1 | Vorwort Vorwort Herzlichen Glückwunsch zum Ihrem Kauf Herzlichen Glückwunsch zum Kauf dieser Busch Vakuumpumpe. Eine aufmerksame Beobachtung der Anforderungen der verschiedenen Einsatzgebiete, Innovationen und ständige Weiterentwicklun- gen ermöglichen es Busch, weltweit moderne Vakuum- und Überdrucklösungen anzubieten. Die Betriebsanleitung enthält Informationen zu ●...
Angesaugtes Medium Kühlwasser Motor Klixon Booster WY 2000 C Beschreibung Einlass Auslass Öl Booster-Wälzkolben Kühlwasser Motor Klixon Verwendung Die COBRA DS Vakuumpumpen sind für den Einsatz in der Mikroelektronik und ähnlichen Industrien konzipiert. 12 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
NS 0070/0160 C (DP) und einer Booster-Vakuumpumpe WY 2000 C (MB). Die COMBI Vakuum- pumpen sind stromlinienförmig gestaltet. Bei den COBRA DS Vakuumpumpen handelt es sich um COBRA NS Schrauben-Vakuumpumpen mit Kühlwasser- und Stickstoffkreisläufen. Die COBRA NS Schrauben-Vakuumpumpen werden von wassergekühlten Motoren angetrieben.
● ein direkter Kühlwasserkreislauf im hinteren Lager (für besonders Kühler Betrieb, optional). HINWEIS Die COBRA DS Vakuumpumpen werden grundsätzlich mit Öl und Kühlflüssigkeit, jedoch ohne Kühlwasser in der Vakuumpumpe ausgeliefert. Vor der ersten Inbetriebnahme der Vakuum- pumpe den Ölstand und den Kühlflüssigkeitsstand kontrollieren. Sollte eines dieser Schmier- mittel fehlen, bitte einfüllen (siehe die verschiedenen Kapitel zum Einfüllen).
● MPS1: DP Strom, Drehzahl und MPS2: MB Strom, Drehzahl ● DGF: Stickstoffdurchfluss ● CWM: Kühlwasserdurchflussmenge in Motoren/Getriebe Siehe „Installations- und Wartungsanleitung, Busch SPS und Busch LCD (Nr. 0870758077)“. Ein-/Aus-Schalter Die Vakuumpumpe ist mit einem Schutzschalter ausgestattet. Die Start/Stopp-Funktion kann vor Ort über den LCD-Controller oder per Fernsteuerung durch die Produktionsmaschine ausgeführt wer-...
Die Wartungsanleitung muss beachtet und eingehalten werden. Diese Installations- und Wartungsanleitung muss vor der Verwendung der Vakuumpumpe gelesen und verstanden werden. Im Zweifelsfall wenden Sie sich an Ihre Busch Vertretung. Sicherheitshinweise Die Vakuumpumpe wurde in Übereinstimmung mit den neuesten technischen Standards und Si- cherheitsvorschriften ausgelegt und hergestellt.
HINWEIS ... weist auf hilfreiche Tipps und Empfehlungen sowie Informationen für einen effizienten und reibungslosen Betrieb hin. VORSICHT Das COBRA DS System umfasst Vorkehrungen für die sekundäre Eindämmung von austreten- den Flüssigkeiten wie Wasser und Öl. Sicherheitsaufkleber COBRA NS 0070 C Beschreibung Achtung! Heiße Oberfläche! Nicht be-...
Die Vakuumpumpe wird mit vier M10-Schrauben am Boden befestigt, zwei Schrauben pro Hal- tebügel. Die Befestigungsschraube muss einer Zugkraft von 1200 N (pro Haltebügel) standhal- ten. Der Endbenutzer muss die Art der Schrauben an die Beschaffenheit des Bodens anpassen. 18 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
DS 0160 G DS 0700 G DS 1000 G DS 2000 G Öltyp Busch YLC 250 B, Artikel-Nr. 0831 131 400 (0,5 l ≈ 1 kg) ● Ölwechsel: nach 5000 h (siehe „Wartungsplan [➔ 43]“). 3.7.2 Kühlflüssigkeit Kühlflüssigkeit einfüllen NS 0070/0160 C Kühlflüssigkeitsmenge (Liter)
4 | Transport Transport Vor der sorgfältigen Verpackung werden die COBRA DS Vakuumpumpen in unserem Werk getestet und geprüft. Prüfen Sie die Verpackung bei Ankunft der Ware auf Transportschäden. Die Vakuum- pumpe hält während des Transports Temperaturen zwischen -25 °C und +55 °C stand.
