Il controller pilota le pompe della serie Turbo-V 70 (con un processo suddiviso in dieci passi) durante la fase di avvio controllando la tensione e la corrente in rapporto alla velocità...
Seite 8
Il controller modello 969-9507 non è fornito del cavo di sia stabile. Non far funzionare mai la pompa se la flangia di alimentazione, che può essere richiesto alla Varian come ingresso non è collegata al sistema o non è chiusa con la accessorio;...
Per accendere il controller è sufficiente inserire il cavo di alimentazione nella presa di rete. MANUTENZIONE Avvio della Pompa I controller della serie Turbo-V 70 non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere Per avviare la pompa occorre premere il pulsante eseguito da personale autorizzato.
ISTRUZIONI PER L’USO In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di MESSAGGI DI ERRORE riparazione Varian o del "Varian advance exchange In alcuni casi di guasto la circuiteria di autodiagnosi del service", che permette di ottenere un controller controller presenta alcuni messaggi di errore elencati rigenerato in sostituzione di quello guasto.
Spannung und die Stromstärke im Verhältnis zur Pumpengeschwindig-keit kontrollieren. Sie enthalten alle für den automatischen Betrieb der Pumpenserie Turbo-V 70 erforderlichen Schaltungen. Mittels Hilfsverbinder sind die Fernsteuerungen für Pumpenstart- und stopp, die Signale für die Anzeige des Pumpenzustands, die Start- und Stoppsteuerungen der Vorvakuumpumpen, sowie die Sperrsignale (für...
Seite 12
Stand geachtet werden, da sonst die Gefahr von Das Controller-Modell 969-9507 wird ohne Netzkabel Personen- und Geräteschäden besteht. Die Pumpe nie geliefert. Es kann bei der Firma Varian als lieferbares einschalten, wenn der Eingangsflansch nicht am System Zubehör bestellt werden. Für weitere Hinweise siehe angeschlossen bzw.
Zum Einschalten des Controllers genügt es, das Netzkabel an die Steckdose anzuschließen. WARTUNG Pumpenstart Die Controller der Serie Turbo-V 70 sind wartungsfrei. Eventuell erforderliche Eingriffe müssen von dazu Zum Starten der Pumpe muß die Taste START am befugtem Fachpersonal ausgeführt werden.
GEBRAUCHSANLEITUNG Bei einem Defekt kann der Varian-Reparaturdienst FEHLERMELDUNGEN bzw. der "Varian advanced exchange service" in In einigen Störungsfällen zeigt das Selbstdiagnosessystem Anspruch genommen werden, der für die Erneuerung Controllers nachstehenden Tabelle defekter Controller sorgt. zusammengefaßten Meldungen an. ANMERKUNG GEFAHR! Beim...
Le contrôleur pilote les pompes de la série Turbo-V 70 (par un processus subdivisé en dix pas) lors de la phase de mise en marche, en contrôlant la tension et le courant par rapport à la vitesse atteinte par la pompe.
Seite 16
Le contrôleur modèle 969-9507 n'est pas doté du câble s'assurer que ce dernier est stable. Ne jamais faire d'alimentation qui peut être demandé à Varian comme fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas accessoire; pour tous autres détails, se reporter au connectée au système ou n'est pas fermée à...
ENTRETIEN Mise en marche de la Pompe Les contrôleurs de la série Turbo-V 70 n'exigent aucun entretien. Toute opération doit être effectuée par un Pour mettre la pompe en marche, presser l'interrupteur personnel agréé.
MODE D'EMPLOI En cas de panne, il est possible de s'adresser au MESSAGES D'ERREUR Service de réparation Varian ou bien au "Varian Dans certains cas de panne, l'ensemble de circuits advance exchange service" qui permet d'obtenir un d'autodiagnostic du contrôleur présente certains messages contrôler régénéré...
El controler pilota las bombas de la serie Turbo-V 70 (con un proceso dividido en diez pasos) durante la fase de puesta en marcha, controlando la tensión y la corriente en relación a la velocidad alcanzada por la bomba.
