Inhaltszusammenfassung für HSR DIF 501
- Seite 1 LI-9496 BALZERS www.hsr.li Diffusionspumpe / Diffusion Pump Typenschild PDA501-W PDB501-W DIF 501 DIF 501 C Montageanleitung / Betriebsanleitung Mounting instruction / Operating instruction DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
INHALT CONTENTS Produktidentifikation Product identification Gültigkeit Validity Bestimmungsgemässer Gebrauch Intended use Beschreibung Description Übersicht Overview Funktion Function Verwendung einer Diffusionspumpe in Using a diffusion pump in a einem Pumpsystem pump set Sicherheit Safety Zeichenerklärung Explanation of symbols Grundlegende Sicherheitsvermerke General safety information Verantwortung und Gewährleistung Liability and warranty Technische Daten... -
Seite 3: Gültigkeit
Produktidentifikation Product identification Im Verkehr mit HSR sind die Angaben des Please specify the information given on the Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb product nameplate in all communications with diese Angaben bitte hier ein: HSR. For convenient reference please copy that... -
Seite 4: Beschreibung
BESCHREIBUNG DESCRIPTION Übersicht Overview Baffle Cap Cooling water connections for baffle cap Kühlwasseranschlüsse für das Baffle Cap Hochvakuumanschluss High vacuum connection Kühlwasserkreislauf für das Cold Cap Cooling water circuit for cold cap Cold Cap Cooling water connections for cold cap Kühlwasseranschlüsse für das Cold Cap Cooling water connection for housing (return line) -
Seite 5: Funktion
Temperaturschutzschalter Thermostatic cut-out switch Der Temperaturschutzschalter (Option) meldet The thermostatic cut-out switch (option) signals ein Überhitzen der Diffusionspumpe an die any overheating of the diffusion pump to an externe Steuerung, die dadurch die Stromver- external system controller and allows it to cut off sorgung der Heizungen unterbrechen kann. -
Seite 6: Verwendung Einer Diffusionspumpe In Einem Pumpsystem
Thereby process gas molecules will diffuse into Dabei können Gasmoleküle in das Betriebsmittel the pump fluid. On the backhaul into the hineindiffundieren. Das Betriebsmittel durchläuft evaporating chamber the pump fluid passes auf dem Rücktransport in den Siederaum eine through a zone of elevated temperature, the so Zone erhöhter Temperatur, die Purifikationszone. -
Seite 7: Sicherheit
SICHERHEIT SAFETY Zeichenerklärung Explanation of symbols GEFAHR DANGER Bezeichnet eine unmittelbar drohende Indicates a hazardous situation which, Gefahr. Wenn die Information nicht if not avoided, will result in death or befolgt wird, wird Tod oder schwerste serious injury. Körperverletzung (Invalidität) die Folge sein. -
Seite 8: Grundlegende Sicherheitsvermerke
The end-user assumes the responsibility in verwendeten Prozessmedien liegt beim conjunction with the process media used. Betreiber. HSR übernimmt keine Verantwortung und HSR accepts no responsibility nor warranty if the Gewährleistung, falls der Betreiber oder user or third parties: Drittpersonen dieses Dokument missachten. -
Seite 9: Technische Daten
TECHNISCHE DATEN english page 10 PDA501-W PDB501-W DIF 501 DIF 501 C Hochvakuumanschluss Klammerflansch DN 500 ISO-K Vakuumanschlüsse Vorvakuumanschluss Klammerflansch DN 100 ISO-K Netzspannungen 3×400 / 3×230 VAC Netzversorgung Frequenz 50 … 60 Hz Leistungsaufnahme 7,2 kW (3 × 2,4 kW) Empfohlene Werte: Kühlwasser... -
Seite 10: Technical Data
TECHNICAL DATA PDA501-W PDB501-W DIF 501 DIF 501 C High vacuum flange: Clamping flange DN 500 ISO-K Vacuum connection Fore vacuum flange: Clamping flange DN 100 ISO-K Line voltage 3×400 / 3×230 VAC Main supply Frequency 50 … 60 Hz Power consumption 7,2 kW (3 ×... - Seite 11 Dimensions mm Abmessungen mm (PDA501-W and PDB501-W) (PDA501-W und PDB501-W) DN 500 ISO-K* DN 500 ISO-K* PDA501-W PDB501-W PDA501-W PDA501-W DN 100 ISO-K Hochvakuumanschluss High vacuum connection Vorvakuumanschluss Fore vacuum connection Elektrischer Anschluss Power connection Kühlwasseranschluss G 3/8" Cooling water connection G 3/8" Schauglas Sight glass Ohne Rille für Sprengring...
