Technische Daten - LEYBOLD TURBOVAC Gebrauchsanleitung

Beschreibung

1.3 Technische Daten

TURBOVAC
Hochvakuum-Anschluß
Saugvermögen für N
2
Enddruck
Vorvakuumdruck
Empfohlene Vorvakuum-
pumpe TRIVAC
Empfohlene Frequenz-
wandler
Drehzahl
Hochlaufzeit ca. min
Kühlwasser-Durch-
flußmenge bei 15 °C*
Vorvakuum-Anschluß
Sperrgas-Anschluß
Belüftungs-Anschluß
Gewicht, ca.
Max. Ausheiztemperatur
am CF-Flansch
TURBOVAC
Hochvakuum-Anschluß
Saugvermögen für N
2
Enddruck
Vorvakuumdruck
Empfohlene Vorvakuum-
pumpe TRIVAC
Empfohlene Frequenz-
wandler
oder
Drehzahl
Hochlaufzeit ca. min
Kühlwasser-Anschluß
Schlauchtülle
Kühlwasser-Temperatur
Kühlwasser-Durch-
flußmenge bei 15 °C
Vorvakuum-Anschluß
Sperrgas-Anschluß
Belüftungs-Anschluß
Gewicht, ca.
Max. Ausheiztemperatur
am CF-Flansch
* Bei Verwendung der Option Wasserkühlung, Kat.-Nr. 854 08
4
50 50
DN 40 KF 40 CF
-1
l·s 33 29
-9 -9
mbar 8·10 < 8·10
-3 -2 -3 -2
mbar 10 - 10 10 - 10
D 1,6 B D 1,6 B
NT 10/12/13 10/12/13
-1
min 72 000 72 000
2 2
-1
l·h 20 20
DN 16 KF 16 KF
DN - -
DN - 10 KF
kg 2 2
°C
- 80
151 151
DN 63 ISO-K 100 ISO-K
2" ANSI 100 CF
-1
l·s 115 145
-10
mbar < 10 < 10
-3 -2 -3
mbar 10 - 10 10 - 10
D 4 B D 4 B
NT 151/361 151/361
NT 20 20
-1
min 50 000 50 000
2 2
mm 10 10
°C
10 - 25 10 - 25
-1
l·h 20 20
DN 25 KF 25 KF
DN - -
DN 10 KF 10 KF
kg 8 8
°C
- 100
50 50 50 D
63 ISO-K 63 CF 40 KF
55 55 35
-9 -9
8·10 < 8·10 8·10
-3 -2 -3 -2
10 - 10 10 - 10 5
D 1,6 B D 1,6 B S 1,6 B
10/12/13 10/12/13 10/12/13
72 000 72 000 72 000
2 2 3
20 20 20
16 KF 16 KF 16 KF
- - -
- 10 KF -
2 2 2
- 80 -
151 C 361
100 ISO-K 100 ISO-K
100 CF
145 345
-10 -10 -10
< 10 < 10
-2 -3 -2 -3
10 - 10 10 - 10
D 16 B D 16 B
151/361 151/361
20 20
50 000 45 000
2 2
10 10
10 - 25 10 - 25
20 20
25 KF 25 KF
10 KF -
10 KF 10 KF
8 12
- 100
50 D 50 D
40 CF 63 ISO-K 63 CF
35 55
-9 -9 -9
< 10 8·10
5 5
S 1,6 B S 1,6 B S 1,6 B
10/12/13 10/12/13 10/12/13
72 000 72 000 72 000
3 3
20 20
16 KF 16 KF 16 KF
- -
10 KF - 10 KF
2 2
80 -
361 361 C
160 ISO-K 100 ISO-K
160 CF
4" ANSI
400 345
-10 -10
< 10 < 10
-2 -3 -2 -3
10 - 10 10 - 10
D 16 B D 25 B
151/361 151/361
20 20
45 000 45 000
2 2
10 10
10 - 25 10 - 25
20 20
25 KF 25 KF
- 10 KF
10 KF 10 KF
12 12
100 -
50 D 50 D2
63 ISO-K
55 55
-9 -9
< 10 < 10
5 15
Membran-
pumpe
10/12/13
72 000
3 3
20 20
16 KF
- -
-
2 2
80 -
361 C
160 ISO-K
400
-10
< 10
-2 -3 -2
10 - 10
D 25 B
151/361
20
45 000
2
10
10 - 25
20
25 KF
10 KF
10 KF
12
-
GA 05.118/8 - 05/2001