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LEYBOLD TTR 91 N Gebrauchsanleitung

LEYBOLD TTR 91 N Gebrauchsanleitung

Thermovac-transmitter

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THERMOVAC-Transmitter
TTR 91 N, TTR 91 N S, TTR 96 N S und TTR 96 N SC
Gebrauchsanleitung 300544652_001_C1
Katalognummern:
230035V02
230036V02
230037V02
230038V02
230040V02
230043V02
230045V02
230047V02
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300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD TTR 91 N

  • Seite 1 THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N, TTR 91 N S, TTR 96 N S und TTR 96 N SC Gebrauchsanleitung 300544652_001_C1 Katalognummern: 230035V02 230036V02 230037V02 230038V02 230040V02 230043V02 230045V02 230047V02 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    Verdrahtung von Ein- und Ausgängen Schaltrelais Betrieb Druckausgabe Analogausgang Gasabhängigkeit des Sensors Funktionen LED-Ring/LED-Statusanzeige Vakuum-Nullpunkt-/Full Scale einstellung und Sollwerteinstellung Einstellungen mit dem Taster Häufig gestellte Fragen Fehlerdiagnose und -behebung Erklärung zur Kontamination Konformitätserklärung Anmerkungen Vertrieb und Service 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 3: Sicherheitsinformationen

    Gase oder in anderen explosionsgefährdeten Umgebungen. Korrosive Umgebungen. Der Transmitter ist nicht zum Einsatz in korrosiven Umgebungen gedacht. Siehe Transmitter-Installation, Kapitel 3 dieses Handbuchs. Bitte wenden Sie sich für weitere Informationen an Leybold. 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 4 Wartung und Reparatur. Tauschen Sie keine Teile aus bzw. führen Sie keine Modifikationen am Instrument durch. Installieren Sie keine ersetzten Teile bzw. führen Sie keine unautorisierten Modifikationen am Instrument durch. Senden Sie das Instrument zur Wartung und Reparatur an ein Leybold Kalibrier- und Servicezentrum zurück, um die Aufrechterhaltung aller Sicherheitsfunktionen sicherzustellen. Warnung GEFAHR: kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können die Gesundheit und die Umwelt schädigen.
  • Seite 5: Haftung Und Gewährleistung

    Tragen Sie immer saubere, fusselfreie Handschuhe und verwenden Sie bei Arbeiten in diesem Bereich saubere Werkzeuge. 0.4 Haftung und Gewährleistung Leybold übernimmt keine Haftung und die Gewährleistung erlischt, falls der Endanwender oder Dritte  die Informationen in diesem Dokument nicht beachten, ...
  • Seite 6: Auspacken

    Versandschäden. Prüfen Sie auf sichtbare Schäden. Falls die Verpackung beschädigt ist, benachrichtigen Sie umgehend das Transportunternehmen. Stellen Sie sicher, dass Ihre Transmitter-Verpackung Folgendes enthält:  1 Stk. THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N oder TTR 96 N  1 Stk. Kurzanleitung in englischer Sprache (Kat.-Nr.: 300544666_002) ...
  • Seite 7: Beschreibung

    1.000 mbar, wobei die Messung auf Basis des Wärmeleitfähigkeitsprinzips aus einem MEMS-Pirani-Siliziumchipsensor erfolgt. Die THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N können in einer Vielzahl von Anwendungen als eigenständige Einheit oder mit Graphix-Controllern (Kat.-Nr.: 230680V01, 230681V01, 230682V01) und den Display-Controllern (Kat.-Nr.: 230001, 230024, 230025) eingesetzt werden.
  • Seite 8: Technische Daten

    (1) Die Messunsicherheit und Reproduzierbarkeit sind typische Werte, die in einer Stickstoffatmosphäre bei Umgebungstemperatur nach der Nullpunkteinstellung gemessen wurden. (2) Für eine vollständige Liste der Materialien kontaktieren Sie bitte Leybold. (3) Die Ausheiztemperatur von bis zu 85°C darf nur an dem Anschlussflansch anliegen. Die Temperatur des Transmitters darf 85°C (185°F) nicht überschreiten.
  • Seite 9: Abmessungen

    2.2 Abmessungen [mm] Kat.-Nr.: 230035V02 bis 230047V02 Flansche: KF 16 CF 16 CF 16 (ausheizbar) NPT 1/8" 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 10: Katalognummern Für Zubehör Und Ersatzteile