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Seite 12: Einbau
EINBAU INSTALLATION VORSICHT CAUTION Eine beschädigte Pumpe niemals Never install or connect a damaged einbauen oder anschliessen. pump. Bei weniger als 150 mm If there is less than 150 mm of Bodenfreiheit zwischen clearance between the bottom of Gehäuseboden und Unterlage sind the housing and the base plate, Isolationsplatten zum Dämmen der... -
Seite 13: Betriebsmittel Einfüllen
Kontrolle bei kalter oder heisser device the check can be done Pumpe durchgeführt werden. either in hot or cold state of the pump. Mineralöl Silikonöl Pentaphenyläther 66 A HSR 704EU HSR 705 Santovac 5 Bevorzugter Druckbereich 5×10 ...10 mbar ...10 mbar 10 ...10... - Seite 14 Betriebsmittelwechsel Pump fluid change Bei jedem Betriebsmittelwechsel muss die The diffusion pump must be cleaned whenever Diffusionspumpe gereinigt werden ( Seite 33). the pump fluid is changed ( page 33). Schutzdeckel Protective cover Schutzdeckel Protective cover Betriebsmittelfüllmenge: Pump fluid filling capacities: maximum 5000 cm optimum 4000 cm minimum 3000 cm...
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Seite 15: Vakuumanschluss Erstellen
Vakuumanschluss erstellen Establishing the vacuum connection Einbaulage: Mounting orientation: Die Diffusionspumpe muss unbedingt The diffusion pump must be installed senkrecht eingebaut werden. Wir empfehlen, die perpendicularly. We recommend to support the Diffusionspumpe an den angeschweissten diffusion pump using the optional brace support Muttern abzustützen (z.B. -
Seite 16: Vorvakuumanschluss
4.3.2 Vorvakuumanschluss 4.3.2 Fore vacuum connection Der Vorvakuumanschluss erfolgt mittels einer Fore vacuum connection is established via a Klammerflanschverbindung der Nennweite DN 160 ISO-K clamp flange fitting. DN 160 ISO-K. SW17 4 Stück Klammern, Bestellnummer: 212-225 (1 Satz mit 4 Klammern) 4 pieces clamps: Ordering number 212-225 (1 set of 4 clamps) DN 100 ISO-K... - Seite 17 Cooling water specifications HSR 03 1103_1_d HSR 03 1103_1_e Die ausführliche Spezifikation des Kühlwassers The detailed specification of the cooling water kann bei HSR bezogen werden. can be ordered from HSR. Anschluss Connection In die Vorläufe sind Absperrventile einzubauen;...
- Seite 18 Kühlwasserwächter (Option) Flow monitor (option) Absperrventil Shut-off valve Kühlwasserwächter (Option) Flow monitor (option) Dichtung Dichtung Seal Seal Seal Überwurfmutter Überwurfmutter Union nut Union nut Schlauchtülle Schlauchtülle Hose nozzle Hose nozzle PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)
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Seite 19: Elektrischen Anschluss Erstellen
( page Netzspannung mit den Angaben auf dem with the ratings on the nameplate ( Seite 3). Falls Sie eine andere If your line voltage differs please contact HSR. Typenschild Netzspannung haben, nehmen Sie bitte mit HSR Kontakt auf. Vorgehen: Procedure: ... - Seite 20 Je nach Netzspannung (3×400 VAC / Depending on the line voltage (3×400 VAC / 3×230 VAC) müssen die Drahtbrücken 3×230 VAC) the jumper wires must be angeschlossen sein. connected. 3 x 400 VAC, Sternschaltung (ab Werk) 3 x 400 VAC, star connection (factory setting 3P+N+PE L3 N PE 50/60HZ...
- Seite 21 Zugentlastungsbride festziehen. Tighten the cable strain relief. Gr. 4 Size 4 Elektrische Anschlussdose schliessen. Close the terminal box. Gr. 5 Size 5 Netzzuleitung an die Steuerung anschliessen. Connect the mains cable to the control system.