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● Vor jedem Transport mithilfe geeigneter Hebevorrichtungen sicherstellen, dass die Neigung der Vakuumpumpe weniger als 5° beträgt. Das Verpackungsmaterial muss gemäß den örtlichen und nationalen Vorschriften entsorgt werden. Dieses Handbuch ist im Lieferumfang enthalten. Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 21 | 68...
● Die Vakuumpumpe in VCI-Folie einschlagen. ● Vakuumpumpe folgendermaßen lagern: ● die Vakuumpumpe sollte möglichst in ihrer Originalverpackung, ● in einem geschlossenen Raum ● und einer trockenen sowie ● staub- und ● vibrationsfreien Umgebung gelagert werden. 22 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
Vakuumpumpe nach der Lagerung in Betrieb nehmen ● Sicherstellen, dass alle vor der Lagerung angebrachten Schutzelemente, Stopper oder Klebe- bandstreifen entfernt wurden. ● Die Vakuumpumpe in der in „Installation und Inbetriebnahme [➔ 24]“ beschriebenen Reihenfolge einschalten. Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 23 | 68...
7 - 8 version Ungefähre Durchflussmenge für andere Anwen- l/ min 7 -15 dungen Eigenschaften Rein und klar Partikelgröße µm < 200 Chlorid mg/l < 100 Elektrische Leitfähigkeit µS/cm ≤ 100 24 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
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● Sicherstellen, dass die Ölschaugläser (OSG 1, 2, 3, 4) leicht zugänglich sind. Wenn Ölwechsel vor Ort durchgeführt werden müssen: ● Sicherstellen, dass der Ölablass und die Öleinfüllung leicht zugänglich sind. Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 25 | 68...
DN 40 ISO KF Bei langen Ansaugleitungen sollte der Leitungsquerschnitt größer als der Eintrittsflansch sein, um einen Leistungsabfall der Vakuumpumpe zu vermeiden. Im Zweifelsfall wenden Sie sich an Ihre Busch Vertretung. 26 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
● Der Abluftflansch hat folgende Abmessungen: – DN 40 ISO KF Bei langen Abluftleitungen sollte der Leitungsquerschnitt größer als der Abluftflansch sein, um ei- nen Leistungsabfall der Vakuumpumpe zu vermeiden. Im Zweifelsfall wenden Sie sich an Ihre Busch Vertretung. 6.1.4 Kühlwasseranschluss Das Kühlwasser wird in der Regel mit einem Schlauch (leckdicht gegenüber Sauerstoff) angeschlos-...
● Sicherstellen, dass für den Motor ein Überstrom-Trennschalter nach EN 60204-1 vorgesehen ist. ● Sicherstellen, dass der Antrieb der Vakuumpumpe nicht durch elektrische oder elektromagneti- sche Störungen beeinträchtigt wird. Im Zweifelsfall wenden Sie sich an Ihre Busch Vertretung. ● Zulässige Primärspannung neben dem elektrischen Anschluss überprüfen! ●...
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Anschluss des Motortemperaturschalters (empfohlen): Nur Spannungen ≤ 250 VAC anlegen Max. Strom: 1,6 A MTS = Motortemperaturschalter (in der Motorwicklung) Dreieck-Schaltung (Niederspannung): Stern-Schaltung (Hochspannung): 6.2.2.1 Stromverkabelungsanschluss Stromverkabelung 4-polig Phase L1 Phase L2 Phase L3 Masse Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 29 | 68...
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6 | Installation und Inbetriebnahme 6.2.2.2 Stromanschluss auf der Vorderseite Beschreibung Allgemeine Stromversorgung Yeonhap 30 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
● Drehrichtung des Motors mit einem Drehfeldtester bestimmen. ● Starttaster drücken. ● Sicherstellen, dass die Vakuumpumpe ansaugt. ● Andernfalls den Not-Halt-Taster drücken. Folgendermaßen vorgehen, wenn die Drehrichtung geändert werden muss: ● Zwei der drei Zuleitungen austauschen. Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 31 | 68...
