Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
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Allgemeines Stellbefehle Statusabfragen Sollwertvorgaben Zusätzliche Parameter für das DCU Betrieb Vakuumpumpe in Betrieb nehmen Vakuumpumpe einschalten Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren Betriebsarten 8.4.1 Normalbetrieb 8.4.2 Stand-by-Betrieb 8.4.3 Drehzahlstellbetrieb Betriebsüberwachung 8.5.1 Betriebsanzeige über LED 8.5.2 Temperaturüberwachung 8.5.3 Schmiermittelstand kontrollieren...
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Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Aufkleber auf dem Produkt Tab. 2: Verwendete Abkürzungen Tab. 3: Zulässige Umgebungsbedingungen Tab. 4: Merkmale der Wälzkolbenpumpen Tab. 5: Erforderliche Eigenschaften des Netzanschlusskabels Tab. 6: Steckerbelegung D-Sub-Buchse, 15-polig Tab. 7: Merkmale der Schnittstelle RS-485 Tab. 8: Erläuterung und Bedeutung der Parameter Tab.
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Abb. 14: Vernetzung über Anschluss RS-485 mit Verbindungskabeln und Zubehör Abb. 15: Filtermatte von Lüfter austauschen Abb. 16: Schmiermittel ablassen Abb. 17: Schmiermittel einfüllen Abb. 18: HiLobe 8104, HiLobe 11004, HiLobe 14004 | DN 250 Abb. 19: Schaltkasten mit Antriebselektronik RC 15000 6/66...
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.
Zu dieser Anleitung 1.3.2 Piktogramme Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen. Hinweis Tipp QR-Code verlinkt auf weiterführende Online-Informationen. Wir empfehlen die Ansicht auf einem Tabletcomputer. Beachten Sie anfallende Datenmen- gen. 1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild (Beispiel) Das Typenschild für die Vakuumpumpe befindet sich stirnseitig D-35641 Asslar...
Zu dieser Anleitung Verschlusssiegel warranty seal Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfer- nen eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Gewährleis- tung. Ölkanne Das Symbol "Ölkanne" kennzeichnet die Einfüllschrauben für Schmiermittel. Tab. 1: Aufkleber auf dem Produkt Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 1 Warnhinweis: heiße Oberfläche Hinweis: Einfüllöffnungen für Schmiermittel...
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
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Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Das Berühren von offenliegenden und spannungsführenden Elementen erzeugt einen elektrischen Schlag. Unsachgemäßer Anschluss der Netzversorgung führt zu der Gefahr berührbarer, spannungs- führender Gehäuseteile. Es besteht Lebensgefahr. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►...
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► Installieren Sie einen geeigneten Berührungsschutz, wenn die Vakuumpumpe für nicht unterwie- sene Personen frei zugänglich ist. ► Lassen Sie die Vakuumpumpe vor allen Arbeiten abkühlen. ► Kontaktieren Sie Pfeiffer Vacuum für einen geeigneten Berührungsschutz in Systemlösungen. Risiken beim Betrieb WARNUNG Vergiftungsgefahr durch Austritt toxischer Prozessmedien aus dem Auspuff Die Vakuumpumpe lässt im Betrieb ohne Auspuffleitung Auspuffgase und Dämpfe ungehindert ins...
Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme, Entsorgung und bei Störungen WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten, die auch dann noch besteht, nachdem die Vakuumpumpe ausgeschaltet ist. ►...
Sicherheit Verletzung der Konformität durch Veränderungen am Produkt Die Konformitätserklärung des Herstellers erlischt, wenn der Betreiber das Originalprodukt verändert oder Zusatzeinrichtungen installiert. ● Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor deren Inbetriebnahme die Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden europäischen Richtlinien zu überprüfen und entsprechend neu zu bewerten.
► Betreiben Sie die Vakuumpumpe innerhalb der Einsatzgrenzen des Produktes und unter Berück- sichtigung der Technischen Daten. ► Halten Sie die Installations-, Inbetriebnahme-, Betriebs- und Instandhaltungsvorschriften ein. ► Verwenden Sie nur von Pfeiffer Vacuum empfohlene Zubehörteile. 2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch Bei Fehlgebrauch des Produkts erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleistungsanspruch. Als Fehlge- brauch gilt jede, auch unabsichtliche Verwendung, die dem Zweck des Produktes zuwider läuft.
Lage versetzen, die erforderlichen Tätigkeiten und Arbeitsschritte sicher und bestimmungsgemäß durchführen zu können. 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur Entsprechend ausgebildete Personen sind: ● Wartung Level 1 ─ Kunde mit technischer Ausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker ● Wartung Level 3 ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 17/66...
