet: markiert einen Arbeitsschritt, den Sie ausführen müssen ACHTUNG! kennzeichnet Hinweise, bei deren Nichtbeachtung Ihre Gesund- heit oder die Funktionsfähigkeit des Gerätes gefährdet ist. HINWEIS kennzeichnet wichtige Zusatzinformationen, Tips und Empfehlungen Typ 8626...
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Seite 4: Allgemeines
Sicherheitshinweise Bitte beachten Sie die Hinweise dieser Betriebsanleitung sowie die Einsatz- bedingungen und zulässigen Daten, die in den Datenblättern des Mass Flow Controllers Typ 8626 spezifiziert sind, damit das Gerät einwandfrei funktioniert und lange einsatzfähig bleibt: • Halten Sie sich bei der Einsatzplanung und dem Betrieb des Gerätes an die allgemeinen Regeln der Technik! •... -
Seite 5: Lieferumfang
Tel. : 07940-10252 oder an Ihre Bürkert-Niederlassung. Garantiebestimmungen Bürkert gewährt auf die ordnungsgemäße Funktion des MFC Typ 8626 eine Garan- tie von einem Jahr unter der Voraussetzung, daß das Gerät bestimmungsgemäß und unter Beachtung der spezifizierten Einsatzbedingungen verwendet wird. ACHTUNG! Zur bestimmungsgemäßen Verwendung gehört insbesondere... -
Seite 6: Systembeschreibung
SYSTEMBESCHREIBUNG Allgemeine Funktion Der Mass Flow Controller (MFC) Typ 8626 ist ein Kompaktgerät, mit dem der Massen durchfluß von Gasen geregelt wird. Er regelt einen vorgegebenen Sollwert unabhängig von Störgrößen wie Druckschwankungen oder zeitlich veränderlichen Strömungswiderständen aus (z.B. infolge Filterverschmutzung). -
Seite 7: Fluidische Anschlüsse
Beachten Sie beim Anschließen des Gerätes in jedem Fall die Pfeilkennzeichnung auf dem Sensorblock! HINWEIS Besondere Ein- oder Auslaufstrecken sind aufgrund der integrierten Elemente zur Strömungskonditionierung nicht vorgeschrieben. Vermeiden Sie jedoch im Interesse einer optimalen Reproduzier- barkeit Winkel oder enge Biegeradien direkt am fluidischen Eingang des MFC! Typ 8626... -
Seite 8: Elektrische Anschlüsse
Elektrische Anschlüsse Die elektrische Verbindung des MFC Typ 8626 mit Spannungsversorgung, Steue- rung usw. erfolgt durch zwei Leitungen. Diese werden über einen 7poligen Rund- steckverbinder und eine 9polige Sub-D-Steckverbindung an der Frontseite des MFC-Gehäuses mit der Elektronik verbunden. Im Abschnitt 5 “Zubehör” finden Sie die von uns empfohlenen Gegenstecker bzw. - Seite 9 über eine spezielle Kabelverbindung und ein Modem eine Kommunikation mit dem Service im Herstellerwerk über das Telefonnetz aufzubauen. Damit kann z.B. eine schnelle Ferndiagnose bei auftretenden Problemen durchgeführt werden. Nähere Informationen zu dieser Servicemöglichkeit erhalten Sie unter der in 1.2. genannten Ansprechadresse. Typ 8626...
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Seite 10: Leuchtdioden Zur Anzeige Des Betriebszustandes
2.4. Leuchtdioden zur Anzeige des Betriebszustandes „Power“ Die grüne LED leuchtet immer, wenn das Gerät mit Be- triebsspannung versorgt ist. „Autotune“ Die rote Kontrollampe blinkt, wenn das Gerät die sogenann- te Autotune-Routine abarbeitet. In der Routine wird der Stellgrößenbereich an die aktuellen Druckbedingungen in der Anwendung angepaßt, um die optimale Auflösung und Regeldynamik zu erreichen (s. -
Seite 11: Komponenten
Strömungsformen. Nach einmal erfolgter Kalibrierung kann somit aus dem Sensor- signal auf den Gesamtdurchfluß im Strömungskanal rückgeschlossen werden. Im MFC Typ 8626 erfolgt die Messung im Hauptstrom , so daß eine sehr gute Dyna- mik gewährleistet ist. Durch die Anordnung des Pt-Heizwiderstandes auf einem längs zur Strömung liegenden Glaschip ist der Sensor nur in geringem Maße verschmutzungsanfällig. -
Seite 12: Regler
2.5.2. Regler Die Verarbeitung der aktuellen Soll- und Ist-Durchflüsse und die Ansteuerung des Stellgliedes wird von einer Mikroprozessorelektronik durchgeführt. Das analoge Spannungssignal des Sensors wird von der Regelelektronik gefiltert, digitalisiert und mit Hilfe der im EEPROM hinterlegten Kalibrierkurve in einen dem Ist-Durchfluß... -
Seite 13: Proportionalventil
Für besondere Einsatzfälle liefern wir auf Anfrage auch Geräte mit anderen Dichtmaterialien. è Berücksichtigen Sie für die Auswahl des Proportionalventils die grundlegen- den fluidischen Daten der Anlage, in welcher der MFC Typ 8626 eingesetzt wird (s. 3.1.). Nur dann werden die gewünschten Leistungsdaten sowie optimale Regeleigenschaften sichergestellt. -
Seite 14: Betriebshinweise
BETRIEBSHINWEISE Auswahlkriterien Von entscheidender Bedeutung für die Auswahl des MFC ist: • die Verträglichkeit der mediumsberührten Teile mit den Eigenschaften des zu regelnden Gases; • die richtige Wahl des Durchflußbeiwertes, der im wesentlichen durch die Nennweite des Stellgliedes definiert wird; •... - Seite 15 Dichte des Mediums in [kg/m ] unter Normbedingungen (1013 mbar, 273 K) Temperatur des Gases in K : Absolut drücke in [bar] vor und nach dem MFC Typ 8626 b) Sind dagegen die Druckwerte p und p am Ein- und Ausgang der Gesamt- anlage und der gewünschte Maximaldurchfluß...
