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Wartung und Reparatur. Tauschen Sie keine Teile aus bzw. führen Sie keine Modifikationen am Instrument durch. Installieren Sie keine ersetzten Teile bzw. führen Sie keine unautorisierten Modifikationen am Instrument durch. Senden Sie das Instrument zur Wartung und Reparatur an ein Leybold Kalibrier- und Servicezentrum zurück, um die Aufrechterhaltung aller Sicherheitsfunktionen sicherzustellen. Warnung GEFAHR: kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können die Gesundheit und die Umwelt schädigen.
Tragen Sie immer saubere, fusselfreie Handschuhe und verwenden Sie bei Arbeiten in diesem Bereich saubere Werkzeuge. 0.4 Haftung und Gewährleistung Leybold übernimmt keine Haftung und die Gewährleistung erlischt, falls der Endanwender oder Dritte die Informationen in diesem Dokument nicht beachten, ...
Versandschäden. Prüfen Sie auf sichtbare Schäden. Falls die Verpackung beschädigt ist, benachrichtigen Sie umgehend das Transportunternehmen. Stellen Sie sicher, dass Ihre Transmitter-Verpackung Folgendes enthält: 1 Stk. THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N oder TTR 96 N 1 Stk. Kurzanleitung in englischer Sprache (Kat.-Nr.: 300544666_002) ...
1.000 mbar, wobei die Messung auf Basis des Wärmeleitfähigkeitsprinzips aus einem MEMS-Pirani-Siliziumchipsensor erfolgt. Die THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N können in einer Vielzahl von Anwendungen als eigenständige Einheit oder mit Graphix-Controllern (Kat.-Nr.: 230680V01, 230681V01, 230682V01) und den Display-Controllern (Kat.-Nr.: 230001, 230024, 230025) eingesetzt werden.
(1) Die Messunsicherheit und Reproduzierbarkeit sind typische Werte, die in einer Stickstoffatmosphäre bei Umgebungstemperatur nach der Nullpunkteinstellung gemessen wurden. (2) Für eine vollständige Liste der Materialien kontaktieren Sie bitte Leybold. (3) Die Ausheiztemperatur von bis zu 85°C darf nur an dem Anschlussflansch anliegen. Die Temperatur des Transmitters darf 85°C (185°F) nicht überschreiten.
Der Transmitter ist nicht für einen Einsatz über dem maximal zulässigen Druck bestimmt. 3.3 Prozesskompatibilität Die Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N sind zum Einsatz in sauberen Umgebungen bestimmt. Die Transmitter können nicht in korrosiven Umgebungen wie z.B. Halbleiterätzkammern verwendet werden, in denen aggressive Gase wie z.B.
Systemdruck dem Umgebungsdruck gleicht, bevor Sie das Vakuumsystem öffnen und Anschlüsse trennen. 3.5 Druckbereich Die standardmäßigen THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N sind intern mit Elastomer-FPM- Dichtungen abgedichtet und für einen Einsatz innerhalb eines Druckbereichs von 5 × 10 bis 1.000 mbar bestimmt.
Verwenden Sie ein geflochtenes, abgeschirmtes Kabel, um die Vorschriften in Bezug auf Störfestigkeit nach EN 61326-1 zu erfüllen. Verbinden Sie die Umflechtung an beiden Kabelenden mit einem metallischen Steckergehäuse und erden Sie das Ende für die Stromversorgung oder verwenden Sie Leybold Kabel. Erdungsschleifen, Potenzialunterschiede oder EMV-Probleme können das Messsignal beeinflussen. Beachten Sie bitte für eine optimale Signalqualität die folgenden Punkte:...
4.2 Schaltrelais Die THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N sind mit bis zu drei mechanischen Relais ausgestattet, die zur Steuerung von externer Prozessausrüstung verwendet werden können. Die Relais haben Schließ- und Öffnungskontakte, die mit einer Wirklast von 30 VDC, 1 A bemessen sind. Weitere Informationen zur Einstellung der Schaltrelais finden Sie in Kapitel 6.
5 Betrieb 5.1 Druckausgabe Die THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N können den gemessenen Druckwert als analogen Spannungswert ausgeben. Der Analogausgang hat eine 16-bit-Auflösung. Siehe Kapitel 5.2 für weitere Details. Vorsicht Stellen sie bei der Auslegung von druckabhänigen Steuerungen sicher, dass im Falle eines Stronausfalls Anlagen oder Komponenten nicht beschädigt werden.
5.2 Analogausgang Die THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N geben eine Spannung als Funktion des Drucks aus. Die Ausgabe beträgt 1,286 VDC/Dekade. Umrechnungsformeln: ((Vout – 6.143)/1.286) = 10 = log10 (P ) x 1,286 + 6,143 mbar mbar...
Der Transmittersensor ist ab Werk standardmäßig für Stickstoff kalibriert. Unten werden die angezeigten Werte der TTR 91 N und TTR 96 N MEMS-Pirani-Sensoren für verschiedene Gasarten angezeigt. In Umgebungen, in denen andere Gase als Stickstoff (Kalibriergas) vorhanden sind, können die angezeigten Werte vom tatsächlichen Druck abweichen.
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F: Am Stromversorgungseingang wurde beim Anschluss die Polung vertauscht. Wurde der Transmitter dadurch beschädigt? A: Nicht wahrscheinlich – der Stromversorgungskreis des Transmitters ist mit einem Verpolungs- und Überspannungsschutz ausgestattet. Leybold kann jedoch nicht garantieren, dass der Transmitter unbeschädigt bleibt. F: Der LED-Ring leuchtet dauerhaft rot auf? A: Die rote Statusanzeige zeigt ein defektes Sensorelement an, das höchstwahrscheinlich durch Korrosion oder...