Upevnění Vývěvy - Agilent Technologies TwisTorr304 FS X3500-64000 Bedienungshandbuch

13 Návod k Použití
Upevnění vývěvy
Upevnění vývěvy
NEBEZPEČÍ! Nedodržení těchto pokynů pro instalaci může v případě výskytu poruchy
rotoru způsobit oddělení čerpadla od systému, s následným vážným zraněním
nebo dokonce smrtí.
Vývěvu TwisTorr 304 FS lze instalovat do libovolné polohy. Upevněte
vývěvu TwisTorr 304 FS ve stabilní poloze, a to tak, že vstupní
přírubu namontujete k protipřírubě systému prostřednictvím spoje,
který kolem své osy snese krouticí moment 1000 Nm.
Přírubu ISO K lze upevnit svorkami s oceli s vysokou odolností (jako
např. model IC 63250 DCMZ od firmy Agilent).
Níže uvedená tabulka obsahuje potřebný počet svorek IC 63250
DCMZ pro každou velikost příruby, společně s utahovacím
momentem.
Tab. 2
PŘÍRUBA
ISO 100 K
ISO 160 K
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu firmy
Agilent. Viz podrobný popis v příloze "Technical Information".
Vývěvu TwisTorr 304 FS nelze připevnit pomocí její podstavy.
POZNÁMKA
194/309
PŘÍCHYTNÉ ZAŘÍZENÍ
Příchytky M10
Příchytky M10
TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(A)
POČET UTAHOVACÍ MOMENT
4 22 Nm
4 22 Nm