Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer tpu2200
- Seite 1 Betriebsanleitung Operating Instructions TPH 2200 TPU 2200 Turbomolekularpumpe Turbomolecular Pump PM 800 102 BN/F (9903)
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Contents Table des matières Allgemeines General Généralités Wichtige Hinweise Important Information Indications importantes Sicherheitsinstruktionen Safety Instructions Instructions de sécurité 1.2.1 Sicherheitshinweise zum 1.2.1 Working with Turbomolecular 1.2.1 Instructions de sécurité pour le Arbeiten mit der Turbomoleku- Pumps; Safety Information travail avec la pompe larpumpe Other Information... - Seite 3 Betrieb mit TCP 5000 Operations with the TCP 5000 Fonctionnement avec Allgemeine Ausgaben General Notes TCP 5000 Elektrischer Anschluß Electrical Connections Indications générales Inbetriebnahme der Pumpe Starting the Pump for the first Branchement électrique Überwachungsschaltung Time Mise en marche de la pompe Monitoring Switching Circuits de contrôle et de sur- Service-Hinweis...
- Seite 4 Notizen / Notes...
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Seite 5: Allgemeines
Betriebsanleitung Operating Instructions Instructions de service für pour Turbomolekularpumpen Turbomolecular Pumps les pompes turbomoléculaires TPH/TPU 2200 TPH/TPU 2200 TPH/TPU 2200 1 Allgemeines 1 General 1 Généralités 1.1 Wichtige Hinweise 1.1 Important Information 1.1 Indications importantes Prüfen Sie sofort nach dem Aus- Please check immediately after A la réception de l’envoi, s’assurer au... -
Seite 6: Sicherheitsinstruktionen
– Sie haben die Möglichkeit, die – You can have the units decontami- – Prière de n’utiliser à cet effet que Geräte durch uns dekontaminieren nated by us (excepted are units with le formulaire ci-joint. zu lassen (ausgenommen sind radioactive contamination). In this –... -
Seite 7: Sicherheitshinweise Zum Arbeiten Mit Der Turbomoleku- Larpumpe
Lage sein, Gefahren zu erkennen – Any use by unauthorized personnel – L’utilisation par du personnel non und ihnen entgegen zu wirken. or careless handling may increase autorisé ou un maniement impru- – Die Anwendung durch nichtautori- the potential danger. dent peuvent accroître le danger siertes Personal oder eine unvor- –... -
Seite 8: Sonstige Hinweise
Fig. 1 TPH 2200 mit Wasserkühlung TPH 2200 with water cooling TPH 2200 avec refroidissement par eau 1 Hochvakuumflansch 1 High vacuum flange 1 Bride de vide élevé 2 Vorvakuumflansch 2 Fore-vacuum flange 2 Bride de vide primaire 3 Kühlwasseranschluß 3 Cooling water connection 3 Raccord de l’eau de refroidissement X8 Anschluß... -
Seite 9: Vorvakuumpumpen
Antriebs oder des Pumpengehäuses missibly high, the drive power is – La TCP règle l’accélération de la wird die Antriebsleistung bis auf reduced to zero. pompe jusqu’à la vitesse de rotation Null zurückgeregelt. nominale automatiquement. – Les pompes sont thermiquement protégées contre les températures ambiantes trop élevées. -
Seite 10: Technische Daten
3 Technische Daten 3 Technical Data 3 Fiche technique Turbomolekularpumpe Turbomolecular pump Pompe turbomoléculaire mit Klammerflansch with clamping flange avec bride à griffes TPH 2200 CF-Flansch CF-flange bride CF TPU 2200 Anschlußnennweite Connection, nominal diameter Diamètre nominal des raccords Eingang Inlet Entrée DN 250 ISO-K... -
Seite 11: Maßbild
3.1 Maßbild 3.1 Dimensions 3.1 Encombrements Fig. 3 1 TPH/TPU 2200 HV-Flansch oben 1 TPH/TPU 2200 HV flange above 1 TPH/TPU 2200 Bride vide élevé en haut 2 TPH/TPU 2200 S HV-Flansch seitlich 2 TPH/TPU 2200 S HV flange aside 2 TPH/TPU 2200 S Bride vide élevé... -
Seite 12: Enddruck
Depending on the backing pump Les valeurs de pression atteintes avec nach verwendetem Vorpumpensystem system, final pressure values for la pompe turbo PFEIFFER, suivant le bei folgenden Werten: PFEIFFER turbopumps are as follows; système de pompes primaires utilisé, sont les suivantes:... -
Seite 13: Installation
4 Installation 4 Installation 4 Installation – Die TPH 2200 und TPU 2200 muß – Both TPH and TPU 2200s must be – Les TPH 2200 et TPU 2200 doivent auf der Standfläche verankert wer- anchored to the surface. être ancrées sur la surface de pose. den. -
Seite 14: Vorvakuumanschluß
9. Les autres composants sont Weitere Bauteile im PFEIFFER-Kata- tion 9, “Accessories”. Further com- présentés dans le catalogue- log “Komponenten für die Vakuum- ponents are listed in the PFEIFFER PFEIFFER “Composants pour la technik”. catalogue “Components for vacuum technique de vide”. - Seite 15 – Vor- und Rücklauf des Kühlwassers – Cooling water fore and return lines – Les circuits de flux et de reflux de können an den Anschlüssen 3 be- can be connected to connections l’eau de refroidissement sont à rac- liebig angeschlossen werden. 3 as required.
