Pfeiffer Vacuum ASI 35 Betriebsanleitung Seite 36

Installation
20
Beispiel: Installation einer Messröhre und Steuerung der Testventile durch ein mit einer 37-poli-
gen E/A-Kommunikationsschnittstelle (Option/Zubehör) ausgestattetes elektronisches Modul.
Position
1
4
5
6
7
8
9
10
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
A
B
1) Option/Zubehör „Interne Kalibrierung"
2) Separat zu bestellen
3) Option/Zubehör
36/112
21
17
16
15
18
14
19
Benennung
Spektrometerzelle
Set „Interne Kalibrierung"
Turbomolekularpumpe SplitFlow 50
Ansaugflansch Modus „Grobleck" DN 16 ISO-KF
Blindflansch, DN 16 ISO-KF
Ansaugflansch Modus „Normal" DN 16 ISO-KF
Ansaugflansch Modus „Feinleck" DN 16 ISO-KF
Ansaugflansch Modus „Feinleck" DN 25 ISO-KF
Absperrventil
Vorpumpe
Testventil 1 (Modus „Grobleck")
Testventil 2 (Modus „Normal")
Testventil 3 (Modus „Feinleck")
Gepumpte Kammer oder gepumpter Prüfling
Vorevakuierungsventil
Pumpensystem
System des Kunden
Messröhre
37-polige E/A-Kommunikationsschnittstelle
ASI 35 Vakuummodul
Elektronisches Modul ASI 35
1
Vc
10
4
2
9+7
8
5
6
6
12
13
22
S1
S2
S3
1)
2)
2)
2)
2)
2)
2)
2)
2)
2)
A
B
2)
3)