Diffusionspumpe Reinigen / Düsensatz Ersetzen; Cold Cap Bzw. Baffle Cap Demontieren - HSR DIF 501 Montageanleitung Und Bedienungsanleitung

8.3 Diffusionspumpe reinigen /
Düsensatz ersetzen
Da die Reinigungsintervalle stark vom jeweiligen
Vakuumprozess abhängig sind, können keine
allgemein gültigen Wartungspläne erstellt
werden.
Bei sauberen Vakuumbedingungen und bei
Arbeitsdrücken <10
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Diffusionspumpen meistens mehrere 1000
Stunden ohne Reinigung betrieben werden.
Wir empfehlen, bei der Reinigung der
Diffusionspumpe auch die dazugehörigen
Bauteile (Ventile, Leitungen usw.) zu reinigen.
Voraussetzung:
 Diffusionspumpe ausgebaut und
Betriebsmittel abgelassen
 Schutzdeckel am Hoch- und
Vorvakuumstutzen entfernt.
8.3.1 Cold Cap bzw. Baffle Cap
demontieren
 Kühlwasseranschlüsse demontieren.
Winkelstück
Sechskantmuttern und Unterlagscheiben

entfernen.
Unterlagscheibe
Sechskantmutter
DIF05deHSR (201605)
mbar können
( Seite 26).
Dichtung
Seal
Elbow
Washer
Hex nut
PDA501-W / PDB501-W
8.3 Cleaning the diffusion pump /
Replacing the jet system
As the cleaning intervals strongly depend on the
vacuum process, no generally valid maintenance
schedules can be prepared.
Under clean vacuum conditions and at operating
pressures of <10 mbar, diffusion pumps can be
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operated for several 1000 hours without cleaning.
If the diffusion pump is cleaned, the related
components (valves, lines, etc.) should also be
cleaned.
Preconditions:
 Pump fluid drained and diffusion pump
disassembled ( page
 Protective lids removed from fore and high
vacuum ports.
8.3.1 Removing Cold Cap or
Baffle Cap
 Detach the cooling water connections.
 Remove the hex nuts and washers.
26).
gegenhalten
counterhold
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