NOTA El controler modelo 969-9507 se suministra sin cable de conexión a la bomba. El cable puede solicitarse como accesorio a Varian; para más detalles consultar el apartado “Accessories and spare parts” del anexo “Technical Information”. Éste va conectado por un lado al conector J16 del controler y por el otro al conector específico de la bomba.
MANTENIMIENTO Puesta en marcha de la Bomba Los controlers de la serie Turbo-V 70 no necesitan ningún mantenimiento. Cualquier operación ha de ser Para poner en marcha la bomba hay que apretar el efectuada por personal autorizado.
INSTRUCCIONES DE USO En caso de avería es posible utilizar el servicio de MENSAJES DE ERROR reparación Varian o del “Varian advance exchange algunos casos avería circuitos service”, que permite obtener un controler regenerado autodiagnosis del controler presenta algunos mensajes en vez del averiado.
Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian não contacto com o escritório de vendas local. se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não...
O controller modelo 969-9507 não é fornecido com o esteja estável. Nunca activar a bomba se o flange de cabo de alimentação, que pode ser solicitado à Varian entrada não está ligado ao sistema ou não está como acessório; para maiores detalhes consultar o fechado com o flange de fecho.
Para ligar o controller é suficiente inserir o cabo de alimentação na tomada de rede. MANUTENÇÃO Activação da bomba Os controllers da série Turbo-V 70 não requerem qualquer manutenção. Todas as operações devem ser Para activar as bombas é necessário premer o botão efectuadas por pessoal autorizado.
INSTRUÇÕES PARA O USO Em caso de defeito é possível utilizar o serviço de MENSAGENS DE ERRO reparação Varian ou o "Varian advanced exchange Em alguns casos de defeitos, os circuitos de service", que permite obter um controller regenerado autodiagnóstico do controller apresentam mensagens que substitua o controller com defeito.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet wetgeving. De controllers van de Turbo-V 70 serie zijn aan de EEG milieurichtlijn 85/399. frequentieomzetters die gestuurd worden door een...
Seite 28
969-9507 niet aan het apparaat te voorkomen. Laat de pomp nooit voedingskabel voorzien, welke als accessoire bij Varian werken zonder dat de ingangsflens aan het systeem is kan worden besteld; raadpleeg voor meer informatie de gekoppeld of de afsluitflens is gesloten.
Seite 29
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Linker paneel Rechter paneel 1. Connector voor ingang logische signalen (de te koppelen connector wordt met de speciale sluitklem geleverd). 2. Connector voor uitgang logische signalen en controle pompstroom. 3. Connector voor stroomuitgang (24 Vdc voor de koelventilator van de pomp). 4.
Seite 30
GEBRUIKSAANWIJZINGEN In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst FOUTMELDINGEN van Varian of de "Varian advanced exchange service" in In geval van storingen wekt het zelfdiagnose-circuit van te schakelen: zo krijgt men een ruilcontroller ter de controller enkele foutmeldingen op die in de vervanging van de defecte controller.
Varian, før udstyret emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået anvendes. Varian tager ikke ansvar for skader helt eller under transporten. Sørg for at styreenheden ikke tabes delvis følge tilsidesættelse disse eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke...
Seite 32
Dette er for at forebygge skader på apparatet Styreenheden model 969-9507 leveres uden og personer. Start aldrig pumpen, hvis pumpetilløbet strømkabel, der kan bestilles hos Varian som tilbehør. ikke er tilsluttet systemet eller er blokeret. yderligere information henvises afsnittet "Accessories and Spare Parts" i bilag "Technical Information".
Seite 33
Hand Held Terminalen. Styreenheden startes ved at sætte strømkablet i vægudtaget. VEDLIGEHOLDELSE Start af pumpen Styreenhederne i Turbo-V 70-serien behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal Pumpen startes ved at trykke på START-trykknappen. foretages af autoriseret personale. 87-900-869-01 (B)
Seite 34
Tryk to gange på START-knappen for at starte OVERVOLTAGE fødespænding eller styreenheden har fået et pumpen igen. falsk signal. Hvis meddelelsen kommer igen tag kontakt med Varian for nødvendig vedligeholdelse. CONTROLLER FAILURE Afbrydelse sikring sekundært Ret henvendelse til Varian vedrørende effektkredsløb.
