Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies Turbo-V 2K-G
Seite 1
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. vacuum technologies MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH Turbo-V 2K-G NOTICE DE MODE D’EMPLOI Pumping System MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES Models (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING...
Seite 5
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................53 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................58 NÁVOD K POUŽITIU............................62 NAVODILA ZA UPORABO..........................66 INSTRUCTIONS FOR USE..........................70 TECHNICAL INFORMATION ...........................74 DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G..................74 Pump Description ......................74 Controller Description ......................75 TECHNICAL SPECIFICATION ....................75 TURBO-V 2K-G OUTLINE......................78 INTERCONNECTIONS........................78 J1 – REMOTE I/O ......................78 J2 - Serial...........................81...
Seite 6
Download Software......................89 Functionality........................89 Modifying the Parameters....................89 Archive Saving Method Procedure ..................90 PROFIBUS OPTION ........................90 General ..........................90 Mechanical.........................90 Installation..........................90 Configuration........................91 Indicators ...........................91 Software operation and state machine ................91 Diagnostic management ....................97 Diagnostic buffer ........................97 INLET SCREEN INSTALLATION ....................98 WATER COOLING CONNECTION .....................98 PUMP PURGING AND VENTING ....................99 Purge and Vent Installation....................99 Pump used with corrosive gases..................99...
Seite 7
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa speci- fica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
Seite 8
ATTENZIONE! Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 2K-G e a non sotto- della turbopompa al sistema. porla ad urti o vibrazioni. 2/100...
Seite 9
NOTA La pompa è progettata per avere un alto trasferimento di Azoto, La Turbo-V 2K-G non può essere fissata tramite la sua base. Il Argon e gas più leggeri. sistema può essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F. Il Nel caso in cui ci fosse la necessità...
Seite 10
Per arrestare immediatamente in condizioni di emergenza la Quando viene fornita l'alimentazione ed il controconnettore a Turbo-V 2K-G occorre staccare il cavo di alimentazione dall'a- 15 pin in dotazione è inserito, la Turbo-V 2K-G si avvia automa- limentazione. Occorre però tenere conto che questa operazione ticamente.
Seite 11
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfü- gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Ge- wicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Seite 12
Ösenschrauben zu benutzen, die am Pumpenkorpus ange- nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian schraubt sind. keinerlei Haftung. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie Modell Turbo-V 2K-G ist ein integriertes System, das aus einer 85/399/EWG für Umweltschutz. Turbomolekularpumpe für Hoch- Höchstvakuum-...
Seite 13
HINWEIS Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm- Die Turbo-V 2K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt werden. baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das Zur Befestigung des Systems ist der Flansch ISO 250F zu ver- jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu...
Seite 14
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be- Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen. trieb. Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 2K-G Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet gibt es die folgenden Möglichkeiten: sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen.
Seite 15
GEBRAUCHSANLEITUNG ENTSORGUNG Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU- Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Seite 16
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
Seite 17
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par- INDICATIONS GENERALES ticulièrement à ne pas laisser tomber le Turbo-V 2K-G et à ne Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes- lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
Seite 18
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ment, se reporter à l'opuscule "Technical Information". ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério- Le Turbo-V 2K-G doit être connecté à une pompe primaire (Cf. rer. schéma dans "Technical Information").
Seite 19
Le Turbo-V 2K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute NOTE intervention doit être effectuée par un personnel agréé. Lors de la première mise en marche de la pompe Turbo-V 2K-G le contrôleur lance automatiquement le système en exécutant une procédure spéciale qui protège les paliers contre tout ris- DANGER! que d’endommagement (SOFT START).
Seite 20
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
Seite 21
INSTRUCCIONES DE USO Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no INFORMACIÓN GENERAL se caiga el Turbo-V 2K-G y de no someterlo a golpes o Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer vibraciones. atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier Quitar la protección de los conectores solamente después de...
Seite 22
La Turbo-V 2K-G no puede ser fijada por medio de su base. En apropiados típicos de cada gas. efecto, el sistema puede fijarse únicamente mediante su brida No usar la bomba cuando haya gases explosivos. ISO 250F. La fijación debe realizarse de conformidad con lo La bomba ha sido proyectada para una elevada transferencia establecido por la norma ISO 1609.
