Verwendung Einer Diffusionspumpe In Einem Pumpsystem; Using A Diffusion Pump In A Pump Set - HSR DIF 501 Montageanleitung Und Bedienungsanleitung

Dabei können Gasmoleküle in das Betriebsmittel
hineindiffundieren. Das Betriebsmittel durchläuft
auf dem Rücktransport in den Siederaum eine
Zone erhöhter Temperatur, die Purifikationszone.
In der Purifikationszone werden leichte Verun-
reinigungen und Gasmoleküle vom Betriebsmittel
getrennt und an die Vorvakuumpumpe
abgegeben.
1.3 Verwendung einer
Diffusionspumpe in einem
Pumpsystem
Beispiel eines Vakuumschemas:
VP Vorvakuumpumpe
DP Diffusionspumpe
V1 Vorvakuumventi
V2 Bypassventil
V3 Hochvakuumventil
V4 Flutventil
P1 Vakuumsensor Vorpumpe
P2 Vakuumsensor Diffusionspumpe
P3 Vorvakuumsensor Vakuumkammer
P4 Hochvakuumsensor Vakuumkammer
T Temperaturmelder Diffusionspumpe
6
Vakuumkammer
Vacuum chamber
P3 V3
T DP
P2
V1
P1
VP
PDA501-W / PDB501-W
Thereby process gas molecules will diffuse into
the pump fluid. On the backhaul into the
evaporating chamber the pump fluid passes
through a zone of elevated temperature, the so
called purification zone. In this zone gas
molecules and light impurities will be separated
from the pump fluid and then pumped away by
the roughing pump set.
1.3 Using a diffusion pump in a
pump set
Example of a vacuum diagram:
P4 V4
V2
VP Roughing pump
DP Diffusion pump
V1 Fore vacuum valve
V2 Bypass valve
V3 High vacuum valve
V4 Vent valve
P1 Vacuum sensor roughing pump
P2 Vacuum sensor diffusion pump
P3 Fore vacuum sensor vacuum chamber
P4 High vacuum sensor vacuum chamber
T Temperature sensor switch diffusion pump
DIF05deHSR (201605)