Ethernet-Netzwerkverbindung (Busch dbus RTU RS 232 Überwachungssystem – Option) Schnittstellenanschluss (50-polig) (Opti- PID-Schnittstelle (Option) Informationen zur Verwendung der Busch SPS und des Busch LCD finden Sie in der Betriebs- und Wartungsanleitung (Artikel-Nr. 0870758077). 6.2.4 Anschluss von Leitungen/Rohren ● Ansaugleitungen anschließen. ● Abluftleitungen anschließen.
Installation und Inbetriebnahme | 6 6.2.5.1 COBRA NS 0070 C Einfüllen von Öl Beschreibung Öleinfüllschraube (OFP) Ölablassschraube (ODP) Ölschauglas (OSG) Öleinfüllschraube (OFP) Ölschauglas (OSG) Ölablassschraube (ODP) ● Öleinfüllschrauben (OFP) herausdrehen. ● Bis zur Oberkante des Zielkreises der Ölschaugläser (OSG) auffüllen. Sicherstellen, dass der Füll- stand im Zielkreis der Ölschaugläser (OSG) liegt.
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Folgendermaßen vorgehen, wenn die Ansaugleitung mit einer Absperrvorrichtung ausgestattet ist: ● Absperrvorrichtung schließen. Folgendermaßen vorgehen, wenn die Ansaugleitung nicht mit einer Absperrvorrichtung ausgestat- tet ist: ● Eine Gummiplatte auf den Eintrittsflansch legen. ● Die Vakuumpumpe einige Minuten lang laufen lassen. 34 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
Die Vakuumpumpe nicht ohne Kühlflüssigkeit betreiben! HINWEIS Die COBRA DS Vakuumpumpen werden in der Regel mit Kühlflüssigkeit in der Vakuumpumpe ausgeliefert. Vor der ersten Inbetriebnahme der Vakuumpumpe den Kühlflüssigkeitsstand kontrollieren. Sollte eines dieser Schmiermittel fehlen, bitte einfüllen (Informationen zu den empfohlenen Kühlflüssigkeiten siehe„Kühlflüssigkeitstyp/-menge [➔ 60]“).
6 | Installation und Inbetriebnahme 6.2.6.1 COBRA NS 0070 C Einfüllen von Kühlflüssigkeit Beschreibung Kühlflüssigkeitseinfüllschraube (CLF) Kühlflüssigkeitsschauglas (CLG) Kühlflüssigkeitsablassschraube (CLD) ● Sicherstellen, dass die Vakuumpumpe ausgeschaltet wurde und nicht versehentlich wieder ein- geschaltet werden kann. HINWEIS Die im Installationshandbuch angegebene Kühlflüssigkeitsmenge dient nur zur Information.
Vakuumpumpe und ihrer Bauteile! Die Vakuumpumpe darf nur unter den angegebenen Bedingungen eingeschaltet werden. Die COBRA DS Vakuumpumpen sind für den Einsatz in der Mikroelektronik und ähnlichen Industrien konzipiert. Sie können für das Ansaugen von Gasen und Gasgemischen verwendet werden.
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Benutzer, die sich längere Zeit in der Nähe einer nicht schallisolierten Vakuumpumpe aufhal- ten, müssen geeigneten Gehörschutz tragen. VORSICHT Die COBRA DS Vakuumpumpen werden eventuell ohne Öl, ohne Kühlwasser und ohne Kühlflüssigkeit geliefert. Durch den Betrieb der Vakuumpumpe ohne Öl wird sie beschädigt! Die Vakuumpumpe muss nach dem Befüllen mit Öl waagerecht bleiben.
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Installation und Inbetriebnahme | 6 VORSICHT Die COBRA DS Vakuumpumpen werden stets ohne Öl, ohne Kühlwasser und ohne Kühlflüssig- keit geliefert. Durch den Betrieb der Vakuumpumpe ohne Kühlmittel wird sie beschädigt! VORSICHT Der Kühlwasserdurchfluss wird vom Durchflussmesser CWM überprüft und muss mindestens 2 l/Min.