Seite 23
INSTRUCCIONES DE USO dar la señal de START a la Turbo-V 2K-G mediante una El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TURBO-V de las siguientes formas: 2K-G indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones...
Seite 24
INSTRUCCIONES DE USO ELIMINACIÓN Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Seite 25
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
Seite 26
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é específicas. completamente reciclável e em conformidade com a norma O Turbo-V 2K-G é um sistema integrado, constituído por uma CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller.
Seite 27
Não usar a bomba na A Turbo-V 2K-G não pode ser fixada por meio da sua base. O presença de gases explosivos. sistema pode ser segurado só por intermédio da sua flange A bomba foi concebida para fornecer um elevado caudal de ISO 250F.
Seite 28
INSTRUÇÕES PARA O USO fornecer à Turbo-V 2K-G o sinal de START num dos A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do seguintes modos: Turbo-V 2K-G, indica, através da frequência de intermitência, ligar o conector conjugado I/O fornecido de série.
Seite 29
INSTRUÇÕES PARA O USO ELIMINAÇÃO Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Seite 30
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Seite 31
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 2K-G niet kan acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Seite 32
(zie schema in "Technical information"). krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). De Turbo-V 2K-G kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de Turbo-V 2K-G in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een ATTENTIE! koppel van 10600 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
Seite 33
(periode van circa 400 ms): het systeem breng de druk in de vacuümkamer op 0,1 mbar is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for geef aan de Turbo-V 2K-G het START signaal op een interlock”; van de volgende manieren: knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Seite 34
GEBRUIKSAANWIJZINGEN AFVALVERWERKING Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. onderstaande symbool wordt aangebracht overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Seite 35
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Seite 36
BRUGSANVISNING Sørg for, at Turbo-V 2K-G ikke tabes eller udsættes for stød GENEREL INFORMATION ved udpakningen. Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen bør læse denne brugsanvisning anden yderligere er blevet fastgjort til systemet.
Seite 37
ædelgasser (kvælstof eller “Technical Information”). helium) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Turbo-V 2K-G kan installeres i en hvilken som helst position. Information”). Fastgør Turbo-V 2K-G i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på...
Seite 38
ADVARSEL! Nødstop Turbo-V 2K-G starter automatisk efter tilslutning af strøm og Afbrydelse af Turbo-V 2K-G i nødsituationer sker ved at koble indsættelse af den medleverede 15-benede kontakt. ledningen fra styreenheden. Det er vigtigt at notere, at denne operation, ud over at afkoble fuldstændigt pumpens tilførsel, afkobler desuden også...
Seite 39
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Seite 40
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar lyft- flytthjälpmedel. Använd lyftöglorna är tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till fastskruvade i de gängade hålen på pumphuset. att Turbo-V 2K-G inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. 34/100 87-900-968-01(F)
Seite 41
Turbo-V 2K-G måste anslutas till en huvudpump (se bilagan “Technical information”). (se schemat i "Technical information"). Turbo-V 2K-G kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett VIKTIGT! stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 10600 Nm kring sin Använd aldrig pumpen om det finns frätande gaser eller ångor...
Seite 42
(medföljer vid leveransen) är isatt startar Turbo-V 2K-G automatiskt. Nödstopp Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av Turbo-V 2K-G. Utöver att denna operation totalt kopplar från VIKTIGT! pumpens försörjning, avaktiveras även alla andra funktioner på Styrenheten levereras mekaniskt och elektriskt ansluten till styrenheten, som till exempel hanteringen av rensningen och pumpen.
Seite 43
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Seite 44
Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 2K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Seite 45
Før trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar Turbo-V 2K-G er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene Gi et startsignal til Turbo-V 2K-G på en av følgende måter: og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre Kople til I/O kontakten som følger med strømkretsene...
Seite 46
RS232/485 (se avsnittet "RS232/485 Communication ADVARSEL! Description" i vedlegget "Technical Information"). Turbo-V 2K-G starter automatisk når strømmen er tilkoplet og 15-veis kontakten som følger med er satt inn. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe Turbo-V 2K- G i en nødsituasjon.
