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Stillsetzen Der Turbopumpe - Pfeiffer tpu2200 Betriebsanleitung

Turbomolekularpumpe
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– die Vorvakuumpumpe und das
TZK 400 bei Einsatz eines Pump-
stand-Steuergerätes TCS 130 ab-
geschaltet,
– die Luftkühlung abgeschaltet,
– das Flutventil TSF 012 verzögert
geöffnet und die Turbopumpe ge-
flutet. (Ist keine automatische Flut-
einrichtung installiert, so muß die
Turbopumpe über den Flutanschluß
von Hand geflutet werden –
Abschnitt 4.5),
– die Heizung der Turbopumpe aus-
geschaltet.
Bei Kühlwasser vom Netz: Zu-
fluß absperren, um Kondensat an
den gekühlten Flächen zu ver-
meiden.

5.8 Stillsetzen der Turbopumpe

Zum Stillsetzen der Turbopumpe für
länger als ein Jahr ist folgendes zu
beachten:
– Bei der Turbopumpe ist ein Betriebs-
mittelwechsel nach 6.1 durchzu-
führen.
– Hochvakuumflansch der Turbo-
pumpe verschließen und Pumpe
über Vorvakuumflansch eva-
kuieren.
– Turbopumpe mit trockener Luft
oder mit Stickstoff N
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– Vorvakuumanschluß verschließen.
– In Räumen mit feuchter oder aggres-
siver Atmosphäre ist die Turbo-
pumpe zusammen mit einem
Beutel Trockenmittel, z. B. Silicagel,
in einen Plastikbeutel einzu-
schweißen.
– The backing pump and the TZK 400
if Pumping Station Control Unit
TCS 130 is in operation are swit-
ched off,
– air cooling is switched off,
– venting Valve TSF 012 opens
delayed and the turbo pump is
vented. (If no automatic venting
unit is fitted, the turbo pump must
be vented†manually via the venting
connection – Section4.5),
– turbo pump heating is switched off.
If cooling water is being drawn from
the mains, block inflow to prevent
condensation on cooled surfaces.
5.8 Shutting down the Turbo Pump
When shutting down the turbo pump
for longer than a year please observe
the following:
– Change the pump fluid in the turbo-
pump as per Section 6.1.
– Close high vacuum flange on the tur-
bopump and evacuate pump via the
fore-vacuum flange.
– Vent turbo pump with nitrogen N
dry air.
– Close fore-vacuum connection.
fluten.
– In rooms with moist or aggressive
atmospheres, the turbo pump must
be†sealed in a plastic bag together
with a bag of dessicant, e. g silica-
gel.
– La mise à l'arrêt de la pompe de
vide primaire et de TZK 400 en cas
d'utilisation d'un appareil de com-
mande de groupe de pompage
TCS 130,
– La mise à l'arrêt du refroidissement
par air,
– L'ouverture retardée de la soupape
de remise à l'air TSF 012 et la
pompe turbo sera remise à l'air.
(Si aucun dispositif automatique de
remise à l'air n'est installé, la
pompe turbo devra être remise à
l'air manuellement par le raccord de
remise à l'air – voir chapitre 4.5),
– La mise à l'arrêt du chauffage de la
pompe turbo.
Pour l'eau de refroidissement venant
du réseau: bloquer le débit afin d'évi-
ter la condensation sur les surfaces
refroidies.
5.8 Immobilisation de la pompe turbo
Afin d'assurer l'immobilisation de la
pompe turbo pour une période de
plus d'un an, veuillez observer les
points suivants:
– Effectuer un changement de fluide
moteur suivant 6.1.
– Obturer la bride de vide élevé de l
a pompe turbo et évacuer ensuite
or
la pompe par la bride de vide pri-
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maire.
– Remise à l'air de la pompe turbo
après l'évacuation avec N
l'air sec;
– Fermer le raccord de vide primaire.
– Dans des endroits avec de l'humi-
dité ou une atmosphère agressive,
la pompe turbo devra être protégée
par une enveloppe de plastique
scellée dans laquelle on placera un
agent siccatif par ex. silicagel.
ou de
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