Vakuumpumpe unvermeidlich ist, warten, bis die Oberflächentemperatur abgekühlt ist, oder Schutzhandschuhe tragen. vor Beginn der Wartungsarbeiten sicherstellen, dass die Vakuumpumpe ausgeschaltet und gegen unbeabsichtigtes Wiedereinschalten gesichert ist. Abschaltverfahren im Abschnitt „Lockout-/Tagout- Verfahren [➔ 44]“ je nach Wartungsbedarf beachten: Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 41 | 68...
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● Hauptschalter einschalten. ● Notauschalter entriegeln. ● Wasser- und Stickstoff-Schnellanschlüsse einschalten (erst Auslass, dann Einlass). ● Sicherstellen, dass die „Erforderliche Installationsanleitung“ befolgt wird. ● Die Vakuumpumpe mit der Fernbedienung (RC) einschalten (START-Taste drücken). 42 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
● Stickstoffdurchfluss überprüfen, siehe „Stickstoff“ im Kapi- tel „Zusätzliche Prüfungen [➔ 52]“. ● Die Vakuumpumpe auf austretendes Öl prüfen. Im Falle ei- nes Lecks die Vakuumpumpe reparieren lassen (Busch kontaktieren). ● Die Vakuumpumpe auf austretende Kühlflüssigkeit prüfen. Im Falle eines Lecks die Vakuumpumpe reparieren lassen (Busch kontaktieren).
Öl muss normalerweise nicht außerhalb der empfohlenen Ölwechselintervalle nachgefüllt werden. Ein Abfall des Ölstands weist auf eine Störung hin (siehe „Alarme und Warnungen -> Busch SPS und Busch LCD“). VORSICHT Öl nur über die Öleinfüllöffnung einfüllen. Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 45 | 68...
● Vergewissern Sie sich, dass das Öl hell und transparent ist. Wenn das Öl dunkel wird oder nicht mehr die ursprüngliche Farbe hat: ● Das Öl unverzüglich wechseln (siehe Ölwechsel). ● Ihre Busch Vertretung kontaktieren, um herauszufinden, warum sich die Farbe des Öls geändert hat. 46 | 68...
Aufgrund von Verschleiß an den Dichtungen wird empfohlen, die Ablassschrauben bei jedem Ölwechsel auszutauschen. Booster (MB): ● Auffangbehälter unter die Ölablassschrauben (ODP) stellen. ● Ölablassschrauben (ODP) abdrehen. ● Das Öl ablassen. Folgendermaßen vorgehen, wenn kein Öl mehr abfließt: Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 47 | 68...
● Sicherstellen, dass der Ölstand noch im Zielkreis der Ölschaugläser (OSG) liegt. ● Sicherstellen, dass die Dichtungen der Einfüllschraube nicht beschädigt sind und korrekt sitzen. Ggf. austauschen. ● Einfüllschraube wieder anschrauben. 48 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
● Sicherstellen, dass die Dichtungen der Einfüllschraube nicht beschädigt sind und korrekt sitzen. Ggf. austauschen. Einfüllschraube wieder anschrauben. Kühlflüssigkeit überprüfen 7.3.1 Kühlflüssigkeitsstand überprüfen ● Sicherstellen, dass die Vakuumpumpe ausgeschaltet wurde und nicht versehentlich wieder ein- geschaltet werden kann. ● Die Vakuumpumpe abkühlen lassen. Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 49 | 68...
● Der Kühlflüssigkeitsstand im Ausgleichsgefäß darf keinesfalls die MAX-Markierung am Kühlflüs- sigkeitsschauglas (CLG) überschreiten. ● Kühlflüssigkeitseinfüllschraube (CLF) am Ausgleichsgefäß abschrauben. ● Kühlflüssigkeit durch die Einfüllöffnung einfüllen, bis sie die MAX-Markierung des Kühlflüssig- keitsschauglases (CLG) erreicht. 50 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
● Sicherstellen, dass die Dichtung der Einfüllschraube nicht beschädigt ist und korrekt sitzt. Ggf. austauschen. ● Einfüllschraube wieder anschrauben. ● Ggf. auf die Außenflächen der Vakuumpumpe ausgelaufene Kühlflüssigkeit abwischen. ● Vakuumpumpe starten. Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 51 | 68...