    Kat.-Nr. TTR 91 N, DN16 KF 230035V02 TTR 91 N, DN16 CF 230036V02 230037V02 TTR 91 N, DN16 CF, ausheizbar TTR 91 N, 1/8" NPT 230038V02 TTR 91 N, DN16 KF, 2SP 230040V02 TTR 91 N, 1/8" NPT, 2SP 230043V02...
  • Seite 11: Transmitter-Installation (Mechanisch)

    Der Transmitter ist nicht für einen Einsatz über dem maximal zulässigen Druck bestimmt. 3.3 Prozesskompatibilität Die Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N sind zum Einsatz in sauberen Umgebungen bestimmt. Die Transmitter können nicht in korrosiven Umgebungen wie z.B. Halbleiterätzkammern verwendet werden, in denen aggressive Gase wie z.B.
  • Seite 12: Vakuumanschlüsse

    Systemdruck dem Umgebungsdruck gleicht, bevor Sie das Vakuumsystem öffnen und Anschlüsse trennen. 3.5 Druckbereich Die standardmäßigen THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N sind intern mit Elastomer-FPM- Dichtungen abgedichtet und für einen Einsatz innerhalb eines Druckbereichs von 5 × 10 bis 1.000 mbar bestimmt.
  • Seite 13: Transmitter-Installation (Elektrisch)

    Verwenden Sie ein geflochtenes, abgeschirmtes Kabel, um die Vorschriften in Bezug auf Störfestigkeit nach EN 61326-1 zu erfüllen. Verbinden Sie die Umflechtung an beiden Kabelenden mit einem metallischen Steckergehäuse und erden Sie das Ende für die Stromversorgung oder verwenden Sie Leybold Kabel. Erdungsschleifen, Potenzialunterschiede oder EMV-Probleme können das Messsignal beeinflussen. Beachten Sie bitte für eine optimale Signalqualität die folgenden Punkte:...
  • Seite 14: Verdrahtung Von Ein- Und Ausgängen

    Katalognummern: 230040V02 bis 230047V02: E/A-Anschluss (8-poliger RJ-45/FCC68) PIN-Belegung Stromversorgung + (9 - 30 VDC) Analogausgang - Masse - (GND) Relais SP2, Schließer Analogausgang + Relais SP1, Schließer ID-Widerstand, 27 kΩ (±1 %) Relais SP1 und SP2, Common 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 15: Schaltrelais

    4.2 Schaltrelais Die THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N sind mit bis zu drei mechanischen Relais ausgestattet, die zur Steuerung von externer Prozessausrüstung verwendet werden können. Die Relais haben Schließ- und Öffnungskontakte, die mit einer Wirklast von 30 VDC, 1 A bemessen sind. Weitere Informationen zur Einstellung der Schaltrelais finden Sie in Kapitel 6.
  • Seite 16 Relais auf steigende Flanke (Bild „Über“). Um den Richtungssinn der Einstellung zu verändern müssen sie die Taste solange gedrückt halten, bis sie das Ende der Einstellskala erreicht haben, danach bewegt sich das Signal in die andere Richtung. 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 17: Betrieb

    5 Betrieb 5.1 Druckausgabe Die THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N können den gemessenen Druckwert als analogen Spannungswert ausgeben. Der Analogausgang hat eine 16-bit-Auflösung. Siehe Kapitel 5.2 für weitere Details. Vorsicht Stellen sie bei der Auslegung von druckabhänigen Steuerungen sicher, dass im Falle eines Stronausfalls Anlagen oder Komponenten nicht beschädigt werden.
  • Seite 18: Analogausgang

    5.2 Analogausgang Die THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N geben eine Spannung als Funktion des Drucks aus. Die Ausgabe beträgt 1,286 VDC/Dekade. Umrechnungsformeln: ((Vout – 6.143)/1.286) = 10 = log10 (P ) x 1,286 + 6,143 mbar mbar...
  • Seite 19: Gasabhängigkeit Des Sensors

    Der Transmittersensor ist ab Werk standardmäßig für Stickstoff kalibriert. Unten werden die angezeigten Werte der TTR 91 N und TTR 96 N MEMS-Pirani-Sensoren für verschiedene Gasarten angezeigt. In Umgebungen, in denen andere Gase als Stickstoff (Kalibriergas) vorhanden sind, können die angezeigten Werte vom tatsächlichen Druck abweichen.
  • Seite 20: Funktionen

