Inhaltsverzeichnis
Werbung
2 Beschreibung
Die Vakuumtransmitter TTR 200 N der THERMOVAC-Reihe verfügen über einen großen Messbereich von 5 × 10
mbar bis 1.500 mbar, wobei die Messung auf Basis des Wärmeleitfähigkeitsprinzips auf einem MEMS-Pirani-
Siliziumchipsensor und der mechanischen Biegung einer Siliziummembran in einem Piezosensor erfolgt.
Die Transmitter verfügen über eine digitale RS-232-Kommunikationsschnittstelle, die Transmitterparameter können
eingestellt werden, und die Transmitter messen Druck in Echtzeit. Weitere Details finden Sie im
Kommunikationsprotokoll 300544663 (RS-232).
Jeder Transmitter wird vor Verlassen des Werks einzeln über den gesamten Messbereich getestet. Ein Prüfbericht
ist in der Verpackung enthalten. Darüber hinaus wird jede Druckmessung des Transmitters innerhalb des
angegebenen Betriebstemperaturbereichs individuell temperaturkompensiert.
Die Transmitter sind mit drei mechanischen Relais ausgestattet, die zur Prozesssteuerung verwendet werden
können, zum Beispiel zur Schleusensteuerung von Ventilen oder Pumpen. Der analoge Spannungsausgang kann
mit externen Analoggeräten zur Druckanzeige oder zur Steuerung verbunden werden.
Sensortechnologie
Die Transmitter enthalten zwei separate Sensorelemente. Das MEMS-Pirani-Sensorelement (MEMS = mikro-
elektromechanisches System) basiert auf der Messung der Wärmeleitfähigkeit. Der MEMS-Pirani-Sensor besteht
aus einem Siliziumchip mit einem beheizten Widerstandselement, der eine Oberfläche einer Kammer bildet. Die
andere Oberfläche der Kammer wird durch eine Abdeckung über dem Chip gebildet. Aufgrund der Sensorgeometrie
gibt es keine Konvektion im Inneren der Kammer, weshalb der Sensor unempfindlich gegenüber der Montageposition
ist. Gasmoleküle werden nur durch Diffusion auf das beheizte Element übertragen, wo der Wärmeverlust des
Gases gemessen wird.
Der Piezo-Sensor basiert auf der Messung der mechanischen Biegung einer Siliziummembran, wobei eine Seite
der Membran dem Umgebungsdruck und die andere Seite dem Vakuum ausgesetzt ist.
Der Piezo-Sensor misst echten Differenzdruck, unabhängig von der Zusammensetzung und Konzentration des
Gases.
Beide Sensorelemente sind sehr robust und können hohen Beschleunigungskräften und Schockbelüftung
widerstehen.
Anwendungen
Der differenziell messende Piezo Sensor, misst den Druck relativ zum Umgebungsdruck, hochgenau. Hierdurch
ergeben sich große Vorteile zum Beispiel:
Schleusenbetrieb, welche eine hoch genaue Belüftung bis zum Umgebungsdruck benötigen.
-
-
Regelung von Kammerdrücken im Bereich des Umgebungsdruckes
7
300544656_001_C1 - 11/2016 - © Leybold
-5
Werbung
Inhaltsverzeichnis
