YOKOGAWA EXAxtZR ZR22G Bedienungsanleitung Seite 88

6.3 Durchflussregler ZA8F, automatische
Kalibriereinheit ZR40H
Durchflussmes-
ser für das
Referenzgas
Abbildung 6.4 Durchflussregler ZA8F
Durchflussmesser
für Referenzgas
Einstellventil für den
Referenzgasdurchfluss
Einstellventil für den
Kalibriergasdurchfluss
Abbildung 6.5 automatische Kalibriereinheit ZR40H
Einstellventil für den
Referenzgasdurchfluss
Durchflussmesser für
das Kalibriergas
Durchflussmesser
für Kalibriergas
REF.OUT
<6. Komponenten>
Einstellventil für den
Bereichsgasdurchfluss
Anschlussfach
Made in Japan
CAL.OUT SPAN IN ZERO IN
F6302.EPS
IM 11M12A01-02D-E
6-4
Einstellventil für den
Nullgasdurchfluss
F6.4E.EPS
9. Ausgabe: 15. Dez. 2014-00