- Seite 16 Die Ventilautorität ψ sollte im Interesse einer akzeptablen Betriebskennlinie der Anlage nicht unter 0.3 ... 0.5 liegen. Ist ψ ψ ψ ψ ψ kleiner als dieser Richtwert, ist der MFC Typ 8626, bzw. sein Stellglied, so überdimensioniert, daß bei voller Öffnung sein Strömungswiderstand deutlich gerin- ger ist als der der übrigen fluidischen Komponenten in der Anlage.
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Seite 17: Kalibrierung
Transportes erkennbar sind. Im Falle von Beanstan- dungen wenden Sie sich bitte unmittelbar an unsere Serviceab- teilung (s. Seite 3). è Bauen Sie den MFC Typ 8626 nach Entfernen der Schutzkappen in das Leitungssystem ein è Vermeiden Sie Verspannungen beim Anziehen è... -
Seite 18: Betriebszustände
Promille kommen. Betriebszustände 3.4.1 Normaler Regelbetrieb Dies ist der Betriebszustand, in dem der MFC Typ 8626 sofort nach dem Einschalten arbeitet. Im LED-Feld auf der Frontseite des Reglergehäuses leuchtet nur die grüne Power-LED. Der Durchfluß wird auf den angegebenen Sollwert mit einer hohen Dynamik ange- glichen. -
Seite 19: Autotune-Modus
Nach einem Sollwertsprung erreicht der MFC Typ 8626 innerhalb von max. 500 ms das ±5%-Band um den neuen Sollwert und bleibt in diesem Band. Das Normsignal für den Istwertausgang ist gefiltert, um das besonders bei großen Durchflüssen starke Fluidrauschen herabzusetzen. Aus diesem Grund ist der Ist- wertausgang des MFC Typ 8626 gegenüber der hohen Dynamik der Regelung... -
Seite 20: Sollwert Nicht Erreichbar
Anlage stark geändert haben. 3.4.3 Sollwert nicht erreichbar In diesem Zustand läuft die Regelung korrekt ab, der MFC Typ 8626 kann jedoch den vorgegebenen Sollwert nicht erreichen. Es ist eine bleibende positive Regel- abweichung (w-x) vorhanden. Dieser Betriebszustand tritt auf, wenn das Tastver- hältnis des Ventils bis nahe 100% gezogen wird, der damit erzielte Durchfluß... -
Seite 21: Sensorfehler
Durchfluß Null) vorhanden ist. In diesem Fall ist der Sensor defekt oder es gibt Kontaktprobleme bei seiner Versorgung. Der MFC Typ 8626 schaltet automatisch in den Steuerbetrieb um, d.h. das an das Ventil ausgegebene Tastverhältnis wird linear proportional zum angelegten Sollwert gesetzt. -
Seite 22: Wartung
Wartung Die MFC’s Typ 8626 sind bei Betrieb entsprechend den in dieser Anleitung gegebe- nen Hinweisen im Prinzip wartungsfrei. Falls nach längerem Betrieb mit einem verschmutzten Medium größere Mengen von Partikeln eingetragen wurden, kann nach Lösen der eingangsseitigen Flansch- platte (4 Inbusschrauben) das dann zugängliche Edelstahldrahtgitter gereinigt oder ersetzt werden. -
Seite 23: Störungen / Fehlersuche
Autotune zur Anpassung an Schwingungen dem Druck, bei dem die die Betriebsbedingungen letzte Autotune ausgeführt auslösen wurde (u. U. bei werksseitiger Kalibrierung) Betriebsmedium nicht gleich Neukalibrierung beim Kalibriermedium und Hersteller für das thermische Eigenschaften Betriebsmedium beider sehr unterschiedlich Typ 8626... -
Seite 24: Zubehör
ZUBEHÖR Artikel Best.-Nr. Rundstecker 7-polig Fa. Tuchel 646138 Sub-D-Buchse 9-polig IP65 917623 Rundstecker 7-polig Fa. Tuchel, mit 3 m Kabel, 784725 einseitig konfektioniert Sub-D-Buchse 9-polig IP65, mit 3 m Kabel, 784726 einseitig konfektioniert Geeignetes Zubehör für den fluidischen Anschluss des MFC finden Sie unter Typ 1013 im Bürkert Zubehör-Katalog. - Seite 25 NOTIZEN Typ 8626...
- Seite 49 NOTES Type 8626...
- Seite 73 NOTES Type 8626...
- Seite 74 Berlin: Tel. (0 30) 67 97 17-0 Dresden: Tel. (03 59 52) 36 30-0 Frankfurt: Tel. (0 61 03) 94 14-0 Steuer- und Regeltechnik Hannover: Tel. (05 11 ) 9 02 76-0 Christian-Bürkert-Str. 13-17 Dortmund: Tel. (0 23 73) 96 81-0 74653 Ingelfingen München: Tel.