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5.3
Gasabhängigkeit des Sensors
Die Sensortechnologie des THERMOVAC-Transmitters TTR 200 N basiert auf einer Messung der
Wärmeleitfähigkeit (für den MEMS-Pirani-Sensor). Deshalb hängen die angezeigten Werte von der Art und der
Konzentration des Gases ab. Wie in Kapitel 5 beschrieben ist das Ausgangssignal eine Kombination des
gasartabhängigen MEMS-Pirani Sensors und des gasartunabhängigen Piezo Sensors. Daher ist der Messbereich
-5
von 5x10
bis 80 mbar gasartabhängig. Der THERMOVAC-Transmitter TTR 200 N verfügt über Kalibrierkurven für
eine Vielzahl von gängigen Gasen. Weitere Details zur Gaseinstellung finden Sie im Kommunikationsprotokoll
300544663 (RS-232). Der Sensor ist ab Werk standardmäßig für Stickstoff kalibriert. Unten werden die
angezeigten Werte der TTR 200 N THERMOVAC-MEMS-Pirani-Sensoren für Stickstoff in verschiedenen Gasarten
angezeigt. In Umgebungen, in denen andere Gase als Stickstoff (Kalibriergas) vorhanden sind, können die
angezeigten Werte vom tatsächlichen Druck abweichen.
1E3
1E2
1E1
1E0
1E-1
1E-2
1E-3
1E-4
1E-4
Im Bereich unter 1 mbar ist die Anzeige linear. Für andere Gase als Luft kann daher der Druck durch eine einfache
Umrechnung ermittelt werden:
��
= �� . ���������������������� ����������
������
Wobei:
Gas art
K
He
1.4
Ar
1.57
H
0.84
2
Air, O
, CO, N
1
2
2
Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte.
20
1E-3
1E-2
Bereich [mbar]
-3
3∙10
bis 0,3 mbar
-3
10
bis 1 mbar
-3
3∙10
bis 0,2 mbar
-3
3∙10
bis 0,3 mbar
300544656_001_C1 - 11/2016 - © Leybold
1E-1
1E0
Transmitter Anzeige, mbar
Luft (50% Feuchtigkeit)
(MEMS Pirani)
Argon (MEMS Pirani)
Helium (MEMS Pirani)
Wasserstof (MEMS Pirani)
Absolute Piezo Messung
1E1
1E2
1E3
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