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Seite 22: Montage Temperaturschutzschalter
Montage Temperatur- Installing the thermostatic schutzschalter Cut-Out switch Der Temperaturschutzschalter wird mit zwei The thermostatic cut-out switch is fastened to the M4-Schrauben am grösseren Befestigungssockel bigger mounting base using two M4 screws. angeschraubt. Temperaturschutzschalter (Option) Thermostatic cut-out switch (option) Montage Temperatur- Installing the temperature melder sensor switch... -
Seite 23: Betrieb
BETRIEB OPERATION Erste Inbetriebnahme Initial start up VORSICHT CAUTION Kontakt mit dem heissen unteren Do not touch the hot lover housing Gehäuseteil vermeiden. part. VORSICHT CAUTION Leicht entzündbare Stoffe in der Remove any easily ignitable Nähe der Diffusionspumpe material closed by the diffusion entfernen. -
Seite 24: Diffusionspumpe Einschalten
Diffusionspumpe einschalten Switching on the diffusion pump Bedingungen für eine betriebsbereite Conditions for an operational diffusion pump Diffusionspumpe zusammen mit einem together with a pump set: Pumpsystem: Während der Anheizzeit sollte das During heating-up time, the high vacuum valve Hochvakuumventil geschlossen sein. must be closed. -
Seite 25: Stillstand
Ausschalten Switching off Switch off the heater. Heizung ausschalten. Close high vacuum valve. Hochvakuumventil schliessen. Abkühlzeit abwarten (Seite Wait for the pump to cool down (Seite 10). Close fore vacuum valve. Vorvakuumventil schliessen. After expiration of the cooling time, switch off Nach Ablauf der Abkühlzeit Wasserkühlungen the water cooling (close the shut-off valves). -
Seite 26: Ausbau
AUSBAU DISASSEMBLING VORSICHT CAUTION Informieren Sie sich vor Aufnahme Before starting any works, find out der Arbeiten über eine eventuelle whether any parts are contaminated. Kontamination. Beim Umgang mit Adhere to the relevant regulations and kontaminierten Teilen die einschlä- take the necessary precautions when gigen Vorschriften beachten und die handling contaminated parts. -
Seite 27: Elektrischen Anschluss Unterbrechen
Elektrischen Anschluss Disconnecting electrical unterbrechen power HINWEIS NOTICE Diese Arbeiten dürfen nur durch This works may only be carried out by Personen ausgeführt werden, die eine persons who have suitable technical geeignete fachtechnische Ausbildung training and/or the necessary besitzen und/oder über die nötige experience. -
Seite 28: Vakuumanschlüsse Demontieren
Vakuumanschlüsse Detaching the vacuum demontieren connections Vor- und Hochvakuumanschluss demontieren Detach the fore and high vacuum connections und Schutzdeckel aufsetzen. and install the protective lids. Schutzdeckel Prfotective lid Schutzdeckel Prfotective lid PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605) -
Seite 29: Störungsbehebung
STÖRUNGSBEHEBUNG Störungsbehebung Heizung Saugvermö- Enddruck funktioniert gen schlecht schlecht nicht zu wenig oder Betriebs- zu wenig oder Leck im Temperatur- Heizplatte zu viel mittel zu warmes Vakuum- schutzschalter defekt Betriebsmittel verschmutzt Kühlwasser system ausgelöst Kühlwasser- schlechte Leck Heizungs- bedarf beheben Seite 17 auflage Betriebsmittel-... -
Seite 30: Temperaturschutzschalter (Option) Zurücksetzen
Temperaturschutzschalter Resetting the thermostatic (Option) zurücksetzen Cut-Out switch (option) Wurde die Heizung durch den If the heater has been switched off by the Temperaturschutzschalter (Option) thermostatic cut-out switch (option) proceed as ausgeschaltet, ist wie folgt vorzugehen: follows: Jegliche externe Wärmestrahlung auf den ... -
Seite 31: Instandhaltung / Instandsetzung
INSTANDHALTUNG / MAINTENANCE / REPAIR INSTANDSETZUNG WARNUNG WARNING Informieren Sie sich vor Aufnahme Before starting any work, find out der Arbeiten über eine eventuelle whether any parts are contaminated. Kontamination. Beim Umgang mit Adhere to the relevant regulations and kontaminierten Teilen die einschlä- take the necessary precautions when gigen Vorschriften beachten und die handling contaminated parts. -