- Seite 16 Um Korrosionsschäden zu vermeiden, To avoid corrosion damages the follo- Afin d’éviter les dommages provenant sind folgende Anforderungen an das wing requirements for the cooling de la corrosion, les caractéristiques à Kühlwasser einzuhalten: water must be observed: l’eau de refroidissement suivantes seront exigées: Wasser filtriert, mechanisch rein, Water filtered, mechanically clean,...
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Seite 17: Luftkühlung
4.4.2 Luftkühlung 4.4.2 Air Cooling 4.4.2 Refroidissement par air – Die wassergekühlte Pumpe kann auf – A water cooled pump can be con- – La pompe turbo refroidie par eau Luftkühlung umgestellt werden. verted for air cooling. peut être transformée pour le re- –... - Seite 18 Fig. 8 Fig. 9...
- Seite 19 Fig. 10 Fig. 8, Fig. 9, Fig. 10 3 Kühlwasseranschluß 3 Cooling water connection 3 Raccordement d’eau de refroidissement 35 Schraube 35 Screw 35 Vis 36 Kühlgehäuse links 36 Cooling housing, left 36 Boîtier de refroidissement gauche 37 Kühlgehäuse rechts 37 Cooling housing, right 37 Boîtier de refroidissement droite 38 Klemmenprint...
- Seite 20 – Bei Wasserkühlung ist eine Brücke 38 should be bridged. For air coo- nes 6 et 7 sur le PCB aux bornes 38. zwischen Klemme 6 und 7 an Klem- ling this bridge must be removed. Ce pontage doit être enlevé pour un menprint 38.
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Seite 21: Fluten Der Turbopumpe
4.5 Fluten der Turbopumpe 4.5 Venting the Turbo Pump 4.5 Remise à l’air de la pompe turbo Zum Fluten der Turbopumpe können The turbopump can be vented by Pour la remise à l’air de la pompe hand- oder elektrisch betätigte Ventile manually or electrically activated val- turbo des soupapes manuelles ou eingesetzt werden. -
Seite 22: Elektrischer Anschluß
Fig. 12 6 Flutanschluß Turbopumpe 6 Venting connection, turbopump 6 Raccordement de remise à l’air de la pompe 60 Flutsteuergerät TCF 103 oder Ventilsteuergerät 60 Venting Control Unit TCF 103 or Valve Control turbo TCV 103 Unit TCV 103 60 Appareil de commande de remise à l’air TCF 61 Flutventil TVF 012 61 Venting Valve TVF 012 103 ou appareil de commande de soupape... -
Seite 23: Betrieb
5 Betrieb 5 Operation 5 Fonctionnement 5.1 Betriebsmittel-Füllung 5.1 Filling in the Pump Fluid 5.1 Remplissage de fluide moteur Die Pumpen werden für den Betrieb The pumps are designed to operate Les pompes devront être utilisées mit Betriebsmittel TL 011 oder F3 with either pump fluid TL 011 or F3 avec du fluide moteur TL 011 ou F3 gefertigt (siehe Typenschild). -
Seite 24: Überwachungsschaltung
– Die Hochlaufzeit bis zum Drehzahl- – The run-up time up to the rotation – La phase d’accélération jusqu’au schaltpunkt ist abhängig von der speed switch-point depends on the point de commutation de la vitesse Rezipientengröße. size of the vacuum chamber. de rotation est dépendante de la –... -
Seite 25: Betriebsverhalten Mit Gaslast
Kühlwasserüberwachung (Option) Water cooling monitoring (optional) Contrôle de l’eau de refroidissement Die Überwachung des Kühlwasser- Cooling water flow monitoring with (Option) flusses mit Kühlwasserwächter the Cooling Water Monitor TCW 002 Le contrôle du débit d’eau de refro- TCW 002 (siehe 9 Zubehör) ist nur in (see Section 9, Accessories) is only idissement avec le contrôleur d’eau Verbindung mit dem Pumpstandsteu-... -
Seite 26: Heizen Der Turbopumpe
5.5 Heizen der Turbopumpe 5.5 Turbo Pump Heating 5.5 Chauffage de la pompe turbo Die Heizung der Turbopumpe wird Turbo pump heating is switched Le chauffage de la pompe turbo sera durch den Schalter S2 an der TCP on and off via switch S2 on the mis en marche ou mis à... -