Seite 47
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 41/100 87-900-968-01(F)
Seite 48
HUOM hiukkasten pumppaamiseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (33000 Turbo-V 2K-G ei vaurioidu ilmalle altistuessaan. On kuitenkin kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää suositeltavaa säilyttää pumppu suljettuna ja sinetöitynä, kunnes korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. Turbo-V 2K-G - se asennetaan järjestelmään.
Seite 49
0 - 95 % (ei tiivistävä) Information” -liite). Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical HUOMIO! Information” -liitteestä. Turbo-V 2K-G tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Älä käytä pumppua syövyttävien kaasujen tai höyryjen Information” -liitteen kaaviota). läheisyydessä: saattavat vahingoittaa pumpun Turbo-V 2K-G voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Seite 50
Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys Järjestelmä on varustettu vihreällä LED-valolla, jota ohjataan Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE- tilasignaalilla. direktiivin mukaisesti. Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TURBO-V 2K-G:n perustan Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän...
Seite 51
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
Seite 52
σπείρωμα που έχουν γίνει στο σώμα της αντλίας. epafˇ me to topikÒ tmˇma pwlˇsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to Turbo-V 2K-G kai na mhn uposte∂ ctupˇmata ˇ donˇseij. 46/100...
Seite 53
SHMEIWSH Η αντλία έχει σχεδιαστεί για να έχει ένα υψηλό ποσοστό μεταφοράς Η Turbo-V 2K-G δεν μπορεί να στερεωθεί μέσω της βάσης της. Το Αζώτου, Αργόν και πιο ελαφριών αερίων. σύστημα μπορεί να στερεωθεί μόνο μέσω της φλάντζας του ISO 250F.
Seite 54
σταμάτημα του Ρότορα. Η ταχύτητα περιστροφής του ρότορα SHMEIWSH θα ελαττώνεται ανάλογα με τη βαθμίδα του κενού που είναι Όταν τίθεται σε κίνηση η Turbo-V 2K-G για πρώτη φορά, ο controller παρών στο σύστημα. εκκινεί αυτομάτως το σύστημα με μια ειδική διαδικασία που...
Seite 55
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Seite 56
Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes EEC 85/399-es direktívának. bármely művelet miatt történtek. A Turbo-V 2K-G egy integrált rendszer turbo-molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a FIGYELEM megfelelő vezérlőjével. A rendszer sokfajta típusú gázt vagy Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta...
Seite 57
, Ar és könnyebb gázok nagyteljesítményű MEGJEGYZÉS szivattyúzásához tervezték. Ha az Ar-nél nehezebb gázokat A Turbo-V 2K-G nem rögzítehető az alapjával. A rendszer csak kell szivattyúznia, kérem, információért forduljon a Varian ISO 250F karimával rögzíthető. A rögzítést az ISO 1609 norma műszaki támogatáshoz.
Seite 58
Ennek forgási sebessége a rendszerben lévő vákuumszint függvényében fog csökkenni. MEGJEGYZÉS Amikor legelőször futtatja a Turbo-V 2K-G-t, a vezérlő egység KARBANTARTÁS automatikusan elindítja a rendszert egy különleges eljárással, amely védi a csapágyakat az esetleges sérülésektől (SOFT A Turbo-V 2K-G nem igényel karbantartást. A rendszeren START).
Seite 59
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Seite 60
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku uwagę aby nie spowodować upadku systemu Turbo-V 2K-G ani niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom.
Seite 61
“Technical Information” turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Turbo-V 2K-G musi być podłączony do głównej pompy (patrz Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub schemat w “Informacjach Technicznych”) obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe Turbo-V 2K-G może być...
Seite 62
0,1 mbar System jest wyposażony w zieloną diodę LED pilotowaną przez dostraczyć do Turbo-V 2K-G sygnał STARTU w jeden z sygnał stanu. następujących sposobów: Zielona dioda led znajdująca się na panelu przednim Turbo-V a.
Seite 63
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA INFORMACJA Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy lub advanced exchange service, należy obowiązkowo wypełnić i przekazać miejscowego biura sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji. Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką. Jeżeli system musi być...