Seite 32: Betriebsmittelstand Kontrollieren
Betriebsmittelstand Checking pump fluid level kontrollieren Jede Diffusionspumpe hat, abhängig von den Depending on the process conditions, each Prozessbedingungen, einen Betriebsmittel- diffusion pump has a pump fluid consumption verbrauch, welcher proportional zum which is proportional to the pumped gas flow. abgepumpten Gasstrom ist. -
Seite 33: Diffusionspumpe Reinigen / Düsensatz Ersetzen
Diffusionspumpe reinigen / Cleaning the diffusion pump / Düsensatz ersetzen Replacing the jet system Da die Reinigungsintervalle stark vom jeweiligen As the cleaning intervals strongly depend on the Vakuumprozess abhängig sind, können keine vacuum process, no generally valid maintenance allgemein gültigen Wartungspläne erstellt schedules can be prepared. - Seite 34 Cold Cap bzw. Baffle Cap entfernen. Remove the cold cap or the baffle cap. Cold Cap Baffle Cap Stützscheibe Support washer PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)
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Seite 35: Düsensatz Ausbauen
8.3.2 Düsensatz ausbauen 8.3.2 Disassembling of jet system HINWEIS NOTICE Die Aluminiumteile müssen mit Handle the jet system very carefully. besonderer Sorgfalt behandelt werden. DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W... - Seite 36 HINWEIS NOTICE Bei der Montage besonders zu Be careful when reinstalling the jet beachten: system: Rohransatz Rohransatz Pipe socket Messrohr Messrohr Tube for pump fluid sensor Schnitt A-A Die Aussparung am Rohransatz muss über dem Messrohr liegen! Section A-A The opening in the pipe socket must be positioned exactly above the sensor tube! Messrohr...
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Seite 37: Vorvakuumbaffle Ausbauen
8.3.3 Vorvakuumbaffle ausbauen 8.3.3 Removing the fore vacuum baffle Standardausführung Standard version (nur oberer Teil) (only upper part) Vorvakuumbaffle herausziehen. Pull out the fore vacuum baffle unit. Inklusive Vorvakuumbaffle unten (Option) Including fore vacuum baffle lower part (option) ... -
Seite 38: Dichtungen Entfernen
Vorvakuumbaffle unten durch das Remove the lower obstruction device from the Gehäuseinnere entfernen. inside of the diffusion pump. 8.3.4 Dichtungen entfernen 8.3.4 Removing seals O-Ringe und Federringdichtung gemäss Remove the O-rings and lock washer seal Beschreibung auf Seite 49 entfernen. -
Seite 39: Heizplatte Ersetzen
Heizplatte ersetzen Replacing a heating plate HINWEIS NOTICE Diese Arbeiten dürfen nur durch This works may only be carried out by Personen ausgeführt werden, die eine persons who have suitable technical geeignete fachtechnische Ausbildung training and/or the necessary besitzen und/oder über die nötige experience. - Seite 40 Elektrische Anschlussdose öffnen. Open the terminal box. Defekte Heizplatte mit Hilfe der Schemas Locate the defective heating plate using the ermitteln. diagram below. Im folgenden wird angenommen, dass die In the following example it is assumed that the Heizplatte zwischen den Anschlussklemmen 4 heating plate between terminals 4 and 5 is und 5 defekt ist.
- Seite 41 Adern aus dem Metallschlauch ziehen. Pull the wires out of the metal tube. Isolationsplatte entfernen. Remove insulating plate. 5 mm Anpressplatte entfernen. Remove pressure plate. Anzugsdrehmoment 80 Nm Tightening torque 80 Nm DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
- Seite 42 Heizplatte entfernen. Remove heating plate. Bestell Nr. Order No. BP 336 536-T BP 336 536-T 3 Stück 3 pieces Eingetrocknete Heizplatten-Kontaktpaste Remove encrusted heater contact paste. entfernen. VORSICHT CAUTION Neue Heizplatte und Anpressplatte Make sure the new heating plate and müssen plan aufliegen.