Seite 27: Stillsetzen Der Turbopumpe
– die Vorvakuumpumpe und das – The backing pump and the TZK 400 – La mise à l’arrêt de la pompe de TZK 400 bei Einsatz eines Pump- if Pumping Station Control Unit vide primaire et de TZK 400 en cas stand-Steuergerätes TCS 130 ab- TCS 130 is in operation are swit- d’utilisation d’un appareil de com-... -
Seite 28: Wartung
6 Wartung 6 Maintenance 6 Entretien Die Turbopumpe und die Antriebselek- The turbopump and the electronic La pompe turbo et l’électronique d’en- tronik sind weitgehend wartungsfrei. drive unit are largely maintenance free. traînement sont exemptes d’entretien. 6.1 Betriebsmittelwechsel 6.1 Changing the Pump Fluid 6.1 Changement du fluide moteur Fig. -
Seite 29: Reinigung Der Turbopumpe
Fig. 13 4 O-Ring 4 O-ring 4 Joint torique 10 O-Ring 10 O-ring 10 Joint torique 11 O-Ring 11 O-ring 11 Joint torique 22 Schauglas 22 Sight glass 22 Hublot 23 Betriebsmittel-Pumpe 23 Pump fluid pump 23 Pompe de fluide moteur 28 Betriebsmittel-Ablaßschraube 28 Pump fluid drain screw 28 Vis de vidange de fluide moteur... -
Seite 30: Cleaning In Fully Assembled
PFEIFFER representatives utiliser les formulaires ci-joints à cet gefügte Bestätigung. Die PFEIFFER- can advise you regarding the applica- effet. Les agences PFEIFFER sont Vertretungen sind über die einschlä- ble regulations and will assist you in informées au sujet des prescriptions gigen Vorschriften informiert und sind handling such cases. -
Seite 31: Prüfen Des Antriebsmotors
– Rest des Reinigungsmittels im – Repeat this procedure with fresh – Il faudra changer le produit de net- Kugelgehäuse über HV-Flansch cleaning agent at least three times toyage au moins 3 fois pour attein- ausgießen. Der noch in der Pumpe to ensure thorough cleaning. -
Seite 32: Thermoschalter
6.5 Bearing Change Ein Wechsel des motorseitigen Kugel- On the spot motor side ball bearing 6.5 Changement des paliers lagers ist vor Ort durch den PFEIFFER- changes can be carried out by Un changement des roulements à bil- Service möglich. - Seite 33 – Beide Kugellager 18 von der Pum- – Remove floater 34 from the boring. – Extraire les roulements à billes 18 penwelle 26 ziehen. – Clean all parts. de l’arbre de la pompe 26. – Verschlußschraube 80 heraus- – Examine strainer 81 and ball bear- –...
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Seite 34: Betrieb Mit Tcp 5000
7 Betrieb 7 Operations 7 Fonctionnement mit TCP 5000 with the TCP 5000 avec TCP 5000 7.1 Allgemeine Angaben 7.1 General Notes 7.1 Indications générales Je nach Pumpenkonfiguration ist Depending on the pump configura- Suivant la configuration de la pompe, der Betrieb mit TCP 5000 möglich. - Seite 35 7.4 Überwachungsschaltung 7.4 Monitoring Switching 7.4 Circuits de contrôle et de surveil- Betriebsmittel-Überwachung Pump fluid monitoring lance –´ Der Betriebsmittelfluß wird von den – The flow of pump fluid is monitored Contrôle du fluide moteur Schwimmern 34, Fig. 13 überwacht. by the floaters 34, Fig.
- Seite 36 Fig. 14 Rotorlager gegenüber Antriebsseite Rotor bearing opposite drive side Paliers de rotor en face Côté de l’entraînement Fig. 15 Rotorlager Antriebsseite und Betriebsmittel- Rotor bearing drive side and pump fluid pump Paliers de rotor côté entraînement et pompe de Pumpe zur Lagerschmierung for bearing lubrication fluide moteur pour lubrification de paliers...
- Seite 37 Fig. 14, Fig. 15 4O-Ring 4 O-ring 4 Joint torique 5 O-Ring 5 O-ring 5 Joint torique 10 O-Ring 10 O-ring 10 Joint torique 11 O-Ring 11 O-ring 11 Joint torique 12 Usitring 12 Usit ring 12 Joint usit 15 Kugellager 15 Ball bearing 15 Roulement à...
