Abschalten; Belüften - LEYBOLD TURBOVAC 1100 C Gebrauchsanleitung

Betrieb
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Abb. 8 Druckanstiegskurve

3.3 Abschalten

Die TURBOVAC an der TURBOTRONIK abschalten.
Einzelheiten siehe Gebrauchsanleitung zur TUR-
BOTRONIK.
Die Vorvakuumpumpe abschalten.
Die TURBOVAC vor dem Stillstand belüften und das
Sperrgas ausschalten; siehe Abschnitt 3.4.
Unmittelbar nach dem Abschalten der TURBOVAC die
Kühlwasserzufuhr absperren, um Kondensat-Bildung in
der Pumpe zu vermeiden.
3.4 Belüften
Zu geeigneten Gasen siehe Abschnitt 2. 5.
Belüftungsweg
Man kann die Turbo-Molekularpumpe über 3 verschie-
dene Wege belüften.
Bei Prozessen, bei denen Sperrgas erforderlich ist,
muss die Pumpe beim Abschalten über das Sperrgas-
und Belüftungsventil belüftet werden.
Bei einer zusätzlichen Belüftung der Vakuumkammer
muss vor dem Öffnen des Kammerventils die Belüf-
tungsfunktion des Sperrgas- und Belüftungsventils
geöffnet sein. Dadurch ist sichergestellt, dass im Bereich
der Kugellager ein höherer Druck herrscht als im übrigen
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Zeit
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Vakuumbereich. Somit wird vermieden, dass Partikel,
Stäube oder aggressive Gase durch die Lager in den
noch nicht belüfteten Motorraum der Pumpe gedrückt
werden.
Eine schonende Belüftung der Pumpe ist von der Hoch-
vakuumseite möglich, da hier die geringsten Lagerkräf-
te auftreten. Dabei darf sich kein freier Gasstrahl auf den
Rotor bilden, um zusätzliche Kräfte auf den Rotor zu ver-
meiden.
Bei einer Belüftung durch den Vorvakuumanschluss
der Pumpe dürfen weder Öl noch Partikel aus dem Vor-
vakuumbereich mit dem Gasstrom in die Pumpe trans-
portiert werden.
Druckanstiegsgeschwindigkeit
Jede Turbo-Molekularpumpe kann bei voller Drehzahl
belüftet werden.
Der Druck darf nicht schneller ansteigen als in der
Druckanstiegskurve festgelegt.
Die Pumpe muss deutlich langsamer belüftet werden,
wenn die Gefahr besteht, dass Partikel aus dem Prozess
in die Pumpe gelangen können. Es dürfen beim Belüften
nur laminare Strömungen in der Vakuumkammer und in
der Turbo-Molekularpumpe auftreten.
Die Druckanstiegsgeschwindigkeit hat beim Belüften der
laufenden Pumpe den größten Einfluss auf die Bean-
spruchung des Rotor-Stator-Paketes und der Lager. Je
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GA 05.128/7 - 05/2002