Seite 64
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...
Seite 65
činností, EEC 85/399. která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva Turbo-V 2K-G je integrovaný systém s turbomolekulární VAROVÁNÍ vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé...
Seite 66
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit přílohu Information"). feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěva Turbo-V 2K-G se musí připojit k primárnímu čerpadlu VAROVÁNÍ (viz "Technical Information"). Nikdy nepoužívejte vývěvu v přítomnosti korozivních plynů Vývěvu Turbo-V 2K-G lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu nebo výparů, které...
Seite 67
Jakmile bude připojeno napájení a zasunut souhlasný 15- přiveďte zastavovací signál vzdáleného místa kolíkový konektor dodaný výrobcem, vývěva Turbo-V 2K-G se prostřednictvím sériového rozhraní RS 232/485 (viz rozběhne automaticky. odstavec "Popis komunikace RS232/RS 485" v příloze "Technical Information"). VAROVÁNÍ Nouzové zastavení...
Seite 68
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Seite 69
PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU Použite závesné očká zaskrutkované do otvorov v telese vývevy. Turbo-V 2K-G je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Varian. 63/100...
Seite 70
„Technical Information“. inertného plynu (dusík a hélium) kvôli ochrane ložísk vývevy Zariadenie Turbo-V 2K-G sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri dodatok „Technical Information“). (pozri „Technical Information“). Zariadenie Turbo-V 2K-G môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe.
Seite 71
RS232/RS 485" dodatku k "Technical Information"). automaticky. Núdzové zastavenie UPOZORNENIE Ak chcete zariadenie Turbo-V 2K-G okamžite vypnúť v stave núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja Kontrolný modul sa dodáva mechanicky aj elektricky pripojený napájania. Je však potrebné mať na pamäti, že táto operácia, k výveve.
Seite 72
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
Seite 73
Črpanje se izvaja preko hitre turbine (maks. 33000 rpm), ki jo Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito. vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. Turbo-V 2K-G ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto« OPOMBA vakuumiranje.
Seite 74
(glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v prilogi "Technical Information"). OPOMBA Za zagon sistema sledite naslednjim korakom: Naprave Turbo-V 2K-G ni moč pritrditi s svojo osnovo. Sistem izključite (če je na voljo) sistemski I/O priključek lahko pritrdite samo preko ISO 250F prirobnice. Pritrjevanje priključite napetost morate izvesi v skladu z ISO 1609 normo.
Seite 75
NAVODILA ZA UPORABO Zaustavitev v sili OPOMBA Za zaustavitev naprave Turbo-V 2K-G v sili morate odstraniti Ko prvič zaženete Turbo-V 2K-G, kontrolna enota samodejno napetost. Treba je vsekakor upoštevati dejstvo, da ta operacija zažene sistem s posedbno proceduro, ki zavaruje tečaje proti ne le popolnoma onemogoči napajanje črpalke, temveč...
Seite 76
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
Seite 77
PREPARATION FOR INSTALLATION able moving and handling tools. The Turbo-V 2K-G is supplied in a special protective packing. If Use the suitable handling kit eyebolts screwed into the holes of this shows signs of damage which may have occurred during the pump body.
Seite 78
If the system is connected to a remote I/O, make sure the stop signal (see para. "J1-REMOTE I/O" of The Turbo-V 2K-G cannot be fixed by means of its base. The annex "Technical Information") is given. system can only be fixed through its ISO 250F flange. Fixing To start the system please follow the following steps: must be done according to ISO 1609 norm.
Seite 79
NOTE Furthermore, this operation may not ensure the immediate When you run the Turbo-V 2K-G for the very first time, the con- stopping of the rotor. Rotation speed of the rotor will decrease trol unit automatically starts the system with a special proce- according to the degree of vacuum present in the system.
Seite 80
TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TURBO-V 2K-G Pump Description The Turbo-V 2K-G pumping system consists of a The pump consists of a high frequency motor driv- pump with a dedicated controller fixed to it. The ing a turbine fitted with 5 bladed stages and 2 system has an ISO 250 F high vacuum flange and Macrotorr stages.