Ablauf der Wälzkolben. Die Schmierung beschränkt sich auf die beiden vom Schöpfraum getrennt angeordneten Lager- und Getrieberäume. Scannen Sie den QR-Code oder klicken Sie hier und sehen Sie, wie Pfeiffer Vacuum Wälzkolbenpumpen arbeiten. Abb. 3: Aufbau vertikale Förderrichtung 1 Einfüllschraube...
Die Vakuumpumpe besitzt eine aktive, sensorisch überwachte, Luftkühlung. 3.1.3 Einbaulagen Die Vakuumpumpe ist für vertikale Förderrichtung geeignet. 3.2 Produkt identifizieren Halten Sie zur eindeutigen Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. Folgende Informationen sind auf den Typenschildern genannt: ● Pumpenmodell ●...
● Füllen Sie Schmiermittel in den Getriebe- und Lagerraum erst dann ein, wenn die end- gültige Aufstellungsposition erreicht ist. Verpackung Pfeiffer Vacuum empfiehlt, die Transportverpackung aufzubewahren. Allgemeine Hinweise 1. Achten Sie auf das auf dem Typenschild angegebene Gewicht. 2. Transportieren oder versenden Sie die Wälzkolbenpumpe möglichst in ihrer original Verpackung.
Weder Schöpfraum noch Kolben im Innern der Wälzkolbenpumpe sind mit einem Korrosionsschutz versehen. Lagerung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Vorgehen 1. Verschließen Sie beide Anschlussflansche vakuumdicht. 2. Lagern Sie die Wälzkolbenpumpe nur in trockenen, staubfreien Räumen innerhalb der spezifizier- ten Umgebungsbedingungen.
Personen frei zugänglich ist. ► Lassen Sie die Vakuumpumpe vor allen Arbeiten abkühlen. ► Kontaktieren Sie Pfeiffer Vacuum für einen geeigneten Berührungsschutz in Systemlösungen. Generelle Anmerkungen für die Installation von Vakuumkomponenten ► Wählen Sie den Aufstellungsort so, dass der Zugang zum Produkt und zu Versorgungsleitungen jederzeit möglich ist.
► Entnehmen Sie Typ und Menge des vorgesehenen Schmiermittels dem Typenschild der Vakuum- pumpe. – Grundsätzlich ist nur das bei der Erstmontage verwendete Schmiermittel zulässig. ► Halten Sie Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum, falls Sie eine andere Schmiermittelsorte verwenden möchten. Zugelassene Schmiermittel ●...
Installation ● F5 für Korrosivgasausführung ● Andere Schmiermittel auf Anfrage Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Schmiermittel der Vakuumpumpe Benötigte Werkzeuge ● Innensechskantschlüssel, SW 8 ● Ringschlüssel, SW 27 Benötigtes Hilfsmittel ● Auffanggefäß Abb. 8: Schmiermittel einfüllen 1 Einfüllschrauben Ablassschraube 2 Füllstandsbegrenzer Einfüllen des Schmiermittels Die Ölkammern der Wälzkolbenpumpe sind mit je einem Füllstandsbegrenzer ausgestattet.
Installation 5. Füllen Sie Schmiermittel beidseitig, bis zum maximalen Füllstand ein. – Schmiermittel läuft bei vollständiger Füllung am Füllstandsbegrenzer über und tropft aus der Ablassöffnung. 6. Schrauben Sie Einfüll- und Ablassschrauben wieder ein. 5.4 Vakuumseite anschließen WARNUNG Quetschgefahr durch rotierende Teile Innerhalb des Anschlussflansches werden Finger und Hände von rotierenden Kolben erfasst.
● Ringschlüssel, SW 16 bei Flansch DN 250 ISO-F ● Ringschlüssel, SW 30 bei Flansch DN 250 PN16 Kondensatabscheider Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Einbau eines Kondensatabscheiders mit dem Kondensatab- lass an der tiefsten Stelle der Auspuffleitung. Vorvakuumseite anschließen 1. Wählen Sie den Querschnitt der Rohrleitung mindestens in der Nennweite des Druckflansches aus.
Installation 5.6 Schaltkasten anschließen VORSICHT Elektrischer Schlag und Schäden an Vakuumpumpe und Antriebselektronik durch unsachge- mäßes Verbinden und Trennen von Komponenten Bei bestehender Netzverbindung am Schaltkasten besteht die Gefahr des elektrischen Schlags beim Berühren des Motoranschlusssteckers. Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nach- laufende Vakuumpumpe elektrische Energie.
2. Verbinden Sie die Anschlusskabel der beiden Lüfter mit den zugehörigen Anschlüssen (Fan 1 und Fan 2) am Schaltkasten. 5.8 Zubehör anschließen Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Wälzkolbenpumpen eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör an. ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehör finden Sie online.