Varian före användning emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt under transporten. eller delvis orsakats av åsidosättande av instruktionerna, Se till att styrenheten inte tappas eller utsätts för stötar olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap,...
Seite 36
Styrenheten modell 969-9507 levereras utan strömkabel, apparaten och personer. Sätt aldrig igång pumpen, om som dock kan beställas från Varian som tillbehör. För intagsflänsen varken är kopplad till systemet eller är ytterligare information hänvisas till avsnittet "Accessories blockerad på...
Start av styrenheten Styrenheten startas enkelt genom att sätta strömkabeln i vägguttaget. UNDERHÅLL Start av pumpen Styrenheterna i Turbo-V 70 serien är under-hållsfria. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad Pumpen startas genom att trycka på tryckknappen personal. START. 87-900-869-01 (B)
Seite 38
BRUKSANVISNING styrenheten havererar, kontakta Varian FELMEDDELANDEN reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan När vissa fel uppstår visar styrenhetens självdiagnoskrets ersätta styrenheten med en renoverad styrenhet. aktuellt felmeddelande på displayen. möjliga meddelandena listas i följande tabell. VARNING! OBSERVERA Innan något arbete utförs på styrenheten måste dess På...
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan som kan ha oppstått under transporten, må du ta ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av kontakt med det lokale salgskontoret.
Seite 40
Dette er viktig for å Styreenheten modell 969-9507 leveres uten strømkabel, forhindre skader på apparatet og på personer. Dersom men den kan bestilles fra Varian som ekstrautstyr. For inngangsflensen hverken er tilkoplet systemet eller ytterligere informasjon vises det til avsnittet "Accessories dersom den er blokkert av låseflensen må...
"Hand held terminal". Styreenheten startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. VEDLIKEHOLD Starte pumpen Turbo-V 70 seriens styreenheter er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på styreenheten må kun utføres av autorisert Pumpen startes ved å trykke på knappen START. personell. 87-900-869-01 (B)
Seite 42
Det har oppstått en feil i styreenhetens OVERVOLTAGE starte pumpen igjen. Vises feilmeldingen matedel, eller så har styreenheten fått et om igjen, må du ta kontakt med Varian for falskt signal. nødvendig vedlikehold. Avbrudd i sikringen til det sekundæra Kontakt Varian for vedlikehold.
Mikäli havaitsette mahdollisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muut Varianin kuljetuksen aikana sattuneita vaurioita, ottakaa yhteys toimittamat lisätiedot. Varian ei vastaa seurauksista, jotka paikalliseen myyntitoimistoon. johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta Pakkauksen purkamisen yhteydessä huolehtikaa, että laiminlyömisestä, ammattitaidottomien henkilöiden valvoja eipääse putoamaan ja välttäkää...
Seite 44
KÄYTTÖOHJEET ASENNUS VAARA! VAARA! Mikäli pumppu on asetettu pöydälle, varmistakaa että se on vakaa. Näin vältytään vammoilta ihmisille sekä Valvojamallia 969-9507 ei toimiteta sähkökaapelin itse koneelle. Älkää myöskään käyttäkö pumppua, kanssa, mutta se voidaan pyytää lisävarusteena. mikäli sisääntulon laippaa ei ole kytketty järjestelmään Lähempiä...
Valvojan päälle pano päätteessä" olevaa STOP painonappia. Valvoja käynnistyy asettamalla virtakaapeli pistorasiaan. HUOLTO Pumpun käynnistys Turbo-V 70 sarjan valvojat eivät kaipaa minkäänlaista huoltoa. Mahdolliset valvojaan tehtävät toimenpiteet Pumppu käynnistyy painamalla START painonappia. tulee jättää aina valtuutetun henkilön tehtäviksi. 87-900-869-01 (B)
KÄYTTÖOHJEET Toimintahäiriön sattuessa on mahdollista käyttää VIANETSINTÄ Varianin korjauspalvelua tai "Varian advance exchange Joidenkin toimintahäiriöiden yhteydessä valvojan service" -palvelua, jolloin on mahdollista vaihtaa itsemäärittelypiiri analysoi virheen, joka näkyy rikkoontunut valvoja ladattuun valvojaan. viesteinä, jotka on kuvailtu seuraavassa taulukossa. HUOM VAARA! Valvontamallissa 969-9507 virheviestit näkyvät vain...