    Normalbetrieb 2 Sekunden rot Einschaltsequenz 2 Sekunden rot Taster deaktiviert Stetig ROT Transmitter defekt Ausgeschaltet Sonstiges In Zusammenhang mit der Konfiguration der Vakuum- Nullpunkt-/Full Scale einstellung oder der Einstellung des Schaltrelais-Sollwerts, siehe Kapitel 6.2. 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 21: Vakuum-Nullpunkt-/Full Scale Einstellung Und Sollwerteinstellung

    Druckwert zwischen 600 und 1.000 mbar liegt. Bitte beachten Sie, dass eine Justierung bei einem tatsächlichen Druck, der von 1.000 mbar abweicht, zu Abweichungen bei Messungen im oberen Messbereich führen kann. 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 22: Einstellungen Mit Dem Taster

    Vakuum-Nullpunkt-/Full Scale einstellung Grün pulsierend Einstellung von Sollwert 1* Rot pulsierend Einstellung von Sollwert 2* *Die Sollwerteinstellung kann nur bei Transmittern mit über den Taster justierbaren Sollwerten durchgeführt werden (Kat.-Nr.: 230040V02, 230043V02, 230045V02, 230047V02.) 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 23: Normalbetrieb

    (siehe nächste Seite) Taste 3s gedrückt Aktion halten Schaltpunkt Grünes Verhalten Blinken Sollwert 1 Abgleich Taste loslassen (siehe nächste Seite) Taste 3s gedrückt halten Rotes Blinken Sollwert 2 Abgleich Taste loslassen (siehe nächste Seite) 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 24 Richtung = Richtung = Sollwert abstimmung gespeichert! oberhalb unterhalb Zeit Taste Sollwertvorgabe Taste für 5 Taste unbetätigt Taste wiederholt + Taste für 1 Sekunden + 5 Sekunden unbetätigt betätigt/ Sekunde betätigt betätigt ohne Aktivität unbetätigt 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 25 Taste antippen, um die > 5 Sekunden lang zum Normalbetrieb Ausgangsspannung in warten. zurückzukehren. Schritten von 10 mV zu erhöhen. LED-ring/LED blinkt grün. > 5 Sekunden lang warten. LED-ring/LED blinkt 3 Mal grün. Ausgewählte Ausgangsspannung wird gespeichert. 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 26: Häufig Gestellte Fragen

    A: Das hängt von der Anwendung und vom Druckbereich ab. Bei vielen Anwendungen ist eine Justierung durch den Anwender nie notwendig. Faktoren, die die Messleistung temporär oder dauerhaft beeinflussen können, sind Kontaminierung, Korrosion, Hitze und elektronische Interferenz. 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 27 F: Am Stromversorgungseingang wurde beim Anschluss die Polung vertauscht. Wurde der Transmitter dadurch beschädigt? A: Nicht wahrscheinlich – der Stromversorgungskreis des Transmitters ist mit einem Verpolungs- und Überspannungsschutz ausgestattet. Leybold kann jedoch nicht garantieren, dass der Transmitter unbeschädigt bleibt. F: Der LED-Ring leuchtet dauerhaft rot auf? A: Die rote Statusanzeige zeigt ein defektes Sensorelement an, das höchstwahrscheinlich durch Korrosion oder...
  • Seite 28: Fehlerdiagnose Und -Behebung

    Sollwert-Richtung unterscheidet sich von der vom Benutzer erwarteten Richtung. Prüfen Sie die elektrischen Anschlüsse. Prüfen Sie die Katalognummer, ob der Transmitter mit Schaltrelais ausgestattet ist. Keine Analogausgabe Stromversorgung ist ausgeschaltet. Prüfen Sie die elektrischen Anschlüsse. LED-Ring leuchtet rot Defektes Sensorelement. 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 29: Erklärung Zur Kontamination

    Versanddokumenten beilegen. Alle Versandanweisungen im Handbuch müssen befolgt werden, z. B.: • Alle Betriebsstoffe ablassen • Filterelemente entfernen • Alle Öffnungen luftdicht versiegeln • Sachgerecht verpacken und handhaben • Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpackung anbringen 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 30 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 31: Konformitätserklärung

    10 Konformitätserklärung 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 32: Anmerkungen

    11 Anmerkungen 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...
  • Seite 33: Vertrieb Und Service

    12 Vertrieb und Service 300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold...

Diese Anleitung auch für:

Ttr 91 n sTtr 96 n sTtr 96 n sc

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