Pfeiffer Vacuum IMG 400 Betriebsanleitung Seite 78

BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400
(Tabelle "Integrator-Aussteuerung" abgeschlossen)
Modulator- Messbereich
Frequenz
100 1
[Hz]
fA pA

1920

1600

1536
 
1280
 
1024
 
960
 
800
 
768
 
640
 
512
 
480
 
400
 
384
 
320
 
256
 
240
 
200
 
192
 
160
 
128
 
120
 
100
 
96
 
80
 
64
 
60
 
50
 
48
 
40
10 100 1 10
pA pA nA nA
   
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
100 1 10 100
nA µA µA µA
2
mA
78