Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum QMG 422
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum QMG 422
- Seite 1 Betriebsanleitung inkl. Konformitätserklärung Quadrupol Massenspektrometer System QMG 422 BG 805 981 BD (0201)
- Seite 2 Gültigkeit Dieses Dokument gilt für QMG 422-Systeme mit den Steuergeräten QMS 422 und QMI 422 mit den auf 66 erwähnten Modulen, die z.T. separate Betriebsan- leitungen besitzen. Es gilt für die Firmwarenummern: DSP / PRG-NR BG 509 732 -.. QMS / PRG-NR BG 509 733 -..
- Seite 3 Inhalt Gültigkeit 1 Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole 1.2 Bestimmungsgemässer Gebrauch 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung 1.5 Kurse 2 Übersicht 2.1 QMS 422 Steuergerät 2.2 QMI 422 Steuergerät 2.3 EP 422 Elektrometer-Vorverstärker 2.4 400er Komponenten 2.5 125er Komponenten 2.6 Optionen 3 Technische Daten 3.1 Allgemeines 3.2 QMS 422 Steuergerät...
- Seite 4 7 Störungsbehebung 7.1 Allgemeines 7.2 Warnungen 7.3 Error-Meldungen 7.4 Messsignal-Probleme 7.5 Allgemeine Probleme 7.6 Servicefälle 8 Wartung 9 Produkt entsorgen 10 Ersatzteile und Zubehör Anhang A: Standardparameter B: Literaturverzeichnis C: Index Kontaminationserklärung Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→ XY) verwendet, für Verweise auf weitere, im Literaturverzeichnis aufgelistete Dokumente das Symbol (→...
- Seite 5 1 Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Fachpersonal Die mit diesem Symbol markierten Arbeiten dürfen nur durch Personen ausge- führt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die notwendigen Erfahrungen verfügen.
- Seite 6 Gebrauch und derjenigen des Zubehörs betrieben werden. GEFAHR Das QMG 422 ist nicht für Messungen vorgesehen, von deren Ergebnis die Sicherheit von Personen oder von grossen Werten abhängt. Für solche Einsätze muss die Sicherheit durch zusätzliche Massnahmen gewährleistet werden. 1.3 Grundlegende Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein.
- Seite 7 2 Übersicht 400er Gerätefamilie Bei der 400er Familie werden die HF-Generatoren QMH 400/410 mit Massenberei- chen von 128 bis 2048 amu und die Analysatoren QMA 400 und QMA 430 (8 mm Stabdurchmesser) und QMA 410 (16 mm Stabdurchmesser) eingesetzt. mit diesem Symbol sind Aussagen gekennzeichnet, die nur für die 400er Gerätefamilie gelten.
- Seite 8 125er Familie Die 125er Familie benutzt die Quadrupol-Elektronik QME 125 mit den Massen- bereichen 100 und 200 amu und die Analysatoren QMA 125 mit 6 mm Stabdurch- messer. mit diesem Symbol sind Aussagen gekennzeichnet, die nur für die 125er Gerätefamilie gelten. Ionennachweis Ionenquelle Massenfilter...
- Seite 9 2.4 400er Komponenten QMH 400/410 Der HF-Generator erzeugt die für die Massentrennung erforderliche Hochfrequenzspannung.→ [1] QMH-Typ Bereich QMA-Typ Stabø QMH 400-1 128 amu QMA 410 16 mm QMH 400-5 300 amu QMA 430 8 mm QMH 400-5 512 amu QMA 400 8 mm QMH 410-1...
- Seite 10 2.6 Optionen CS 422 Die Bedienungskonsole CS 422 wird ins QMS 422 eingebaut und ermöglicht die Handbedienung. AO 421 / IC 421 Der Analog-Output AO 421 und der Ionenzähler IC 421 befinden sich auf der gleichen Karte. Diese wird direkt (ohne Systembus) in den QC 422 eingebaut.
- Seite 11 3 Technische Daten 3.1 Allgemeines Angaben gelten, sofern nichts anderes vermerkt ist, für alle Baugruppen. Umgebungsbedingungen Temperatur Lagerung: –40 °C ... +65 °C / Betrieb: +5 C ... +40 °C ≤80% bis +31 °C, linear abnehmend auf 50% bei +40 °C Relative Feuchte Verwendung in Innenräumen, Höhe bis zu 2000 m NN...
