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Fortsetzung - Sensor Bestellinformation - Honeywell Satellite XT 4-20 Bedienungsanleitung

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Referenzteil - Kapitel 8
8.1

Fortsetzung - Sensor Bestellinformation

Gas / Sensor
PH3
Phosphin (3 El.)
PH3
Phosphin (2 El.)
SF6
Schwefelhexafluorid
SiH4
Silanwasserstoff
SO2
Schwefeldioxid
TEOS
Tetraethyl Orthosilikat
TMB
Trimethylborat
TMP
Trimethylphosphit
8 - 2
Art-Nr.
Sensor
9602-6101
9602-6100
9602-9710
9602-6300
9602-5900
9602-7500
9602-7510
9602-7800
Anmerkungen: 1) spezieller Einsatzbereich
2) spezieller Messbereich
3) Überwachung nur in Verbindung mit Pyrolyzer Modul möglich
4) Überwachung nur mit Satellite XT C-Version möglich
Weitere Gase und Messbereiche auf Anfrage
Staubfilter: diese Angaben beziehen sich auf die Verwendung
des Satellite XT in Kombination mit dem optionalen
Extractive Module XT.
Nominal
Einheit Anm.
Bereich
0 ...
1.00
ppm
0 ...
1.00
ppm
0 ...
0.500
Vol.-%
0 ...
50.0
ppm
0 ...
25.0
ppm
0 ...
100
ppm
0 ...
500
ppm
0 ...
30.0
ppm
Staubfilter
zugelassen
ja
1)
ja
3)
auf Anfrage
ja
ja
nein
nein
ja

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