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Seite 38: Service-Hinweis
Verständigen Sie bitte bei auftreten- We request that you contact your local vente den Schwierigkeiten Ihren zuständi- PFEIFFER Service Center should pro- Si des difficultés se manifestent, veuil- gen PFEIFFER-Service. blems arise. lez informer les services PFEIFFER concernés. -
Seite 39: Accessories
9 Zubehör 9 Accessories 9 Accessoires Bestell-Nr./ Order Nr./ No de commande Bauteile zum Kühlen: Components for Cooling: Composants pour le refroidissement: Bausatz für Luftkühlung Assembly kit for air cooling Set de refroidissement par air 115/230 V, 50/60 Hz PM Z01 028 Kühlaggregat TZK 400 Cooling Unit TZK 400 Système de refroidissement TZK 400... -
Seite 40: Ersatzteile
10 Ersatzteile 10 Spare Parts 10 Pièces de rechange Achtung! Please note: Attention! Bei Ersatzteilanfrage bzw. Ersatzteil- When inquiring about or ordering Pour les commandes de pièces bestellung unbedingt Gerätetyp und spare parts, please indicate product détachées, il est indispensable de -nummer angeben. - Seite 42 Fig. 17...
- Seite 43 Ersatzteilliste/Spare parts list/Liste des pièces de rechange TPH 2200/TPU 2200 Luftkühlung/Air cooling/Système de refroidissement par air Fig. 18 Pos. Benennung/Description/Désignation Stück Item Pieces Pos. Pièces Satz Luftkühlung/Set of air cooling/Jeu de système 115 V/230 V, PM Z01 028 de refroidissement par air TPH 2200/TPU 2200 50/60 Hz Thermoschalter/Thermal circuit breaker/Interrupteur P 4780 502 TZ...
- Seite 44 Erklärung zur Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und Wenn die Reparatur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung bei nicht vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt.
- Seite 45 Declaration of Contamination of Vacuum Equipment and Components The repair and/or service of vacuum components will only be The manufacturer could refuse to accept any equipment carried out if a correctly completed declaration has been without a declaration. submitted. Non-completion will result in delay. This declaration can only be completed and signed by authorised and qualified staff: 1.
- Seite 46 Déclaration sur l´etat de contamination de matériel de technique du vide Notre service peut intervenir et s´occuper du matériel seule- Selon l´etat du matériel, nous nous réservons le droit de refu- ment si vous l´avez envoyé avec certificat précisement rem- ser la réparation dans notre usine.
- Seite 47 ➪ D D Pfeiffer Vacuum GmbH Herstellererklärung im Sinne folgender EU-Richtlinien: Emmeliusstr. 33 - Maschinen 89/392/EWG D-35614 Asslar - Elektromagnetische Verträglichkeit 89/336/EWG - Niederspannung 73/23/EWG Hiermit erklären wir, daß das unten aufgeführte Produkt zum Einbau in eine Maschine bestimmt ist und daß deren Inbetriebnahme so lange untersagt ist, bis festgestellt wurde, daß...
- Seite 48 ➪ S S Tillverkarens förklaring enligt följande EG-direktiv: - Maskindirektiv 89/392/EEC - Elektromagnetisk tolerans 89/336/EEC - Lågspänning 73/23/EEC Härmed förklarar vi, att den nedan nämnda produkten är avsedd för inmontering i en maskin och att denna maskin inte får tas i drift förrän det har konstaterats, att slutprodukten stämmer överens med EG’s direktiv 89/392/EEC, annex II B.
- Seite 49 Ergänzende Information zu den Betriebsanleitungen/ Supplementary Information For Operatring Instructions PM 800 102 BN; TPH/TPU 2200 PM 800 143 BN; TPH/TPU 2200 C Achtung! In den o.g. Betriebsanleitungen ist das Kapitel ”6.4. Prüfen des Antriebsmotors” wie folgt zu ändern: 6.4. Prüfen des Antiebsmotors Wichtig! Der Antriebsmotor der Turbopumpen kann mit Hallsonden oder mit Hall-ICs ausgestattet sein.
- Seite 50 Caution! The Section ”6.4. Checking the drive motor” in the above- mentioned operating instructions has been changed as followed: 6.4. Checking The Drive Motor Important: Turbopump drive motors can be fitted with Hall probes or Hall ICs. Hall probes Hall ICs Drive testing at 20 °C Resistances Drive testing at 20 °C...
- Seite 51 18th Floor, Chokchail Intíl Bldg. Korea Assistencia Técnica e Representação S/C Ltda. 690 Sukhumvit Road Rua Bernadino de Compos, 551 Pfeiffer Vacuum Korea Ltd., 3F Haein Building 453, Klongton, Klongtoey CEP 04620-002 São Paulo, SP - Brasil Dokok-Dong, Kang Nam-Ku, Seoul, 135-270 Bangkok 10110...