Installation WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag aufgrund nicht sachgerechter Installation Das Gerät verwendet berührungsgefährliche Spannung als elektrische Versorgung. Durch unsichere oder nicht sachgerechte Installation entstehen lebensgefährliche Situationen durch elektrischen Schlag im Umgang mit dem Gerät. ► Sorgen Sie für die sichere Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. ►...
Der 15-polige D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung "remote" bietet die Möglichkeit der Fernbedienung der Antriebselektronik. Die folgenden Angaben stellen die Werkseinstellungen der Antriebselektronik dar. Sie können diese mittels des Pfeiffer Vacuum Parametersatzes konfigurieren. ► Verwenden Sie abgeschirmte Stecker und Kabel. Abb. 13:...
Beispiel: Nutzen Sie das Signal für die Meldung Vakuumpumpe "betriebsbereit". GND: Vakuumpumpe aus 6.1.4 RS-485 Pin 13 und Pin 14 Über Pin 13 und Pin 14 am D-Sub Anschluss der Antriebselektronik können Sie ein Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät (DCU oder HPU) oder einen externen PC anbinden. 32/66...
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag an den Kommunikationsschnittstellen. ► Schließen Sie nur geeignete Geräte an das Bussystem an. Die Schnittstelle mit der Bezeichnung "RS-485" ist für den Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes (DCU oder HPU) oder eines externen PC vorgesehen. Die Anschlüsse sind galva- nisch sicher von der maximal auftretenden Versorgungsspannung der Antriebselektronik getrennt.
3. Schließen Sie alle Geräte mit RS-485 D+ und RS-485 D- am Bus an. 6.3 Pfeiffer Vacuum Protokoll für RS-485-Schnittstelle 6.3.1 Telegrammrahmen Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII-Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens C . Grundsätzlich sendet ein Master (z.
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werkseitig in der An- triebselektronik programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Die Verwendung der Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
In der Antriebselektronik ist werkseitig der Grundparametersatz eingestellt. Für die Steue- rung von angeschlossenen externen Komponenten (z. B. Vakuummessgeräte) sind in den entsprechenden Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräten zusätzliche Parameter (er- weiterter Parametersatz) verankert. ● Bitte beachten Sie entsprechende Betriebsanleitung der jeweiligen Komponente.
► Installieren Sie einen geeigneten Berührungsschutz, wenn die Vakuumpumpe für nicht unterwie- sene Personen frei zugänglich ist. ► Lassen Sie die Vakuumpumpe vor allen Arbeiten abkühlen. ► Kontaktieren Sie Pfeiffer Vacuum für einen geeigneten Berührungsschutz in Systemlösungen. Vor dem Einschalten 1. Kontrollieren Sie die Schmiermittelstände an beiden Schaugläsern.
Folgende Betriebsarten sind möglich: ● Betrieb ohne Bediengerät ● Betrieb über externe Steuerung ● Betrieb über RS-485 und Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät oder PC Automatischer Anlauf Nach Überbrücken der Kontake Pin 2, 7, 5 am Anschlussstecker "remote" oder bei Ver- wendung eines Verbindungskabels "mit entsprechenden Brücken"...
Betrieb Mit Peripheriegeräten DCU oder HPU oder PC betreiben 1. Beachten Sie für den Umgang mit dem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät die dazugehö- rende Betriebsanleitung: – Betriebsanleitung "DCU" verfügbar im Download Center. – Betriebsanleitung "HPU" verfügbar im Download Center.
Betrieb 8.5 Betriebsüberwachung 8.5.1 Betriebsanzeige über LED LEDs am Bedienfeld der Antriebselektronik zeigen den jeweiligen Betriebszustand der Vakuumpumpe Symbol LED Status Anzeige Bedeutung Grün stromlos Ein, blitzend "Pumpe AUS" Ein, konstant "Pumpe EIN" Gelb keine Warnung Ein, konstant Warnung kein Fehler Ein, konstant Fehler Tab.
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3. Fluten Sie die Vakuumpumpe über die Saugseite um Gasrückströmung zu vermeiden. 4. Schalten Sie die prozess- und pumpenspezifische Medienversorgung ab (z. B. die Sperrgaszu- fuhr). Alternative: Ausschalten über Pfeiffer Vacuum Parameter ► Stellen Sie Parameter [P:010] auf den Wert "0". Vorgehen bei verunreinigenden Medien 1.
9.2 Checkliste für Inspektion und Wartung Hinweise zu den Wartungsintervallen Je nach Prozess können die erforderlichen Wartungsintervalle die in der Tabelle spezifi- zierten Richtwerte unterschreiten. ● Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder bei spezifi- schen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 44/66...
Für die Durchführung von Wartungsarbeiten des Levels 3 empfehlen wir den Pfeiffer Vacu- um Service (PV). Bei unsachgemäß ausgeführten Wartungsarbeiten entfallen jegliche Ge- währleistungs- und Haftungsansprüche gegenüber Pfeiffer Vacuum. Dies gilt auch, wenn Sie keine Originalersatzteile verwenden. Sie können Wartungsarbeiten des Wartungs Level 1 eigenständig durchführen.
