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F-Theta Scanlinse für Arex™ 130-X6X und 150-X6X
Die Tabelle unten listet die derzeit für den Arex™ 130-X6X und 150-X6X verfügbaren
Standard-F-Theta-Scanlinsen auf:
F-Theta Scanlinse
Betriebsabstand
Befestigungsabstand
Markierungsfläche
Der Betriebsabstand ist der Abstand zwischen dem Zentrum der Markierungsfläche (in der
lokalen Ebene definiert) und dem letzten mechanischen Rand der F-Theta-Scanlinse.
Beachten Sie die folgende Abbildung.
HINWEIS
Der Befestigungsabstand ist der Abstand zwischen dem Sockel des Abtastkopfes und der
Markierungsfläche. Beachten Sie die folgende Abbildung.
HINWEIS
WD: Betriebsabstand
FD: Befestigungsabstand
MA: Markierungsfläche
AB: Zielstrahl
FB: Fokussierungsstrahl
Bei Produkten, die mit den 160S, 254S, 160L und 100L F-Theta-Scanlinsen ausgestattet
sind, wird die Fokusposition, welche der Punkt ist, an dem der Fokussierungsstrahl sich
mit dem Zielstrahl überschneidet, im Werk voreingestellt.
HINWEIS
Benutzerhandbuch
F-Theta Scanlinsen-Durchmesser: M85
160L
mm
176 ± 2
mm
212 ± 3
mm
100 x 100
Markierungsfläche Spezifikation
254L
330L
296 ± 5
388 ± 6
367 ± 6
471 ± 7
170 x 170
210 x 210
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