- Seite 12 Steckplätze 3.5 QC 422 Anzahl pro Gerät Quadrupol Controller Gewicht 0.67 kg ohne / 0.9 kg mit AO 421 / IC 421 Messkanäle Anzahl Betriebsarten MONO- / MULTI-Kanal Messzyklen 1 ... 10'000, oder REPEAT Kanalwechselzeit 1.5 ... 3 ms (bei min. PAUSE) Massendurchlauf- mass-MODE Messmethode...
- Seite 13 Analogfilter zweistufiger Tiefpass, wirksam für Elektrometer und Extern-Input Filterzeit- automatisch oder in 8 Stufen wählbar: konstanten 18, 85, 400 µs / 1.7, 8, 40, 180, 800 ms τ Sprungantwort Filterzeitkonstante τ Einschwingzeit auf ±1‰: τ ≈ 4 × Digitalfilter NORMAL (N) Tiefpass (Mittelwert) FIR (F) Finite Impulse Response...
- Seite 14 Anschlüsse am QC 422 Stecker ctrl Analog-Ausgabe des Elektrometersignals : 2× 200 Ω, kurzschlussfest 0 ... ±10,24 V, R ELM OUT + Analog-Eingang anstelle des Elektrometersignals. ELM OUT – ±10,24 V,Gleichtaktsignal: ±2 V = 2× 50 kΩ siehe detect-TYPE:EXTERN (→ 44).
- Seite 15 3.6 IS 420 Steckplätze max. 1 Ionenquellenspeisung Anzahl IS 420 pro Gerät Speisung 5 V / 0.6 A; ±24 V / 2 A (2.4 A bei Degas) → Sicherungen F1, F2 0 ... 10 V / ≤5 A / ≤50 W Filamentversorgung bei Fil1+2: 1.4 ...
- Seite 16 GEFAHR Die externe Spannungsquelle für V0 muss auf ≤ 2 mA sicher begrenzt und gegen Berührung für 750 V geschützt sein. Das an SPEC SRC ON und SPEC SRC RET angeschlossene Relais inkl. Lei- tungen muss für 750 V isoliert und gegen Berührung geschützt sein. 3.7 EP 422 Schnittstelle zu QMH 400 / 410, QME 125...
- Seite 17 Abmessungen: 36 mm 16 mm 86 mm 3.9 HV 420 Steckplätze max. 1 nicht gleichzeitig mit HV 421 Hochspannungs- Anzahl pro Gerät Speisung 5 V / 0.4 A ; +24 V / 0.15 A ; –24 V / 0.05 A versorgung →...
- Seite 18 3.11 DI 420 Steckplätze Digital Input Anzahl pro Gerät max. 2 Speisung 5 V / 0.45 A Anzahl Eingänge Eingangssignal 24 VDC ±25% / 10 mA, low true Schaltschwelle 10.6 ... 16 V Isolation 30 V / 60 VDC gegen GND und zwischen Inputgruppen +35 V / –30 V dauernd;...
- Seite 19 3.13 AI 421 Steckplätze Analog Input Anzahl pro Gerät max. 1 Speisung 5 V / 1 A Eingänge 16, differentiell, I <±150 nA @70 °C Messbereich –10.24 ... +10.235 VDC, linear –10.0 ... +10.0 V Auflösung 12 bit monoton Genauigkeit ±0.1% FSR Messintervall 40 ms für alle 16 Eingänge...
- Seite 20 4 Installation 4.1 QMS/QMI 422 GEFAHR Die örtliche Netzspannung muss mit den Typenschildangaben übereinstimmen. Die Netz-Steckdose muss einen Schutzkontakt aufweisen und es muss ein 3- poliges Netzkabel mit Schutzleiter verwendet werden. Verlängerungsleitungen ohne Schutzleiter sind unzulässig. Um kontinuierliche Schutzerdung zu gewährleisten, schliessen Sie das Netzkabel immer vor allen anderen Kabeln an.
