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6.2
Vakuum-Nullpunkt und Sollwerteinstellungen
Eine Nullpunkteinstellung vor dem Betrieb wird für eine optimale Messleistung im untersten Teil des Messbereichs
nicht empfohlen. Ein Nullpunkts Abgleich ist typischerweise nicht erforderlich für Betriebsdrücke größer 5x10-
4mbar. Jedoch kann eine Drift nach einer längeren Betriebszeit nicht ausgeschlossen werden. Mit Hilfe des
Nullpunktabgleichs kann eine höre Messgenauigkeit bei kleinen Drücken erzielt werden.
Mit der digitalen RS-232-Kommunikationsschnittstelle (Kat.-Nr.: 230365V02) können Sollwerteinstellungen über die
digitale Kommunikationsschnittstelle durchgeführt werden. Siehe Kommunikationsprotokoll 300544663 für weitere
Details.
Einstellung des Vakuum-Nullpunkts des MEMS-Pirani-Sensors
Die Funktion der Vakuum-Nullpunkt Einstellung ändert den Offset der MEMS-Pirani-Messung bei niedrigem Druck.
Eine temporäre oder dauerhafte Verschiebung des Nullpunkt-Offsets kann durch Kontaminierung, Korrosion,
elektrische Störsignale und die Temperatur verursacht werden.
Die MEMS-Pirani-Full Scale einstellung ermöglicht die Einstellung des angezeigten Full Scale werts (nur über die
serielle Schnittstelle möglich). Gleichen Sie den Druck im Transmitter mit dem in der Gaskalibrierung eingestellten
Gas auf Atmosphärendruck aus. Eine Full Scale einstellung kann nur mit Luft oder Stickstoff durchgeführt werden.
Mit dem Taster
Eine Einstellung des Vakuum-Nullpunkts des MEMS-Pirani-Sensors kann auch mithilfe des Tasters
erfolgen. Siehe Kapitel 6.3.
Über die serielle Schnittstelle
Bei Transmitterversionen mit einer digitalen RS-232-Kommunikationsschnittstelle (Kat.-Nr.: 230087V02) ist
es möglich, Vakuum-Nullpunkt-/Full Scale einstellungen über die digitale RS-232-
Kommunikationsschnittstelle durchzuführen. Siehe Kommunikationsprotokoll 300544663 für weitere
Details.
!
Für eine optimale Messleistung wird empfohlen, dass der Transmitter auf einen Druck unter
-5
1 × 10
mbar ausgepumpt wird, bevor eine Nullpunkt Einstellung des MEMS-Pirani-Sensors
vorgenommen wird.
Die Nullpunkteinstellung des MEMS-Pirani-Sensors kann bei Drücken über 1 × 10
durchgeführt werden. Dies kann jedoch zu ungenauen Messungen im unteren Teil des
!
Messbereichs führen.
Falls der vom Transmitter gemessene Druck über ca. 1 x 10
Nullpunkteinstellung nicht durchgeführt werden. Falls die Nullpunkteinstellung fehlschlägt, blinkt der
LED-Ring/LED drei Mal rot.
!
Die Nullpunkteinstellung ändert nur den unteren Messbereich und hat keine Auswirkungen auf
Messfehler im Bereich von 1 × 10
!
Die Full Scale einstellung ändert nur den oberen Messbereich und hat keine Auswirkungen auf
Messfehler im Bereich unter 10 mbar.
!
!
Gleichen Sie den Druck im Transmitter vor Durchführen der Atmosphäreneinstellung mit dem
Taster mit Stickstoff oder Luft auf 1.000 mbar aus. Der Vollbereich des Transmitters kann nur
eingestellt werden, wenn der angezeigte Druckwert zwischen 600 und 1.000 mbar liegt. Bitte
beachten Sie, dass eine Einstellung bei einem tatsächlichen Druck, der von 1.000 mbar abweicht,
zu Abweichungen bei Messungen im oberen Messbereich führen kann.
Nullpunkt Einstellung des Piezosensors
22
Achtung
Achtung
Vorsicht
300544656_001_C1 - 11/2016 - © Leybold
-2
mbar und darüber.
-5
-2
mbar liegt, kann die
mbar
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