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Pfeiffer Vacuum HIPACE 1200 Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum HIPACE 1200 Betriebsanleitung

Turbopumpe
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Inhaltsverzeichnis

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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
HIPACE 1200
Turbopumpe

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 1200

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HIPACE 1200 Turbopumpe...
  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Produkt identifizieren 3.1.1 Produkttypen 3.1.2 Produktmerkmale Funktionsmerkmale 3.2.1 Kühlung 3.2.2 Rotorlager 3.2.3 Antrieb...
  • Seite 4 Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Anschluss "E74" 6.2.3 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät 6.2.5 Betrieb über Feldbus Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten...
  • Seite 5 Tab. 18: Zubehör Tab. 19: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 20: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 21: Technische Daten für HiPace 1200 Standard Tab. 22: Technische Daten für HiPace 1200 U Tab. 23: Technische Daten für HiPace 1200 C Tab. 24: Technische Daten für HiPace 1200 UC...
  • Seite 6 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Aufbau HiPace 1200 (Beispiel: Standard-Version, DN 200 ISO-F | U-Version DN 200 ISO-K) Abb. 2: Anschlagpunkte für den Transport der Turbopumpe in Standard- und U-Ver- sion Abb. 3: Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschüt- terungen Abb.
  • Seite 7: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.
  • Seite 8: Konventionen

    Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild-Beispiel Typenschilder einzelner Baugruppen befinden sich am Un- D-35614 Asslar terteil der Turbopumpe oder auf den betreffenden Anbau- HiPace 1200 Mod. PM P03 910 ten. - - - - - - - - PM 006 336 -T TÜV Rheinland...
  • Seite 9: Abkürzungen

    Bedeutung im Dokument Wechselstrom Korrosivgasausführung Betrag des Durchmessers (in mm) Display Control Unit (Anzeige- und Bediengerät von Pfeiffer Vacuum). Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Notabschaltung (Emergency stop) Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle von Parametern...
  • Seite 10: Tab. 1: Verwendete Abkürzungen Im Dokument

    Zu dieser Anleitung Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung gemäß ISO 1609 und ISO 2861 Leuchtdiode Schutzleiter (protective earth) [P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki- gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt. Beispiel: [P:312] Softwareversion remote 26-polige D-Sub-Anschlussbuchse an der Antriebselektronik der Turbopumpe Schlüsselweite...
  • Seite 11: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 12 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Das Berühren von offenliegenden und spannungsführenden Elementen erzeugt einen elektrischen Schlag. Unsachgemäßer Anschluss der Netzversorgung führt zu der Gefahr berührbarer, spannungs- führender Gehäuseteile. Es besteht Lebensgefahr. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►...
  • Seite 13 Sicherheit WARNUNG Gefahr schwerer Verletzungen durch pendelnde, kippende oder herabfallende Gegenstände Unsachgemäße Handhabung während der mechanischen Installation führt zur Gefahr von pendel- nden, kippenden oder herabfallenden schweren Lasten. Es besteht das Risiko von Quetschungen und Stoßen (z.B. an kollidierenden Flanschanschlüssen). Es besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis hin zu Knochenbrüchen und Kopfverletzungen.
  • Seite 14 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
  • Seite 15 Sicherheit WARNUNG Verbrühungsgefahr an plötzlich austretendem Kühlwasser Die Wasseranschlüsse der Turbopumpe sind zu beiden Seiten offen. Bei Anschluss der Kühlwasser- versorgung besteht Verbrühungsgefahr durch plötzlich austretendes, heißes Kühlwasser mit Über- druck. ► Sorgen Sie vor der Installation für Druckentlastung und Abkühlung des Kühlwassersystems. ►...
  • Seite 16: Sicherheitsmaßnahmen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Seite 17: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►...
  • Seite 18: Personenqualifikation

    ● Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
  • Seite 19: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produktes bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
  • Seite 20: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320.
  • Seite 21: Abb. 1: Aufbau Hipace 1200 (Beispiel: Standard-Version, Dn 200 Iso-F | U-Version Dn 200 Iso-K)