- Seite 21 Fachpersonal Am QMA liegen im Betrieb gefährliche Spannungen bis 600 VDC. Andere Ein- bauteile in Vakuumraum (z.B. Messröhren) können bei ungünstigen Verhältnis- sen damit beaufschlagt werden. Falls solche Teile dadurch berührungsgefährlich würden (berücksichtigen Sie auch Leitungen und angeschlossene Geräte! ) müssen diese so angeordnet oder geschützt werden, dass kein Kontakt, kein Überschlag und kein Ladungsträgerfluss zustande kommen kann.
- Seite 22 HV+ HV– 4.5 Verkabeln mit QMA 400 Verkabeln Sie das System gemäss den folgenden Tabellen Mit Kurzschluss-TNC und Kurzschluss-SHV sind Kurzschlussstecker gemeint 1. Faraday-Auffänger Konfiguration config-SYSTEM-DETECT:FARAD Einheit Stecker Verbindung l [m] Einheit Stecker Bemerkungen QC 422 Steuerkabel QMH (QC) evtl. Verl. 7m IS 420 Ionenquelle oder 10m...
- Seite 23 4. SEV 217, HV 420 zusätzlich zu 1. Konfiguration config-SYSTEM-DETECT:SEM und Ionenzähler Einheit Stecker Verbindung l [m] Einheit Stecker Bemerkungen HV 420 HV– Hochspannung CP 400 HV– oder 10 m Kurzschluss SHV CP 400 Kurzschluss TNC EP(FARAD) falls kein EP QC 422 Steuerkabel CP 400...
- Seite 24 4. 90° SEV und Ionenzähler zusätzlich zu 1. Konfiguration config-SYSTEM-DETECT:SEM Einheit Stecker Verbindung l [m] Einheit Stecker Bemerkungen HV – Hochspannung HV – ev. 6 m Kurzschluss SHV HV + QC 422 Ionenzähler EP 422 Input Messsignal Kurzschluss TNC ohne EP 422 Steuerkabel 4.7 RS-232-C Schnittstelle RS-232-C Linkkabel...
- Seite 25 4.8 LAN Schnittstelle Distanz einstellen Kontrollieren Sie auf dem QC 422 die Einstellung des Jumpers X20 und berichtigen Sie diese wenn nötig. Aus-/Einbauen des QC 422 → X20 bestimmt die Sendeleistung, für die Wahl ist der Empfänger der Gegen- station und die Länge und Art des Lichtwellenleiters (LWL) massgebend. Die Werkseinstellung mittel ergibt einen breiten Kompatibilitätsbereich bei Mi- schungen von alten und neuen LWL-Modulen.
- Seite 26 OH 421 Aus-/Einbau → 28 es gibt keine Adresseinstellung. Einstellungen: Jumper Funktion Zweck X12: IN *) Zentral-Hub Erster, direkt mit dem PC verbundener Hub. Die LWL-Anschlüsse X1 ... X5 sind gleichberechtigt. X12: OUT Expansion-Hub mit anderem Hub verbunden X1 immer in Richtung zum PC verbinden ! Die LWL-Anschlüsse X2 ...
- Seite 27 4.9 Optionen Optionen sind ab Werk eingebaut, falls sie mit dem Gesamtsystem bestellt wurden. ein/ausbauen Ein nachträglicher Einbau ist jederzeit möglich. Fachpersonal Arbeiten am offenen Gerät dürfen nur von Fachpersonal durchgeführt werden. Vor jedem Eingriff das Gerät ausschalten! Dann 10 Sekunden warten und alle Kabel (Netzkabel zuletzt) ausziehen.
- Seite 28 Bus-Module Alle Kabel vom Gerät trennen, Netzkabel ausziehen Das einzubauende Modul muss präzise in die Kartenführungen einge- schoben werden, sonst können die Stecker beschädigt werden. Schrauben gut festziehen, lockere Schrauben führen zu Störungen. GEFAHR Da es im Gerät lebensgefährliche Spannungen gibt, müssen freie Steckplätze immer mit Blindplatten →...