Ç . H Varian den fev r ei kamiv a Katav th diav r keia tou anoiv g matoÇ thÇ suskeuasiv a Ç, dwv s te euquv n h ov s on aforav thn olikhv hv merikhv aqev t hsh twn idiaiv t erh prosochv ev t si wv s te na mhn pev s ei kai na mhn odhgiwv n , thn akatav l lhlh crhv s h ek mev r ouÇ...
Seite 48
. perissov t ereÇ Varian leptomev r eieÇ sumbouleuteiv t e thn parav g rafo -Axesouav r kai antallaktikav - tou Pararthv m atoÇ -Tecnikev Ç Plhroforiv e Ç-. Aytov prev p ei na sundeqeiv apov th miv a pleurav sto buv s ma J16 tou ruqmisthv kai apov thn av l lh sto eidikov buv s ma thÇ...
Seite 49
Ç sthn priv z a tou diktuv o u. SUNTHRHSH Ekkiv n hsh thÇ Antliv a Ç Oi ruqmistev Ç thÇ seirav Ç Turbo-V 70 den apaitouv n kamiv a sunthv r hsh. Opoiadhv p ote...
Seite 50
ODHGIES CRHSEWS Se periv p twsh blav b hÇ mporeiv t e na crhsimopoihv s ete thn MHNUMATA LAQOUS uphresiv a episkeuwv n thÇ Varian hv to "Varian advance orismev n eÇ periptwv s eiÇ blav b hÇ kuklwv m ata exchange service", pou saÇ...
(within steps) Turbo-V 70 pump during the starting phase by controlling the voltage and current respect to the speed reached by the pump. It incorporates all the facilities required for the automatic operation of the Turbo-V 70 pump series.
INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION WARNING! WARNING! To avoid injury to personnel and damage to the The controller model 969-9507 is not equipped with the power equipment, if the pump is laying on a table make sure it cord. It can be requested as an accessory; detailed information is steady.
MAINTENANCE Starting the Pump The Turbo-V 70 series controller does not require any maintenance. Any work performed on the controller To start the pump press the START pushbutton on the must be carried out by authorized personnel.
INSTRUCTIONS FOR USE When a fault has occurred it is possible to use the ERROR MESSAGES Varian repair service. Replacement controllers are For a certain type of failure, the controller will self- available on an advance exchange basis through diagnose the error and the messages described in the Varian.
TURBO-V 70 CONTROLLER DESCRIPTION (50-60 Hz) AC mains supply into a 3-phase, low The controller, factory set for 120 Vac, 50-60 Hz input voltage, medium frequency output which is required to voltage, is a solid-state frequency converter which is power the Turbo-V pump.
47 to 63 Hz Power 350 VA maximum Output: CONTROLLER OUTLINE 54 Vac nominal ±10%, Voltage The outline dimensions for the Turbo-V 70 controllers 3-phase are shown in the following figure. 1250 Hz, ±2% Frequency Power 150 W maximum Operating 0 °C to +40 °C...
TECHNICAL INFORMATION Inspect the controller for any shipping damage. POWER INTERCONNECTIONS The Turbo-V 70 controller model is 969-9507 is factory- Connection J7 - 120 Vac Connector set for 120 Vac operation. The 120 Vac, 1 A maximum (independent of line...
NOTE must shorted allow Turbo-V 70 PCB pump to start if no interlock contact is connected. If, after starting the pump, the interlock contact opens, it has no effect on the operation and the pump continues to turn. The following figure shows a typical contact logic input...
TECHNICAL INFORMATION Connection J2 - Logic Output Interconnections DESCRIPTION 7-14 R2 signal 24 V, 60 mA, optically isolated output (pin 14 positive, pin 7 negative). The output Voltage will be present upon the programmed condition delay YES or delay NO (see the cycle diagram in the following pages).