Wartung 9.3 Luftfilter reinigen Abb. 15: Filtermatte von Lüfter austauschen 1 Filtermatten Lamellengitter Benötigtes Werkzeug ● Schraubendreher Filter reinigen bzw. austauschen 1. Hebeln Sie mit dem Schraubendreher das Lamellengitter vorsichtig ab. 2. Entnehmen Sie die Filtermatten. 3. Reinigen bzw. tauschen Sie die Filtermatten aus. –...
Verbrühungsgefahr beim Ablassen des Schmiermittels bei Kontakt mit der Haut. ► Tragen Sie Schutzausrüstung. ► Verwenden Sie ein geeignetes Auffanggefäß. Pfeiffer Vacuum empfiehlt, dass Sie die exakte Standzeit des Schmiermittels im ers- ten Betriebsjahr ermitteln. Je nach thermischer und chemischer Belastung oder aufgrund eingedrungener Prozessme- dien in Getriebe- und Lagerräume, kann die Standzeit variieren und vom spezifizierten...
Wartung 4. Kontern Sie die Füllstandsbegrenzer mit dem Ringschlüssel und schrauben Sie gleichzeitig die Ablassschrauben heraus. 5. Schrauben Sie den Füllstandsbegrenzer heraus und lassen Sie das Schmiermittel ablaufen. 9.4.2 Schmiermittel einfüllen Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Schmiermittel der Vakuumpumpe Benötigte Werkzeuge ● Innensechskantschlüssel, SW 8 ●...
Die Gebrauchsfähigkeit des Schmiermittels ist begrenzt (max. 2 Jahre). Führen Sie vor der Wiederin- betriebnahme, nach Stillsetzen für 2 Jahre oder länger, folgende Arbeiten aus: ► Beachten Sie die Wartungshinweise — nehmen Sie ggf. Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum. ► Wechseln Sie das Schmiermittel.
– fluorierten Elastomeren (FKM) – medienberührenden, potentiell kontaminierten Komponenten 11.2 Wälzkolbenpumpe HiLobe entsorgen Pfeiffer Vacuum Wälzkolbenpumpen der Serie HiLobe enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. 1. Lassen Sie das Schmiermittel komplett ab. 2. Trennen Sie die Antriebselektronik. 3. Demontieren Sie den Motor.
Bedienfeld der An- Betriebsspannung angelegt ● Überprüfen Sie die Netzsicherung. triebselektronik leuchtet keine ● Antriebselektronik defekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- vice. Vakuumpumpe läuft nicht an ● Schöpfraum verschmutzt ● Schalten Sie die Vakuumpumpe sofort aus.
Warnungen (* Warning F––– *) erscheinen nur und führen nicht zum Abschalten von Komponenten. Fehlermeldungen behandeln 1. Lesen Sie Fehlercodes über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder einen PC aus. 2. Beseitigen Sie die Ursache der Störung. 3. Setzen Sie die Fehlermeldung mit Parameter [P:009] zurück.
Fehler- Problem mögliche Ursachen Behebung code Err091 Hardwarefehler ● Hardware nicht erkannt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service Err098 Kommunikations- – ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service fehler intern Err104 Externer Fehler ● Fehler in der Vorpumpe des ●...
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
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6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
► Halten Sie bei der Ersatzteilbestellung die Artikel-Nr. der Vakuumpumpe und ggf. noch weitere Angaben auf dem Typenschild bereit. ► Verwenden Sie nur Originalersatzteile. Ersatzteilpakete Pumpenausführung Bestell-Nr. Wartungssatz 1 HiLobe 8104 PP E47 100 -T HiLobe 11004 HiLobe 14004 Wartungssatz 3 HiLobe 8104 PP E42 200 -T...
Zubehör 15 Zubehör Beachten Sie das Zubehörportfolio für Pfeiffer Vacuum Wälzkolbenpumpen online unter pfeiffer-vacuum.de. 15.1 Zubehörinformationen Befestigungsmaterial Typenspezifisch zusammengestellte Pakete gewährleisten die sichere Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Anzeigegeräte und Kabel Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern. Netzkabel, Schnittstellen-, Verbindungs- und Verlängerungskabel bieten einen sicheren und geigneten An-...
Technische Daten und Abmessungen 16 Technische Daten und Abmessungen 16.1 Allgemeines Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Wälzkolbenpumpen ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ● DIN ISO 21360-1: 2016 "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Vakuumpumpen - Allgemeine Beschreibung"...
DIN EN 60529: 2014 DIN EN 60204-1: 2014 DIN EN IEC 63000: 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Dr. Adri- an Wirth, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...