- Seite 29 IS 420 Adress-Jumpers IS 420 Adresseinstellung kontrollieren: Adresse 175 500(octal) Jumpers A3,4,5,7,10 auf IC 420 eingesetzt HV 420 Adresseinstellung kontrollieren: Adresse 175 400(octal) Adress-Jumpers HV 420 Jumpers A1,2,3,4,5,6,7,10 eingesetzt HV 421 Die Adresse 175 404 ist fix. Jumpers: X6 alle OUT, X7 IN, X8:2-4 verbunden. Kurzschlussstecker werden je nach Betriebsart des SEV auf die SHV-Anschlüsse gesteckt ( →...
- Seite 30 5 Beschreibung 5.1 Bedienungskonsole In der Grundausführung des QMS 422 und beim QMI 422 gibt es auf der Front- platte nur den Netzschalter und die zugehörige Leuchtdiode. Die Bedienungskonsole CS 422 ist als Option erhältlich. Sie ist leicht nachrüstbar und sehr empfehlenswert für Lernzwecke z.B. für die Software-Entwicklung. Auch wenn Sie keine CS 422 besitzen, studieren Sie bitte die folgenden Angaben.
- Seite 31 Messwertanzeige Nach dem Start (Taste run) des Messzyklus wird der Messwert des momentanen Messkanals angezeigt. Bei Mehrkanalbetrieb (cycle-MODE:MULTI) sieht man den Ablauf der Kanäle (evtl. mit Lücken bei schnellen Abläufen). Messwert ... und als Scan Fehlermeldungen numerisch ... Bargraph Massen Modus und Warnungen zahl...
- Seite 32 5.2 Funktionen In maximal 64 Kanälen können Parameter für den Betrieb von Massenfilter und Ionennachweis gespeichert werden. Bei der Messung werden die Kanäle se- quentiell und zyklisch abgearbeitet. Gruppe channels channels select detect mass amplif Bedienfeld für alle Parameter eines Messkanals output trip...
- Seite 33 Gruppe ion source ion source emiss V1...V6 V7... Parameter des selektierten Ionenquellensets. Das Set wird unter operation-ion src gewählt und hier angezeigt. emiss Emissionsstrom und Filamentschutz v1...v6 Ionenquellenspannungen V1...V6. v7... Ionenquellenspannungen V7...V9. Gruppe operation Bedienfeld für: operation sem hv ion src cycle •...
- Seite 34 5.3 Parameterliste Die Parameter sind im folgenden alphabetisch nach ihren Namen geordnet. Schreibweise: DETECT (config-SYSTEM) Parameter evtl.Unterfunktion(en) der Funktion Weitere Angaben zur Verwendung, zu Vor- und Nachteilen einzelner Einstellungen finden Sie in Kapitel ADJ-TYP Art des Suchvorganges bei cycle-FUNCT:ADJUST ADJ-TYP (cycle) Grobsuche →...
- Seite 35 BAUD (config-CTRL) BAUD nur bei config-CTRL-MODE:ASCII, BIN und MODEM 300, 1200, 2400 Baudrate der RS 232 Schnittstelle, an der CS 422 immer einstell- 4800, 9600, 19200 bar (300 baud nur bei ASCII-Protokoll) BEGIN bei cycle-FUNCT:CYCLE und cycle-MODE:MULTI BEGIN (cycle) 0 ... 63 Start-Kanal des Messzyklus bei cycle-MODE:MULTI →...
- Seite 36 CYCLES bei cycle-FUNCT:CYCLE CYCLES (cycle) REPEAT (0) Der Messzyklus wird endlos durchlaufen. 1 ... 10'000 Anzahl zu durchlaufender Messzyklen. D-EMIS (ion src) D-EMIS bei ion src-MODE:DEGAS 0.0 ... 20.0 mA Emissionsstrom im Degasbetrieb. D-PROT bei ion src-MODE:DEGAS D-PROT (ion src) 0.00 ...