Seite 81
TECHNICAL INFORMATION where: • Tb = upper bearing temperature • Tbody = measured water cooling related tem- perature • Tbody,lim = body temperature corresponding to Twater,max, according to Figure 2 • WIN.118 = set the body temperature control Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro- computer.
Seite 82
NOTE Max operating power: 400 W for Nitrogen and lighter When the Turbo-V 2K-G has been stored at a tem- gases perature less than 5°C, wait until the system has 390 W for Argon reached the above mentioned temperature before...
Seite 83
TECHNICAL INFORMATION Throughput and power curves for Argon (power limit 350 W) - Data with 80 m /h primary pump. Throughput and power curves for Nitrogen (power limit 400 W) - Data with 80 m /h primary pump. 77/100 87-900-968-01(E)
Seite 84
TECHNICAL INFORMATION TURBO-V 2K-G OUTLINE The following figure shows the Turbo-V 2K-G outlines (dimensions are in mm [inches]). INTERCONNECTIONS The following paragraphs describe the Turbo-V PIN N. SIGNAL NAME INPUT/ ISOLATION OUTPUT 2K-G interconnections. START/STOP (+) Optocoupled J1 – REMOTE I/O...
Seite 85
TECHNICAL INFORMATION The “Low Speed” function can also be activated by Signals description serial line with win.001, and the low speed value can be adjusted via serial command win.117. START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the Both low speed value (win.117) and high-speed START/STOP (+) signal is connected to the +24 value (win.120) are limited between 475Hz (can’t...
Seite 86
TECHNICAL INFORMATION FAULT: this relay output signal is closed when any Electrical connections examples: system fault condition is detected. To detect the type of failure the serial protocol is needed (see • Start-Stop or Interlock the para. "RS232-485 Comunication Description"). SET POINT: this relay output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, cur- rent or time) is higher than the set threshold.
Seite 87
TECHNICAL INFORMATION In remote mode you can open the purge valve PURGE/VENT VALVES: the pump integrates the “purge” and “vent” valves. The two valves are (N.C.) connecting pin10 of J1 to pin 9, or supplying 24 Vdc between pin 10 and pin 15. The same Normally Closed so if a power fail occur, the valves will remain closed.
Seite 88
TECHNICAL INFORMATION − <DATA> = an alphanumeric ASCII string with RS 232/RS 485 COMMUNICATION the data to be written into the window. In case DESCRIPTION of a reading command this field is not present. Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are The field length is variable according to the available on the connector P2.
Seite 89
TECHNICAL INFORMATION The controller can answers with the following re- Command: STOP Source: PC sponse types: Destination: Controller TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION After a read instruction Logic 1 byte of a logic window STX ADDR WINDOW OFF ETX After a read instruction Numeric 6 bytes of a numeric window...
Seite 90
TECHNICAL INFORMATION Command: READ PUMP STATUS Read/ Data Description Admitted Source: PC Write Type Values Destination: Controller (with address = 3) Set Point (default = 500) threshold (expressed in Hz, mA or s) STX ADDR WINDOW Set Point 0 to 99999 mask: time (default = 0) between the...
Seite 91
TECHNICAL INFORMATION Read/ Data Description Admitted Read/ Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Reserved to Varian service Pump tem- 0 to 70 perature in °C Valves oper- 0 = auto (default) ating mode 1 = on command Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1...
Seite 92
In order to install and operate the MoniTorr card of At pump’s power-on, the POWER LED comes on the Turbo-V 2K-G it’s necessary to get the Monitor and the system proceeds with its self-configuration Connectivity Kit (P/N 969-9260). The user should routine.
Seite 93
TECHNICAL INFORMATION MoniTorr Connectivity Kit Installation Procedu- Install the File VT Serial Address Configurator on PC (launch VT-SAC\setup.exe on CD Rom) Connect the RS232 cable between the PC serial port and the first TV 2KG serial port 10. Check if Baud Rate of protocol converter is fixed at 115K2 (switch between 9 position and F position) 3.
Seite 94
TECHNICAL INFORMATION In the two cases the following screen will be dis- Interconnections played on the personal computer: The following figure shows the Monitorr’s intercon- nections. Network Connector (RS 485) Close all the applications and then select OK. The following screen will now be displayed on the per- Network connector (RS-485) sonal computer monitor: In order to have the IP-54 environment protection...