    Produktbeschreibung Abb. 1: Aufbau HiPace 1200 (Beispiel: Standard-Version, DN 200 ISO-F | U-Version DN 200 ISO-K) 1 Hochvakuumanschluss Schutzdeckel für Hochvakuumflansch 2 Flutanschluss, Flutschraube Schutzkappe der Betriebsmittelpumpe 3 Vorvakuumanschluss, DN 40 ISO-KF Netzanschluss "AC in" 4 Kühlwasseranschluss, Ausgang Antriebselektronik TC 1200 5 Kühlwasseranschluss, Eingang...
  • Seite 22: Transport Und Lagerung

    ► Lassen Sie das Betriebsmittel ab, bevor Sie die Vakuumpumpe bewegen oder transportieren. ► Befüllen Sie die Vakuumpumpe erst nach der mechanischen Installation mit Betriebsmittel. Pfeiffer Vacuum empfiehlt, die Transportverpackung und die Original-Schutzdeckel aufzu- bewahren. Allgemeine Hinweise für den sicheren Transport 1.
  • Seite 23: Lagerung

    – Heben Sie die Ringschrauben für die spätere Verwendung auf. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
  • Seite 24: Installation

    Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.
  • Seite 25: Hochvakuumseite Anschließen

    ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 1200 9800 Nm...
  • Seite 26: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden

    Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschütterungen Sicherheitsverbindung, kundenseitig 5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches.
  • Seite 27: Einbaulagen

    Installation 5.2.5 Einbaulagen HINWEIS Zerstörung der Vakuumpumpe durch Misachtung der typenspezifischen Raumlage Unzulässige Raumlagen führen zur Verschmutzung der Vakuumpumpe durch Betriebsmittel. Es be- steht die Gefahr der Verunreinigung des Prozessvakuums und Schäden an der Vakuumpumpe bis hin zu deren Zerstörung. ► Beachten Sie die Aufkleber über die gültige Raumlage auf der Vakuumpumpe. ►...
  • Seite 28: Iso-K Flansch An Iso-K Befestigen

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube Verbindung mit Klammerschraube 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.
  • Seite 29: Abb. 8: Flanschverbindung Iso-K Zu Iso-F, Sechskantschraube Und Gewindeboh

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
  • Seite 30: Iso-F Flansch An Iso-F Befestigen

    Flanschverbindung ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Befestigen Sie die Turbopumpe gemäß der Abbildung mit Zentrierring am Gegenflansch. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.
  • Seite 31: Cf-Flansch An Cf-F Befestigen

    Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die Stiftschrauben mit dem kürzeren Ende in die Gewindebohrungen am Gegen- flansch ein. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe.
  • Seite 32: Abb. 16: Flanschverbindung Cf-F, Siftschraube Und Gewindebohrung

    Installation Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.
  • Seite 33: Betriebsmittel Einfüllen

    ► Befüllen Sie die Turbopumpe mit Betriebsmittel nur über eine der durch ein Ölkannen-Symbol gekennzeichnteten Einfüllschrauben. ► Wenden Sie sich im Falle von Unsicherheiten an Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsmittelpumpe der Turbopumpe liegt unter einer Schutzkappe. Die Schrauben zum Einfüllen des Betriebsmittels sind jeweils durch ein Symbol gekennzeichnet. Die Ablassschrauben befinden sich an der Vorderseite der Betriebsmittelpumpe.
  • Seite 34: Vorvakuumseite Anschließen

    Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann. Set- zen Sie zum Erreichen des Vorvakuumdrucks eine geeignete Vakuumpumpe oder einen Pumpstand aus dem Pfeiffer Vacuum Portfolio ein. In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B.
  • Seite 35: Kühlwasserversorgung Anschließen