- Seite 37 E-PROT Filamentschutz (Protection) E-PROT (emiss) 0.00 ... 5.00 A bei Überschreitung des eingestellten Stromes wird das Filament abgeschaltet und eine Fehlermeldung ausgegeben EMI-CUR Emissionsstrom-Anzeige an Stelle des Elektrometerwertes EMI-CUR (ion src) Anzeige Elektrometerwert Anzeige Emissionsstrom Der Messzyklus muss gestoppt sein (halt). EMISS Emissionsstrom-Sollwert EMISS (emiss)
- Seite 38 Zeitkonstante des Analogfilters für das Elektrometersignal FILTER (amplif) FILTER bei detect-TYPE:FARAD, SEM und EXTERN 18 µs ... 800 ms Manuelle Einstellung für besondere Anforderungen. Wählen Sie einen zur Messgeschwindigkeit passenden Filterwert AUTO Das Analogfilter wird automatisch wie folgt eingestellt. SPEED [ms/u] SPEED [s/u] DWELL [ms] FILTER...
- Seite 39 IS-TYP Angabe der im QMA eingebauten Ionenquelle IS-TYP (config) AXIAL Axial-Ionenquelle Cross Beam-Ionenquelle GRID Gitter-Ionenquelle Sputterprozessmonitor-Ionenquelle SPEC+ Spezial-Ionenquelle positive Ionen SPEC– Spezial-Ionenquelle negative Ionen → TEST-CS 422 KEY-T (config) Schwellwerte der Schaltfunktionen LEVEL-A, -B (trip) LEVEL-A bei mass-MODE:SAMPLE oder LEVEL-B TYPE detect-TYPE:PIRANI,PENNING,A-INPUT 1×10...
- Seite 40 MODE Messzyklus-Betriebsart. Der Zyklus wird mit run/halt gestartet/gestoppt MODE (cycle) MONO Einkanal-Messung im selektierten Kanal. MULTI Messung der Kanäle zwischen BEGIN und END. Kanäle, die auf aux- STATE:SKIP stehen, werden übersprungen. MODE Ionenquellen-Betriebsart MODE (ion src) NORMAL Normalbetrieb mit den im Ionenquellenset definierten Parametern. DEGAS Degasbetrieb.
- Seite 41 PAUSE (amplif) Messpause beim Kanalwechsel (→ 49). nicht bei detect-TYPE:PIRANI, PENNING und A-INPUT. Die effektive Pausenzeit wird angezeigt falls sie sich berechnen lässt. Bei amplif- MODE:AUTO oder AUTO-D wird AUTO angezeigt. P-CAL ist trotzdem wirksam. Mit dem Softkey PAUSE gelangt man zum Untermenue P-CAL P-CAL P-CAL (amplif-PAUSE) Pausenzeit-Kalibrierfaktor →...
- Seite 42 RESOL (mass) Einstellung des Massentrennvermögens (Auflösung, Resolution) RESOL bei detect-TYPE:FARAD, SEM, ION-CNT, EXTERN OFF (0) Integrales Massenspektrum (DC OFF) 1 ... 255 Auflösungsvermögen. Die Peakbreite ist annähernd proportional der eingestellten Zahl. Einheitsauflösung bei 20 ... 30 (bei QMH 400-1: ≈100) Oft genügt Einheitsauflösung, d.h.
- Seite 43 Simulations-Spektrum für Prüfzwecke → SIMUL SIMUL (config) Simulation ausgeschaltet INTERN Simulation über QC-internen Messpfad EXTERN Simulation über QC-externe Verbindung. Nur für Werksgebrauch, zusätzliche Hardware erforderlich. Sofern keine Errormeldung vorliegt, wird die Warnung SIMULATION angezeigt. SPEED (mass) Geschwindigkeit des Massendurchlaufes nicht bei mass-MODE:SAMPLE oder SPEED detect-TYPE:PIRANI, PENNING, A-INPUT 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 ms/u...
- Seite 44 THRESH (...ADJUST) Minimale Intensität bei der ein Peak durch den Peakprozessor- und Adjust- Algorithmus erkannt wird. amplif-MODE:FIX und THRESH detect-TYPE:FARAD, SEM oder EXTERN 0.01, 0.03, 0,1 ... 30% f.s.d bei Fixrange in % des Vollausschlages. amplif-MODE: AUTO oder AUTO-D und THRESH detect-TYPE:FARAD, SEM 1E-15, 1E-14 ...