Seite 95
TECHNICAL INFORMATION The program is configured to work with the COM 1 NOTE serial port. If a change is required, click the right It is suggested that you maintain the proposed mouse button with the cursor on the Varian logo program group so as to facilitate the identification on the right-hand side of the windows bar.
Seite 96
TECHNICAL INFORMATION • Save time: Defines the time frame between two PROFIBUS OPTION successive storage operations to the Moni- Torr’s local memory of the acquisition indicated General above. Every acquisition is summed to previous The ProfiBus option allow to communicate with the in order to obtain in memory only the last aver- controller as Profibus DP slave device.
Seite 97
TECHNICAL INFORMATION Each device has its own state machine to manage Configuration the device operation. Before power-on the controller set the Profibus address by the 2 rotary switches. Up to 126 different addresses (from 0 to 125) can be selected. The address value sets by the 2 switches is expressed in hexadecimal notation, so value from 00 to 7D are permitted;...
Seite 98
TECHNICAL INFORMATION The two machines continuously share I/O data slave configuration and reads back the entire slave with the relative bus, and interact each other only status. in following conditions: For this purpose one Input (from slave to master) • and one Output (from master to slave) buffers are ProfiBus Data Exchange is suspended (static provided.
Seite 99
TECHNICAL INFORMATION OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL Bit Filed B0 - Vent & Purge Auto/Man 0 = Auto (the controller drives purge and vent valves) 1 = Manual (see Par. Buff. byte-15-B2) B1 - Vent & Purge Remote/Profibus 0 = Serial or Profibus (see Out.
Seite 100
TECHNICAL INFORMATION OUTPUT BUFFER (5 BYTES) OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL B7 – Start/Stop 0 = Stop 1 = Start B6 – Low Speed 0 = off (set the “target speed”(In Buff byte-8) at” high speed” (Out. Buff. byte-1)) 1 = on (set the “target speed”...
Seite 101
TECHNICAL INFORMATION INPUT BUFFER (15 WORDS) OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL 0-10000 Current Motor current consumption 0-500 Power Motor power absorption 0-400 Power Limit Applied Maximum allowable power 0-555 Driving Frequency Read the rotational speed of the pump 0-555 Target Frequency Read the target rotational speed...
Seite 102
TECHNICAL INFORMATION OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL B4 – Verify Line Select (the auto voltage selection mismatch the real input voltage) B3 – Power Fail (internal circuitry failure) B2 – Controller Over-Temperature (“Controller Power Section Temperature” or “Controller CPU Section Tem- perature"...
Seite 103
TECHNICAL INFORMATION Diagnostic management Diagnostic buffer In addition to the ProfiBus six byte standard diag- nostic, the interface provides both user diagnostic MEANING and static diagnostics functions station non exist (set by master) station not ready (slave not ready for The standard diagnostic management is fully com- data exchange) pliant with the ProfiBus specification.
Seite 104
TECHNICAL INFORMATION MEANING Vent/Purge Auto/Man diag status 7 - 4 Vent/Purge Remote/Profibus diag status 3 - 0 Interlock Mode diag status 7 - 4 Set Point Logic diag status 3 - 0 Heater Jacket Mode diag status 7 - 4 Load Gas Type diag status 3 - 0 Purge Gas Type diag status...
Seite 105
Turbo-V vent valve opened, to PUMP PURGING AND VENTING avoid system overpressures. If the vent valve The Turbo-V 2K-G pump is equipped with an inte- can’t be kept opened, the backing pump grated purging and venting valve device. Both should be left operating.
Seite 106
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS To connect the Turbo-V 2K-G pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen - Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of centering ring as shown in the figure.
Seite 107
Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3.
Seite 108
Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
Seite 109
Sales and Service Offices France and Benelux Japan Other Countries Varian s.a. Varian Vacuum Technologies Varian Inc. 7 Avenue des Tropiques Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 4-16-36 Shibaura Via F.lli Varian 54 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 Minato-ku, Tokyo 108 10040 Leini, (Torino)