Inbetriebnahme Eines Gerätes Mit Digital-I/O-Kommunikation - TDK relyon plasma piezobrush PZ3-i Betriebsanleitung

7.5 Inbetriebnahme eines Gerätes mit Digital-I/O-Kommunikation
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Stellen Sie sicher, dass ein Wechselmodul in dem Gerät eingesetzt ist.
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beachten Sie bitte die Hinweise bezüglich elektrisch leitfähiger Gegenstände (Bild 5 bis
8).
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Stellen Sie sicher, dass eine ausreichende Absaugung des Arbeitsbereichs
gewährleistet ist.
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Stellen Sie sicher, dass die Gasversorgung des Modulträgers vorhanden ist.
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Stellen Sie sicher, dass die Versorgungsspannung von 24V anliegt.
• Legen Sie am Schalteingang „Plasma ein" die gewünschte Spannung an.
Fassen Sie während der Plasmaerzeugung nicht in den Arbeitsbereich. Dies kann die
Plasmaentladung stören und auch Hautirritationen verursachen bzw. als geringfügig
schmerzhaft empfunden werden.
Achtung – Geräteschaden!
Das Gerät kann beschädigt werden, wenn es ohne Gaszufuhr betrieben wird.
Hierdurch würde der im Betrieb nötige Zufluss des Kühlmediums unterbrochen werden.
Überwachen Sie den Gasfluss zum Modulträger und unterbrechen Sie die
Plasmaerzeugung umgehend, wenn die Gasversorgung unterbrochen wird.
Wir empfehlen, die Absaugleistung im Prozess zu überwachen und die Plasmaerzeugung
nur bei ausreichender Gasversorgung freizugeben.
Das Gerät kann beschädigt werden, wenn sich elektrisch leitfähige Gegenstände näher
als 40 mm im Bereich des vorderen Drittels des Gerätes befinden.
Ausnahme: Substrate vor dem Wechselmodul bei Einsatz von dafür vorgesehenen
Modulen, z.B. Modul „Nearfield".
Hinweis!
Unter Umständen können die von dem Gerät erzeugten elektrischen Felder empfindliche
elektronische Bauteile schädigen. Stellen Sie sicher, dass die Bauteile Ihrer Anwendung
durch den Plasmaprozess nicht beeinträchtigt werden.
60 BA-PZ3_i_ML / F0354901