- Seite 45 Die V...-Bezeichnungen erscheinen bei ion src-TYPE :SPEC±, V1 ... V9 bei Standardionenquellen werden die Elektrodennamen angezeigt. → techn. Daten 15 → V9 WEHNELT (ion src) WIDTH (mass) Massenscanbreite des Messkanals WIDTH nicht bei mass-MODE:SAMPLE oder detect-TYPE:PIRANI, PENNING, A-INPUT –2047 ... +2047 der maximale Wert ist abhängig vom Massenbereich Negative WIDTH ergibt Scan rückwärts.
- Seite 46 Beachten Sie bei der Inbetriebnahme die Betriebsanleitung QMH 400/410 QMH 400/410 (→ [1]). Komplette Systeme ab Werk sind optimal eingestellt, ändern sie nichts ohne Grund. Optimieren sie tune, falls best hit nicht leuchten sollte. Beachten Sie die Betriebsanleitungen QME 125 [3] und QMA 125 [4], aber QME 125 verändern Sie keine Werkseinstellungen.
- Seite 47 Offsetmessung RUNNING gemessene Offsetwerte [A] oder STOP wenn fertig der Bereiche 10 ,10- Massenzahl der Detectorwahl, setzt Offsetwerte auf Offsetmessung EP1 / EP2 Null Führen Sie die Messung für SEM und Faraday aus, falls Sie beide EP 422 instal- liert haben. Mit nur einem EP 422 wählen sie DETECT entsprechend der momen- tanen Betriebsart.
- Seite 48 Für normale Messungen ist die Simulation auszuschalten: config- SIMUL:OFF. Es sind nur die Detektortypen FARAD und SEM zugelassen. config-SIMUL:EXTERN ist für Testzwecke im Werk bestimmt. F.S. 100% Zyklus beginnt Die Peakintensitäten sind für RANGE 10 , 10 , 10 und 10 identisch.
- Seite 49 PAUSE Bei MULTI-Kanalbetrieb muss beim Kanalwechsel mit der Datenerfassung ge- wartet werden, bis der neue Messwert stabil ist. Die Pausenzeit wird vom QC 422 automatisch unter Berücksichtigung von RANGE, FILTER, MASS, SEM-Spannung und detect-TYPE festgelegt. Die Pausenzeit wird unter dem Softkey amplif-PAUSE angezeigt. Sie kann, wenn Sie kürzere Zykluszeit oder höhere Genauigkeit erreichen wollen, mit amplif-P-CAL optimiert werden.
- Seite 50 6.10 Massendurchlauf- Betriebsarten SCAN-N Die Betriebsart mass-MODE:SCAN-N (SCAN-Normal) dient zur Aufnahme eines Analog-Spektrums über den mit FIRST und WIDTH vorgegebenen Bereich. elm, mon, AO WIDTH sync Die Schrittzahl pro Masse hängt von SPEED und Massenbereich ab (→ 12). Bei SCAN-N wird bei jedem Massenschritt der Mittelwert des Messsignals über die Messzeit ausgegeben.
- Seite 51 AVERAGE Mit AVERAGE 1 wird zusätzlich der gleitender Mittelwert (M) über die Anzahl (n) > Messzyklen seit RUN gebildet. Dies liefert schon nach dem ersten Zyklus einen Wert, welcher mit zunehmender Zyklenzahl stabiler wird. DWELL kann damit ohne wesentliche Einschränkung der Filterwirkung verkürzt werden (schnelleres Ein- schwingen).
- Seite 52 6.11 Integralspektrum Mit mass-RESOL:OFF entsteht ein Integralspek- trum, welches u.a. zur Totaldruckmessung ge- nutzt werden kann. 6.12 Adjust Mit cycle-FUNCT:ADJUST können Sie in der Betriebsart SAMPLE (oder STAIR) die Massenzahl MASS automatisch auf das Peakmaximum optimieren. Der Messkanal muss auf aux-STATE:ENABLE gestellt sein. Nutzen Sie dies, um z.B.
