Betriebsmittelstand Kontrollieren; Betriebsmittel Nachfüllen - HSR DIF 501 Montageanleitung Und Bedienungsanleitung

8.1 Betriebsmittelstand
kontrollieren
Jede Diffusionspumpe hat, abhängig von den
Prozessbedingungen, einen Betriebsmittel-
verbrauch, welcher proportional zum
abgepumpten Gasstrom ist.
HINWEIS
Das Kontrollieren des
Betriebmittelstandes ist nur bei kalter
Diffusionspumpe möglich.
8.2 Betriebsmittel nachfüllen
Das Nachfüllen von Betriebsmittel sollte nur
erfolgen, wenn Prozesse gefahren werden, bei
denen der Anfall von betriebsmittelschädlichen
Produkten das Purifikationsvermögen der
Diffusionspumpe nicht überschreitet. Ansonsten
ist das Betriebsmittel auszuwechseln. Die
Diffusionspumpe ist bei einem Betriebsmittel-
wechsel immer zu reinigen.
Voraussetzungen:
 Diffusionspumpe ausgeschaltet
und auf Raumtemperatur abgekühlt.
 Vakuumsystem belüftet.
Vorgehen:
 Vorvakuumanschluss demontieren.
 Betriebsmittel einfüllen
 Vorvakuumanschluss wieder montieren.
HINWEIS
Mit der Betriebsmittel-Nachfüll-
vorrichtung PDZ101-Z (Option) wird
das Betriebsmittel ohne
Betriebsunterbruch der
Diffusionspumpe nachgefüllt.
32
( Seite 24)
( Seite 13).
PDA501-W / PDB501-W
8.1 Checking pump fluid level
Depending on the process conditions, each
diffusion pump has a pump fluid consumption
which is proportional to the pumped gas flow.
NOTICE
The pump fluid level can only be
checked when the diffusion pump is
cold.
Betriebsmittelfüllmenge:
Pump fluid filling level:
maximum 5000 cm
optimum 4000 cm
minimum 3000 cm
siehe Abschnitt 8.2
see section 8.2
8.2 Replenishing pump fluid
The pump fluid should only be replenished if
processes are performed in which the evolution
of products that impair the quality of the pump
fluid does not exceed the purification ability of the
diffusion pump. In all other cases, the pump fluid
should be changed. The diffusion pump should
always be cleaned when the pump fluid is
changed.
Preconditions:
 Diffusion pump switched off
cooled down to room temperature.
 Vacuum system vented.
Procedure:
 Detach the fore vacuum connection.
 Fill in pump fluid
( page
 Reestablish the fore vacuum connection.
NOTICE
Pump fluid replenishing device
PDZ101-Z (option) is used for
replenishing the pump fluid under
running conditions of the diffusion
pump.
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3
( page 24) and
13).
DIF05deHSR (201605)