● Schalldämpfer regelmäßig kontrollieren und bei Bedarf rei- nigen. Leckschutz-Rückschlagventil (Zu- ● Leckschutz-Rückschlagventil regelmäßig kontrollieren und behör) bei Bedarf reinigen. VORSICHT Bei Wartungsarbeiten am Schalldämpfer und Leckschutz-Rückschlagventil Schutzkleidung tra- gen. Es können noch Rückstände von Verunreinigungen vorhanden sein. 52 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
Es besteht die Gefahr des vorzeitigen Ausfalls der Maschine! Effizienzverlust! ● Jegliches Zerlegen der Maschine, das über die in der vorliegenden Betriebsanleitung beschriebe- nen Vorgehensweisen hinausgeht, sollte von einem von Busch autorisierten Techniker durchge- führt werden. Wenn mit der Maschine Gas befördert wurde, das mit gesundheitsgefährdenden Fremdstoffen kontaminiert war: ●...
Leitungen an den Atmosphärendruck angepasst haben. Wiederinbetriebnahme VORSICHT Nach längerer Inaktivität kann es vorkommen, dass die Rotorschrauben der COBRA NS Vaku- umpumpe festsitzen. Die Rotorschrauben von Hand drehen. ● Sicherstellen, dass die verschiedenen Schutzelemente, Stopper oder Klebebandstreifen entfernt wurden.
● Die Vakuumpumpe als Altmetall entsorgen. ● Die Einzelteile der Maschine gemäß den örtlichen Vorschriften entsorgen. In der SPS befindet sich eine Lithium-Batterie: ● Lithium-Batterie gemäß den geltenden örtlichen und nationalen Umweltschutzvorschriften entsorgen. Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 55 | 68...
Es besteht die Gefahr des vorzeitigen Ausfalls der Maschine! Effizienzverlust! ● Nur Originalersatzteile, Verbrauchsmaterialien und Zubehör von Busch verwenden, um den ord- nungsgemäßen Betrieb der Maschine zu gewährleisten und die Garantie zu erhalten. Für dieses Produkt gibt es keine Standard-Ersatzteilsätze.
Korrosion in der Maschine ● Die Maschine reparieren. durch verbliebenes Kondensat. ● Den Prozess überprüfen und die Empfehlungen be- folgen bei Förderung von kondensierbaren Dämpfen. Der Motor ist defekt. ● Motor austauschen. Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 57 | 68...
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● Siehe „Beim Betrieb der Maschine kommt es zu ei- ner zu hohen Wärmeent- wicklung“. Zur Behebung von Problemen, die nicht in der Störungsbehebungstabelle aufgeführt sind, wenden Sie sich bitte an Ihre Busch Vertretung. 58 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
60 % Wasser. Es ist daher nicht erforderlich, die Flüssigkeit vor der Verwendung anzumi- schen. Sollte jedoch Reinglykol verwendet werden, muss dieser in jedem Fall vor dem Einfüllen angemischt werden; dabei ist das oben genannte Verhältnis unbedingt einzuhalten. 60 | 68 Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de...
189-51, Soicheon-ro, Majang-myun Icheon-si, Gyunggi-do, 467-813 Republik Korea Erklärung für die Maschine: COBRA DS 0080 G; COBRA DS 0160 G; COBRA DS 0700 G; COBRA DS 1000 G; COBRA DS 2000 G Erfüllt/Erfüllen alle relevanten Bestimmungen aus britischen Richtlinien: – Verordnung über die Lieferung von Maschinen (Sicherheit) 2008 –...
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H inweise Instruction Manual COBRA DS 0080-2000 G_DE_de 67 | 68...
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Die Busch Group ist weltweit einer der größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen, Kompressoren und Abgasreinigungssystemen. Unter ihrem Dach vereint sie die drei bekannten Marken Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum und centrotherm clean solutions. Gemeinsam bieten sie Lösungen für eine Vielzahl von Branchen. Ein globales Netzwerk aus hochkompetenten lokalen Teams in 44 Ländern stellt sicher, dass fachkundige,...