- Seite 53 Statusmeldung: Nach dem Ablauf erscheint eine Statusmeldung: Symbole Statuscode Die 3 wichtigsten Parameter THRESH, RANGE, MASS können direkt hier einge- geben werden, Sie müssen nicht zur Gruppe channels zurückschalten. Symbole: Adjust erfolgreich → → → → MASS etwas erhöhen ← ← ← ← MASS etwas verkleinern ↑...
- Seite 54 Adjust FINE Es wird innerhalb eines Bereiches von ±' u um die Massenzahl MASS nach einem Peakmaximum gesucht. Auch hier ist amplif-MODE:AUTO zu empfehlen. Peakkriterien: a) I >I +1,5% -1,5% b) I <I -1,5% MASS +1,5% c) I >THRESH +1,5% d) keine Übersteuerung e) I <I...
- Seite 55 6.13 Analogausgänge Am QC 422 gibt es einige Signalanschlüsse (Steckerbelegung → 14). Die Messdaten werden heute meist mittels Computer erfasst. Zur Untersuchung von eventuellen Messproblemen (Rauschen, Einschwingen etc) und für Spezialfälle können die Analogsignale sehr nützlich sein. Anschlüsse Analog gefiltertes Elektrometersignal. Es ist nur im amp-MODE:FIX (Fixrange) leicht auswertbar.
- Seite 56 Elektrometerbetrieb detect-TYPE:FARAD, SEM output- Ausgabeformat mass-MODE AO-MODE, amplif- MODE Anzahl MONITOR Dekaden V/Dekade Formeln SCAN-N FIX,AUTO SCAN-F AUTO-D STAIR FIX,AUTO LOG 3D 3.333 b), c), d) PEAK-L AUTO-D PEAK-F AUTO LOG 8D 1.25 ADJ-COARSE AUTO-D FIX,AUTO SAMPLE AUTO-D ADJ-FINE LOG 3D 3.333 b), c), d) LOG 8D...
- Seite 57 für Uo: 0 ... 10 V: Rate = 0.1×O-RNG×Uo = O-RNG 2 4 6 8 [cps] Formel g) 0.3 Uo LOG 3 DEC für Uo: 1 V ... 10 V Rate = 10 × O-RNG × 10 0.25 V ... 1 V Rate =1.333 ×...
- Seite 58 Registrierung: Für die analoge Aufzeichnung von Messwerten (Spektren oder zeitliche Verläufe) haben Sie nachstehende Möglichkeiten Der Papiervorschub sollte zu SPEED passen, y/t -Schreiber QC 422 z.B. 1 mm/s für 1 s/u. Empfindlichkeit: 10 V für Vollausschlag. – – Seitenverkehrte Spektren können Sie mit amplif- CALIB: -1 umpolen.
- Seite 59 Der Fenster-Komparator ist nur mit DO 420A-Modul möglich Fenster-Komparator trip-TYPE : ABS wählen Mit trip-LEVEL-A den oberen Schwellwert eingeben Mit trip-LEVEL-B den untern Schwellwert eingeben Mit trip-DO-A:xx, trip-DO-B:xx A und B demselben DO-Bit zuordnen TRIP A TRIP A&B & TRIP B Mess- wert LEVEL-B LEVEL-A...
- Seite 60 Es wird im folgenden nicht an jeder solchen Stelle gewarnt ! Bei allen Arbeiten sind die Sicherheitsangaben der entspechenden Kapitel ein- zuhalten. Der Schutz vor elektrostatischen Entladungen (ESD) ist unbedingt einzuhalten, Pfeiffer Vacuum lehnt Garantieleistungen bei Nichteinhalten ab. 7.2 Warnungen Warnungen betreffen die Bedienung, sie werden während ≈10 Sekunden angezeigt.
- Seite 61 7.3 Error-Meldungen Bei vielen Fehlern erscheint **ERROR !!**. Details werden mit der Taste error abgefragt NEXT zeigt bei mehreren Fehlern den nächsten an. CLEAR löscht alle Meldungen (anstehende Fehler erscheinen sofort wieder). RETURN führt zur vorherigen Anzeige zurück. Stellen Sie fest, ob Errormeldungen reproduzierbar sind. Schalten Sie dazu alle beteiligten Geräte AUS und wieder EIN.
