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Vakuumanschlüsse - LEYBOLD TTR 200 N S Gebrauchsanleitung

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Temperatur
Die THERMOVAC-Transmitter TTR 200 N verfügen über einen aktiven und individuellen
Temperaturkompensationsschaltkreis, der genaue Messungen in einem breiten Temperaturbereich sicherstellt.
Vermeiden Sie große Temperaturunterschiede und direkte Kühlung wie Luftströme von Kühlanlagen oder direkte
Erwärmung zum Beispiel durch Pumpenabluft.
Ausheizen
Die Transmitterelektronik kann bei abgeschalteter Stromzufuhr maximal 85
Kontaminierung
Platzieren Sie den Transmitter in einer Position und richten Sie ihn so aus, dass die Möglichkeit der
Kontaminierung minimiert wird. Die Temperatur des MEMS-Pirani-Sensordrahts ist nur 35
Umgebungstemperatur. Deshalb ist der MEMS-Pirani-Sensor weniger anfällig für Kontaminierung durch
Spaltprodukte des Vorvakuumpumpenöls.
!
!
Falls der Transmitter mit einer Flüssigkeit in Kontakt kommt, wird das Sensorelement
wahrscheinlich dauerhaft beschädigt. Der Transmitter darf nicht mit Lösungsmitteln gereinigt
werden.
Vibrationen und Schockbelüftung
Die Sensorelemente sind extrem beständig gegenüber mechanischen Kräften wie Vibrationen und
Beschleunigungskräften.
Das Sensorelement kann nicht durch schnelle und wiederholte Druckzyklen oder Schockbelüftung beschädigt
werden.
3.4
Vakuumanschlüsse
Der Transmitter ist mit verschiedenen Vakuumanschlussarten erhältlich. Stellen Sie bei der Montage des
Transmitters immer sicher, dass alle Vakuumdichtungselemente und Oberflächen sauber, ohne Schäden und frei
von Partikeln sind. Berühren Sie nicht die Oberfläche der Vakuumflanschdichtung.
!
Wenn der Transmitter Drücken über dem Atmosphärendruck ausgesetzt wird, stellen Sie sicher,
!
dass geeignete Vakuumanschlüsse verwendet werden. Stellen Sie sicher, dass der interne
Systemdruck dem Umgebungsdruck gleicht, bevor Sie das Vakuumsystem öffnen und Anschlüsse
trennen.
Druckbereich
Die Standard-Transmitter 200N sind intern mit Elastomer-FPM-Dichtungen abgedichtet und für einen Einsatz
innerhalb eines Druckbereichs von 5 × 10
Gasabgabegeschwindigkeit von FPM zu hoch sein.
13
Achtung
Vorsicht
-5
bis 1.500 mbar bestimmt. Bei UHV-Anwendungen kann die
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C (185
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F) widerstehen.
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