    Die Wasseranschlüsse der Turbopumpe sind zu beiden Seiten offen. Bei Anschluss der Kühlwasser- versorgung besteht Verbrühungsgefahr durch plötzlich austretendes, heißes Kühlwasser mit Über- druck. ► Sorgen Sie vor der Installation für Druckentlastung und Abkühlung des Kühlwassersystems. ► Tragen Sie Schutzausrüstung, z.B. Schutzbrille und Handschuhe. Die Turbopumpen HiPace 1200 sind serienmäßig wassergekühlt. 35/72...
  • Seite 36: Tab. 8: Anforderungen An Die Zusammensetzung Von Kühlwasser

    Kühlwasserausgang, G 1/4" 4 Einschraubtülle (2x) Vorgehen Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Verwendung eines Schmutzfängers in der Vorlaufleitung. 1. Schrauben Sie je eine Schlauchtülle mit Dichtring auf die Kühlwasseranschlüsse der Turbopum- – Anziehdrehmoment: Max. 15 Nm 2. Stecken Sie die Kühlwasservorlaufleitung auf die Schlauchtülle am bezeichneten Kühlwasserein- gang der Turbopumpe.
  • Seite 37: Zubehör Anschließen

    1. Beachten Sie die Installationshinweise in den Betriebsanleitungen des betreffenden Zubehörs. 2. Achten Sie auf die vorhandene Konfiguration bestehender Anschlüsse. 3. Verwenden Sie das Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät DCU 002 oder ein DCU mit integ- riertem Netzteil. 5.7 Elektrische Versorgung anschließen...
  • Seite 38: Vakuumpumpe Erden

    Installation 5.7.1 Vakuumpumpe erden Abb. 22: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Benötigte Hilfsmittel ● Schraube M4 × 8 ● Zahnscheibe M4, wenn benötigt ● Geeignetes Erdungskabel mit Kabelschuh Größe M4 Vorgehensweise 1. Verwenden Sie ein geeignetes Erdungskabel, um applikative Störeinflüsse abzuleiten. 2. Führen Sie den Anschluss nach den lokal geltenden Bestimmungen durch. 3.
  • Seite 39 Sie haben 2 Möglichkeiten, den Netzanschluss für die Turbopumpe auszulegen. ► Achten Sie auf die gültige Versorgungsspannung. ► Bestellen Sie ein passendes Netzanschlusskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör. ► Konfektionieren Sie das Netzanschlusskabel unter Verwendung der Anschlussbuchse HAN 3A aus dem Lieferumfang.
  • Seite 40: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Seite 41: Betriebsarten

    Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes ermöglicht die Steuerung der Turbo- pumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Hinweise für den Betrieb mit Anzeige- und Bediengerät 1. Beachten Sie für den Umgang mit dem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät die dazugehö- rende Betriebsanleitung: – Betriebsanleitung "DCU" verfügbar im Download Center.
  • Seite 42: Turbopumpe Einschalten

    ► Verbinden Sie das Netzkabel mit dem betreiberseitigen Versorgungsnetz oder schalten Sie das Netz ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. 42/72...
  • Seite 43: Temperaturüberwachung

    Betrieb Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤ 60 min Grün Ein, invers blitzend "Pumpstand EIN", Solldrehzahl nicht erreicht Ein, konstant "Pumpstand EIN", Solldrehzahl erreicht Ein, blinkend "Pumpstand AUS", Drehzahl > 60 min Gelb keine Warnung Ein, konstant Warnung kein Fehler, keine Warnung...
  • Seite 44: Tab. 14: Werkseinstellungen Für Verzögertes Fluten Bei Turbopumpen

    Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
  • Seite 45: Wartung

    6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an das zuständige Pfeiffer Vacuum Service Center.
  • Seite 46: Betriebsmittel Wechseln

    Wartung 7.3 Betriebsmittel wechseln WARNUNG Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen Das Betriebsmittel und Teile der Turbopumpe enthalten möglicherweise giftige Substanzen aus den gepumpten Medien. ► Dekontaminieren Sie betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten. ► Verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen oder Umweltbelastungen durch entsprechende Si- cherheitsvorkehrungen.
  • Seite 47: Betriebsmittel Einfüllen