- Seite 62 Nr Bedeutung mögliche Ursachen / Testmethoden Behebung 39 Emission error (Emission ≠ Sollwert) Druck zu hoch mbar < Filament durchgebrannt (QMA 125), prüfen mit Ohmmeter, wenn defekt, ersetzen; siehe QMA 125 [4] entfernen → [2], [4] Filament Transportschutz nicht entfernt emiss:AUS-...EIN-schalten, bei →...
- Seite 63 Problem mögliche Ursachen / Testmethoden Behebung SCAN-N mit 10 ms/u, range 10 50 (60) Hz Signal muss erscheinen EP 422 von QMA trennen, Eingang mit Signal elm mit Oszilloskop prüfen, wenn nicht Schraubenzieher berühren ok, EP 422 austauschen verringern amplif-CP-LEV → kein Messwert mit CP 400 Ansprechschwelle zu hoch überprüfen →...
- Seite 64 7.6 Servicefälle Falls Sie einen Fehler nicht selbst beheben können oder mangels Fachpersonal nicht dürfen, nehmen Sie bitte Kontakt mit der Pfeiffer Vacuum Servicestelle auf. Wenn Sie sich Beratung wünschen oder das Gerät zur Wartung oder Reparatur einsenden, liefern sie bitte eine umfassende Fehlerbeschreibung mit: •...
- Seite 65 8 Wartung QMS 422 und QMI 422 besitzen seitliche Lüfteröffnungen. Deren Filter sind zu reinigen bevor die Luftzirkulation behindert wird. Das Intervall ist aufgrund des lokalen Staubanfalls zu ermitteln. Trockener Staub kann leicht mittels Staubsauger entfernt werden. Fachpersonal Wenn nötig, demontieren Sie die Filter und waschen diese mit einer milden Sei- fenlösung.
- Seite 66 10 Ersatzteile und Zubehör Bestellnummer QMS 422 Grundgerät ohne QC 422 PT 444 580-T CS 422 Bedienungskonsole PT 444 650-T 1 Luftfiltermatte zu QMS 422 B 5099 154 FD 1 Ventilator zu QMS 422 B 5099 130 CD 1 Blindplatte 4 Teileinheiten (20 mm breit) BG 544 775-T Netzteil zu QMS 422 und QMI 422 (90...265 V) B 5181 214 QY...
- Seite 67 Anhang Standardparameter Aktivieren der Standardparameter → Parameter INIT. Channels Parameter Funktion Standardwert Parameter Funktion Standardwert AI-CH detect MODE amplif AO-CH output MODE mass SCAN-N AO-MODE output MONITOR output AVERAGE mass O-RNG output CALIB amplif 1.000 E0 P-CAL amplif COPY TO XX PE-CTRL detect CP-LEV...
- Seite 68 [6] Betriebsanleitung Netzwerk-Kontrollerkarte OPA 200 vina02d3 [7] Betriebsanleitung Optischer Hub OHA 200 [8] Betriebsanleitung Pirani-Modul PI 420 [9] Betriebsanleitung Penning-Modul PE 420 Bezugsquelle: Pfeiffer Vacuum GmbH, Emmeliusstrasse 33, D-35614 Asslar BG 805 981 BD (0201) QMG422.bet...
- Seite 69 Hinweis: Index Angaben zu den Parametern finden Sie in der alphabethischen Liste ab Seite 34 Fehlersuche Parameter alphabethische Liste34 ADJUST FIR-Filter Anzeige coarse Firmwarenummern fine Pause Fremd- AI 421 10; 19; 29 PE 420 spannungen Penningmodul 10; 29 Analoge Gruppe Messwertausgabe PEAK channels...
- Seite 70 Kontaminationserklärung Die Instandhaltung, die Instandsetzung und/oder die Entsorgung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Kontaminationserklärung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden. Art des Produkts Grund für die Einsendung Ty penbezeichnung...
- Seite 71 Berliner Strasse 43 D–35614 Asslar Deutschland Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-202 info@pfeiffer-vacuum.de www.pfeiffer-vacuum.de bg805981bd...