The communication port mating connector is supplied with the RS 232 PCB (AMP/Cannon or equivalent 15- NOTE pin "D" type male connector). Varian cannot guarantee compliance with The external cable (not supplied) between the host regulations for radiated emissions unless all external computer and the controller doesn’t require any...
Message • "E" = Request for operational parameters • "F" = Pump times zeroing When the Request is "A, "B”, "C", "D", "F", the Turbo-V 70 • "G" = Parameters reading controller will Answer the ACK or NACK. • "H" = Parameters writing •...
Seite 62
Answer will contain a string of 11 characters with the following type: following parameters: BYTES MEANING "H" + ..data ..+ CRC Cycle time Pump life 9-10 Cycle number On request a sample program in QBasic language is available by Varian. 87-900-869-01 (B)
B U T T O N V controller. NOTE NOTE When the Turbo-V 70 pump is baked by a membrane If the pump is not connected, the display will be as pump, the Soft Start mode should be deselected. follows:...
TECHNICAL INFORMATION X X X X C Y C L E X X X X X m NOTE P U M P X X X X X h After pressing the START push-button, if the P1 connector is not in place with the link or the external interlock connections are open, the display will be as shown in the following figure.
Seite 65
TECHNICAL INFORMATION The display shows: NOTE The Soft Start mode may be deselected/selected only R S 2 3 2 H O S T P R I when the pump is stopped. S E L E C T I O N : X X X X X If necessary press CYCLE NUMBER to select YES or NO, then enter the selection by pressing the PUMP...
TECHNICAL INFORMATION With connected, bidirectional Monitor Relay Programming communication is established by selecting HOST. Data • The display shows: are sent to an external computer every time the external computer asks for the values. S P E E D T H R E S H O L D The data available are: S E L E C T I O N : X X K R P M...
Seite 67
TECHNICAL INFORMATION Cycle diagram When the last digit is entered, the display will be as where: shown in the following figure. XXX = YES or NO. D E L A Y E V E N A F T E R By pressing the CYCLE NUMBER push-button, select YES if relay R2 must operate only after the T H R E S H O L D :...
TECHNICAL INFORMATION • Reset Command Press the START push-button (or use the remote or RS 232 start signal), and the display shows: • The display shows: S O F T S T A R T P U M P X X X X X h R E S E T ? X X X where:...
TECHNICAL INFORMATION • Operating the Pump If the Soft Start mode has been deselected the display will change and shows: After the starting period, if the system has a vacuum leak or the pressure in the pump/chamber is high (from P U M P S T A R T 1 mbar to atmosphere), the pump continues to operate...
TECHNICAL INFORMATION The pump reaches the Normal high speed, then When the low speed mode is deselected, the pump decrease the speed to the low speed value and the starts to accelerate to its rotational speed. display shows: The display shows: A P P R O A C H N O R M A L O P E R A T...
TECHNICAL INFORMATION Remote Control Mode Operation RS 232 Control Mode Operation If remote signals are used to operate the controller, it If the RS 232 option is installed and the controller has must be programmed for remote operation (see been programmed for RS 232 operation, the controller paragraph "FRONT/REMOTE/232 Selection")
TECHNICAL INFORMATION Verify that systems has no leaks than press STOP ERROR MESSAGES RESET pushbutton twice to start the pump. For a certain type of failure, the controller will self- diagnose the error and the following messages will be NOTE displayed if the hand-held terminal is connected.
− 54 Vdc ±10% between TP3(-) and TP5(+) − 24 Vdc ±15% on the fan connector. Since no operation can be carried out, contact VARIAN. b) AC three-phase output voltage test On the pump connector connect the DVM in turn between: pins B and C, B and D, C and D.
TECHNICAL INFORMATION − Disconnect the potentiometer, set it to 10 KΩ, and then reconnect it. Pump over-Temperature Test − Connect the power cable. − Disconnect the potentiometer, set it to 5KΩ, and − On the controller front panel push the START and then reconnect it.
Seite 77
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Seite 78
Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
Seite 79
Tel: (39) 011 997 9111 Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Brazil Fax: (39) 011 997 9350 Varian Industria e Comercio Ltda. Japan Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Internet Users: Varian Vacuum Technologies Vila Olimpia Customer Service &...