    ► Befüllen Sie die Turbopumpe mit Betriebsmittel erst nach der mechanischen Installation. ► Befüllen Sie die Turbopumpe mit Betriebsmittel nur über eine der durch ein Ölkannen-Symbol gekennzeichnteten Einfüllschrauben. ► Wenden Sie sich im Falle von Unsicherheiten an Pfeiffer Vacuum. Benötigte Werkzeuge ● Innensechskantschlüssel, Größe 5 ●...
  • Seite 48: Antriebselektronik Austauschen

    Wartung Abb. 25: Lage der Betriebsmittel-Einfüllschrauben abhängig von der Orientierung der Turbo- pumpe 1 Einfüllschraube Ablassschraube 2 O-Ring Vorgehensweise 1. Schrauben Sie die jeweils höher gelegene Einfüllschraube aus der Betriebsmittelpumpe heraus. 2. Verwenden Sie die Injektionsspritze und das Betriebsmittel aus dem Lieferumfang der Turbopum- 3.
  • Seite 49: Abb. 26: Wechsel Der Antriebselektronik - Ausbau

    Wartung Sicherung von kundenseitigen Einstellungen Im Austauschgerät sind immer die werkseitigen Betriebsparameter voreingestellt. Alle kun- denseitig vorgenommenen Einstellungen der original Antriebselektronik gehen nach einem Austausch verloren. Zum Erhalt Ihrer persönlichen Einstellungen haben Sie folgende Mög- lichkeiten: 1. Sichern Sie alle Ihre Einstellungen als Parametersatz in einem HPU. 2.
  • Seite 50: Drehzahlvorgabe Bestätigen

    Wartung Abb. 27: Wechsel der Antriebselektronik – Einbau 1 Antriebselektronik TC 1200 O-Ring 2 Verbindungsstecker Kühlplatte Antriebselektronik installieren 1. Fixieren Sie ggf. den O-Ring in der Nut im Pumpenunterteil. 2. Orientieren Sie die neue Antriebselektronik mit der geraden Kante an der Kühlplatte oberhalb der Betriebsmittelpumpe.
  • Seite 51: Tab. 15: Charakteristische Nenndrehzahlen Der Turbopumpen

    Tab. 15: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Benötigte Hilfsmittel ● Ein angeschlossenes Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät. ● Kenntnis der Konfiguration und Einstellung von Betriebsparametern der Antriebselektronik. Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl 1. Beachten Sie die Betriebsanleitung des Anzeige- und Bediengeräts.
  • Seite 52: Außerbetriebnahme

    2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit einem fusselfreien Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.
  • Seite 53: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
  • Seite 54: Störungen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Seite 55 ● Legen Sie die korrekte Betriebsspannung an. angelegt ● Antriebselektronik de- ● Tauschen Sie die Antriebselektronik aus. fekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Turbopumpe läuft nicht an; ● Bei Betrieb ohne Be- ● Verbinden Sie die Anschlüsse gemäß Anschlussplan grüne LED an der Antriebs- dieneinheit: Pin 1-3, der Antriebselektronik.
  • Seite 56: Tab. 16: Störungsbehebung Bei Turbopumpen

    Störungen Ungewöhnliche Betriebsge- ● Rotorlagerung ist be- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. räusche schädigt ● Rotor ist beschädigt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Splitterschutz oder ● Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Splitter- Schutzgitter lose schutzes oder Schutzgitters im Hochvakuumflansch.
  • Seite 57: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 58 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
  • Seite 59: Ersatzteile

    Ersatzteile 12 Ersatzteile Abb. 29: Ersatzteile HiPace 1200 Position Bezeichnung Größe Bestellnummer Bemerkung Stück Men- Antriebselektronik TC 1200 siehe Typenschild abhängig vom Anschlus- spanel Gegenstecker "remote" PM 061 378 -X mit Lötbrücken Versorgungsbuchse HAN 3 PM 061 200 -T Sperrgasventil 17,5 –...
  • Seite 60: Zubehör

    Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Anzeigegeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
  • Seite 61 TM 700 Sperrgasüberwachung G 1/8" PM 016 911 -U Sperrgasventil, geschirmt für HiPace 400/700/800 P Version mit TC 400 sowie PM Z01 313 HiPace 1200–2300 mit TC 1200 Sperrgasdrossel für HiPace 400/700/800 P Version sowie HiPace 1200–2300 PM Z01 318 61/72...
  • Seite 62: Tab. 18: Zubehör

    Benennung Bestellnummer Sperrgasdrossel für HiPace 1200–2300 PM Z01 319 Sperrgasdrossel für HiPace 1200–2300, 52,5 ± 7,5 sccm PM Z01 325 Relaisbox geschirmt für Vorpumpe, 1-phasig 7 A für TC 400/1200, TM 700 und PM 071 284 -X TCP 350, M12 Relaisbox geschirmt für Vorpumpe, 1-phasig 20 A für TC 400/1200, TM 700...
  • Seite 63: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Seite 64: Tab. 21: Technische Daten Für Hipace 1200 Standard

    5 – 85 %, nicht betauend 5 – 85 %, nicht betau- Einbaulage 0° (HV-Flansch oben) – 0° (HV-Flansch oben) – 0° (HV-Flansch oben) – 90° 90° 90° Gewicht 30 kg 31,9 kg 41 kg Tab. 21: Technische Daten für HiPace 1200 Standard 64/72...
  • Seite 65 Technische Daten und Abmessungen Auswahlfeld HiPace® 1200 U mit TC HiPace® 1200 U mit TC HiPace® 1200 U mit 1200, DN 200 ISO-K 1200, DN 200 ISO-F TC 1200, DN 200 CF-F Bestellnummer PM P03 913 PM P03 914 PM P03 915 Anschlussflansch (Eingang) DN 200 ISO-K DN 200 ISO-F...
  • Seite 66: Tab. 22: Technische Daten Für Hipace 1200 U

    Gewicht 30 kg 31,9 kg 41 kg Tab. 22: Technische Daten für HiPace 1200 U Auswahlfeld HiPace® 1200 C mit TC HiPace® 1200 C mit TC HiPace® 1200 C mit 1200, DN 200 ISO-K, 1200, DN 200 ISO-F,...
  • Seite 67: Tab. 23: Technische Daten Für Hipace 1200 C

    90° 90° Gewicht 30 kg 31,9 kg 41 kg Tab. 23: Technische Daten für HiPace 1200 C Auswahlfeld HiPace® 1200 UC mit HiPace® 1200 UC mit HiPace® 1200 UC mit TC 1200, DN 200 ISO-K, TC 1200, DN 200 ISO-F,...
  • Seite 68: Abmessungen

    90° – 180° (HV-Flansch unten) unten) unten) Gewicht 30 kg 31,9 kg 41 kg Tab. 24: Technische Daten für HiPace 1200 UC 14.3 Abmessungen Maße in mm Ø 264 Ø 240 DN 200 ISO-K G 1/4“ G 1/8“ G 1/8“ 141.9 DN 40 ISO-KF Abb.
  • Seite 69: Abb. 31: Hipace 1200 | Dn 200 Iso-F

    G 1/8“ 141.9 DN 40 ISO-KF Abb. 32: HiPace 1200 | DN 200 CF-F DN 40 ISO-KF G 1/4“ G 1/8“ G 1/8“ 141.9 Ø 240 Ø 264 DN 200 ISO-K Abb. 33: HiPace 1200 U | DN 200 ISO-K 69/72...
  • Seite 70: Abb. 34: Hipace 1200 U | Dn 200 Iso-F

    G 1/4“ G 1/8“ G 1/8“ Ø 264 141.9 Ø 285 DN 200 ISO-F Abb. 34: HiPace 1200 U | DN 200 ISO-F DN 40 ISO-KF G 1/4“ G 1/8“ G 1/8“ 141.9 Ø 264 DN 200 CF-F Abb. 35:...
  • Seite 71: Konformitätserklärung

    DIN EN 61010-1 : 2011 DIN EN 61326-1 : 2013 DIN EN 62061 : 2013 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...

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