Gasabhängigkeit Des Sensors - LEYBOLD TTR 91 N Gebrauchsanleitung

5.3 Gasabhängigkeit des Sensors
Die Sensortechnologie basiert auf einer Messung der Wärmeleitfähigkeit. Deshalb hängen die angezeigten Werte
von der Art und der Konzentration des Gases ab.
Der Transmittersensor ist ab Werk standardmäßig für Stickstoff kalibriert. Unten werden die angezeigten Werte der
TTR 91 N und TTR 96 N MEMS-Pirani-Sensoren für verschiedene Gasarten angezeigt. In Umgebungen, in denen
andere Gase als Stickstoff (Kalibriergas) vorhanden sind, können die angezeigten Werte vom tatsächlichen Druck
abweichen.
1E3
1E2
1E1
1E0
1E-1
1E-2
1E-3
1E-4
1E-4
Im Bereich unter 1 mbar ist die Anzeige linear. Für andere Gase als Luft kann daher der Druck durch eine einfache
Umrechnung ermittelt werden:
�� = �� . ���������������������� ����������
������
Wobei:
Gas art K
He 1.4
Ar 1.57
H 0.84
2
Air, O , CO, N 1
2 2
Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte.
19
1E-3 1E-2
Transmitter-Anzeige, mbar
Bereich [mbar]
-3
3∙10 bis 0,3 mbar
-3
10 bis 1 mbar
-3
3∙10 bis 0,2 mbar
-3
3∙10 bis 0,3 mbar
300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold
1E-1 1E0
Luft (50 %
Feuchtigkeit)
Argon
Helium
Wasserstoff
1E1 1E2 1E3