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5 Betrieb
5.1
Druckausgabe
Die THERMOVAC-Transmitter TTR 200 N können den gemessenen Druckwert als analogen Spannungswert oder
als einen digitalen RS-232-Wert (Kat.-Nr.: 230365V02) ausgeben. Weitere Details zur digitalen Schnittstelle finden
Sie im Kommunikationsprotokoll 300544663.
Die Analogausgabe basiert standardmäßig auf dem kombinierten MEMS-Pirani- und Piezo-Messwert und stellt
eine 16-bit-Spannungsausgabe mit einer Standardkonfiguration von 1,286 VDC/Dekade zur Verfügung. Siehe
Seite 23 für Details zur Analogausgabe.
Kombinierte Anzeige
Die kombinierten angezeigten Messwert basieren auf der MEMS-Pirani-Messung und einer normalisierten
absoluten Druckmessung.
1.013 mbar (normaler Meeresspiegeldruck) bei einem Differenzdruck von Null an, unabhängig vom tatsächlichen
barometrischen Umgebungsdruck. Der atmosphärische Umgebungsdruck variiert je nach Wetter und Höhe des
Einsatzortes des Transmitters über dem Meeresspiegel. Wenn der Transmitter auf einen Druck unter 1,6 mbar
ausgepumpt wird, kann der Transmitter den Umgebungsdruck ermitteln, indem die differenzielle Piezo-Ausgabe
mit umgekehrtem Vorzeichen abgelesen und normalisiert wird. Der Transmitter kalibriert den absoluten Piezo-Wert
automatisch, wenn der Transmitter auf einen Druck unter 1,6 mbar ausgepumpt wird. Wenn die Kalibrierung mehr
als +/- 13 mbar vom aktuellen Kalibrierwert abweicht, wird die Kalibrierung im nichtflüchtigen Speicher gespeichert.
Wenn der Transmitter wieder auf Umgebungsdruck belüftet wird, zeigen die kombinierte Ausgabe und die
Analogausgabe den richtigen Umgebungsdruck an.
Die absolute Piezo-Messung und die MEMS-Pirani-Messung werden in eine ruhige Druckmessung mit
außerordentlicher Messleistung über den gesamten Druckbereich von mehr als 8 Dekaden kombiniert.
Die
Messumschaltung erfolgt gasabhängig bei den folgenden Druckwerten:
Kombinierte Messung
Gaseinstellung
Stickstoff, Luft, Neon, CO
2
Wasserstoff: (PZabs)
Argon, Helium, H
O: (PZabs)
2
!
!
Stellen sie bei der Auslegung von druckabhänigen Steuerungen sicher, dass im Falle eines
Stronausfalls Anlagen oder Komponenten nicht beschädigt werden.
!
!
Stellen Sie bei der Entwicklung von Software zur Datenerfassung und der Steuerschleife sicher,
dass die Software einen Kommunikationsfehler nicht als gültigen Druckwert interpretiert.
Auflösung
Die digitale Druckausgabe kann Werte mit drei oder vier Stellen ausgeben. Die Auflösung ist jedoch in bestimmten
Teilen des Messbereichs eingeschränkt.
1 x 10
-5
bis 1 x 10
-4
1 x 10
bis 1 x 10
-3
1 x 10
bis 900 mbar
17
Wenn der Transmitter zum ersten Mal eingeschaltet wird, zeigt die kombinierte Ausgabe
MEMS-Pirani
Anzeige
, Xenon: (MP)
< 53,3 mbar
< 6,7 mbar
< 9,3 mbar
Vorsicht
Vorsicht
-4
mbar
Auflösung: eine Stelle
-3
mbar
Auflösung: zwei Stellen
Auflösung: drei oder vier Stellen
300544656_001_C1 - 11/2016 - © Leybold
MEMS-Pirani-/absolute
Piezo-Integration
53,3 - 80 mbar
6,7 - 9,3 mbar
9,3 - 13,3 mbar
1,000 x 10
1,200 x 10
1,234 x 10
Piezo absolut
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> 80 mbar
> 9,3 mbar
> 13,3 mbar
-5
-4
-3
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