Vorvakuumanschluss; Kühlwasseranschluss Erstellen; Cooling Water Connection - HSR DIF 501 Montageanleitung Und Bedienungsanleitung

4.3.2

Vorvakuumanschluss

Der Vorvakuumanschluss erfolgt mittels einer
Klammerflanschverbindung der Nennweite
DN 160 ISO-K.
4 Stück Klammern, Bestellnummer: 212-225
4 pieces clamps: Ordering number 212-225
4.4 Kühlwasseranschluss
erstellen
Um eine optimale Kühlung der Diffusionspumpe
zu erreichen, sind folgende Parameter
massgebend:
 Erforderlicher Kühlwasserdruck im Vorlauf.
 Kühlwassertemperatur im Rücklauf.
Kühlwasserkreisläufe
Die Diffusionspumpe hat zwei getrennte
Kühlwasserkreisläufe:
Kühlwasserkreislauf für das

Cold Cap bzw. das Baffle Cap
Cooling water circuit for
cold cap or baffle cap
16
SW17
(1 Satz mit 4 Klammern)
(1 set of 4 clamps)
DN 100 ISO-K
O-Ring, FPM, ø107,2 × 5,34
(im Lieferumfang enthalten)
O-ring, FPM, ø107,2 × 5,34
(included in delivery)
PDA501-W / PDB501-W
4.3.2 Fore vacuum connection
Fore vacuum connection is established via a
DN 160 ISO-K clamp flange fitting.
4.4

Cooling water connection

To achieve an optimized cooling of the diffusion
pump, the following parameters are relevant:
 Required cooling water pressure in the feeder
line
 Cooling water temperature in the return line
Cooling water circuits
The diffusion pump consists of two separate
cooling water circuits:
Kühlwasserkreislauf für das Gehäuse

Cooling water circuit for pump housing
Anschluss für den Rücklauf
Return line connection
Anschluss für den Vorlauf
Feeder line connection
DIF05deHSR (201605)