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Seite 43: Optionen
OPTIONEN OPTIONS Bestellen Sie Optionen immer mit: When ordering options, always indicate: Beschreibung und Bestellnummer. Description and order number. Kühlwasserwächter Cooling water flow monitor Der Kühlwasserwächter überwacht den The flow monitor protects the diffusion pump Kühlwasserdurchfluss und schützt somit die from overheating by monitoring the flow rate of Diffusionspumpe vor Überhitzung. -
Seite 44: Temperaturmelder
Temperaturmelder Temperature sensor switch Der Temperaturmelder meldet der The temperature sensor switch signals to the Pumpstandsteuerung, dass die Diffusionspumpe pump set controller that the diffusion pump has die benötigte Betriebstemperatur erreicht hat. attained its normal operating temperature. Bestellnummer Ordering number 216-056 216-056 Übersicht der Baffles... -
Seite 45: Kombibaffle
9.4.2 Kombibaffle 9.4.2 Combination baffle Bestell-Nr. PBC500-X 260-285 Order number PBC500-X 260-285 Bestell-Nr. PCF145-Z 260-420 Order number PCF145-Z 260-420 Bestell-Nr. PCF245-Z 260-421 Order number PCF245-Z 260-421 benötigt zusätzliches Kühlwasser needs additional cooling water Mögliche Kühlarten mit Kombibaffle Possible Cooling methods with combination baffle nur Wasser Water only... - Seite 46 mit Polycold with Polycold Am Kreislauf der Kühlmaschine kann auch ein Polycold system on cooling cycle of refrigerator Polycold an Stelle der Kühlmaschine als Ersatz replaces liquid Nitrogen supply and refrigerator. für flüssigen Stickstoff eingesetzt werden. Polycold Kombibaffle Combination baffle Kühlwasser cooling water Wasserventil /...
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Seite 47: Betriebsmittel-Nachfüllvorrichtung
Betriebsmittel-Nachfüllvor- Pump fluid replenishing richtung device Die Betriebsmittel-Nachfüllvorrichtung PDZ101-Z The pump fluid replenishing device PDZ101-Z is dient der Kontrolle des Betriebmittelstandes und used to check the pump fluid level and to dem Nachfüllen des Betriebsmittels ohne replenish the pump fluid without switching off the Betriebsunterbruch der Diffusionspumpe. -
Seite 48: Verbrauchsmaterial
VERBRAUCHSMATERIAL CONSUMABLES Bestellen Sie Verbrauchsmaterial immer mit: When ordering consumables, always indicate: Beschreibung und Bestellnummer description and ordering number 10.1 Betriebsmittel 10.1 Pump fluids Mineralöl 66 A Liefermenge Bestellnummer Mineral oil 66 A Container size Ordering number 500 cm3 260-390 500 cm3 260-390... -
Seite 49: Dichtungssatz
10.2 Dichtungssatz 10.2 Set of seals Bestellnummer BN 841 076-T Ordering number BN 841 076-T bestehend aus: consisting of: O-Ring, FPM, ø25,07 × 2,62 O-Ring, FPM, AN 469, ø 506,86 × 7 O-ring, FPM, ø25,07 × 2,62 O-ring, FPM, AN 469, ø 506,86 × 7 O-Ring, FPM, AN 347, ø... - Seite 50 ERSATZTEILE / SPARE PARTS PDA/PDB 501-W / DIF 501/501 C Pos. Bestell-Nr. Bemerkungen Beschreibung Item Code-No. Remarks Description Dichtungssatz / Set of seals 203-000 O-Ring / o-ring, FPM75, 107,2 x 5,34 O-Ring / o-ring, FPM75, 506,86 x 7 O-Ring / o-ring, FPM75, 25,07 x 2,62...
- Seite 51 62 61 Baffle Cap Cold Cap 62 61 Anschluss für Nachfüllvorrichtung Connection to refilling device 51 12 DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
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Seite 52: Pumpe Zurücksenden
Such substances must be disposed of in Vorschriften zu entsorgen oder können ab 20 kg accordance with the relevant local regulations. bei HSR regeneriert werden. Quantities bigger than 20 kg can be sent to HSR for recycling. PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605) -
Seite 53: Kontaminationserklärung
Firmenstempel Dieses Formular kann von unserer Verteiler: Dieses Formular kann von unserer Webseite: Webseite heruntergeladen werden. www.hsr.li heruntergeladen werden Original an den Adressaten - 1 Kopie zu den Begleitpapieren - 1 Kopie für den Absender DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W... -
Seite 54: Declaration Of Contamination
This form can be downloaded This form can be downloaded Copies: from our website: www.hsr.li from our website. Original to manufacturer or representative - 1 copy attach to consignment packaging - 1 copy for file of sender PDA501-W / PDB501-W... - Seite 55 DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
- Seite 56 Vakuumtechnik Postfach 109 Föhrenweg 16 LI-9496 Balzers Tel +423 388 09 90 Fax +423 388 09 99 info@hsr.li www.hsr.li DI F 0 5 d e HSR 2 0 1 6 0 5...