Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum IMR 420
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum IMR 420
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original IMR 420 ∣ IMR 430 Bayard-Alpert und Extraktor-Messröhren mit ausheizbarem Messkabel...
- Seite 2 Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
- Seite 3 Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion Statusanzeige Produkt identifizieren Lieferumfang Transport und Lagerung Produkt transportieren Produkt lagern Installation...
- Seite 4 Inhaltsverzeichnis 12.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 13.1 Allgemeines 13.2 Technische Daten 13.3 Abmessungen EG Konformitätserklärung UK Konformitätserklärung 4/36...
- Seite 5 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Mitgeltende Dokumente Tab. 2: Messröhren Tab. 3: Verwendete Abkürzungen Tab. 4: Zulässige Umgebungsbedingungen Tab. 5: Farben der Kontakte Tab. 6: Ersatz-Kathoden Tab. 7: Messkabel Tab. 8: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 9: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 10: Mess- und Druckwerte Tab.
- Seite 6 Abb. 1: Trennvorrichtung gemäß EN 61010-1 Abb. 2: Einzelteile der Messröhre Abb. 3: Ausheizbares Messkabel am Messröhrenflansch anschließen Abb. 4: Kontaktbelegung in Ansicht auf das Einbau-Messsystem Abb. 5: Kathode austauschen Abb. 6: Abmessungen IMR 420 Abb. 7: Abmessungen IMR 430 6/36...
- Seite 7 Pfeiffer Vacuum behält sich technische Änderungen ohne vorherige Anzeige vor. Informationen, die nur auf eines der Produkte zutreffen, sind entsprechend gekennzeichnet. Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen der IMR 420 Messröhre und gelten sinngemäß auch für die IMR 430 Messröhre. Die Abbildungen in diesem Dokument sind nicht maßstabsgetreu.
- Seite 8 Zu dieser Anleitung 1.3 Konventionen 1.3.1 Anweisungen im Text Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau. Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet. Einzelner Handlungsschritt Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit. ►...
- Seite 9 Zu dieser Anleitung Abkürzung Erklärung Hochvakuum Normalnull Druck Schutzleiter (protective earth) PEEK hochtemperaturbeständiger thermoplastischer Kunststoff (Polyetheretherketon) PTFE Polymer aus Fluor und Kohlenstoff (Polytetrafluorethylen) Schutzleiter Messsignal [V] (Ausgangsspannung) Tab. 3: Verwendete Abkürzungen 9/36...
- Seite 10 Hinweise, Tipps oder Beispiele kennzeichnen wichtige Informationen zum Produkt oder zu diesem Dokument. 2.2 Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise nach Lebensphasen des Produkts Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen einer Risikobeur- teilung. Pfeiffer Vacuum hat alle zutreffenden Lebensphasen des Produkts berücksichtigt. 10/36...
- Seite 11 Sobald die Emission eingeschaltet ist, liegen an beiden Steckdosen des IMG 400 berührungsgefährli- che Spannungen an, auch wenn nur ein Messsystem angeschlossen ist. Im Betrieb mit den IMR 420 und IMR 430-Messröhren liegt im Fehlerfall am Messkabelanschluss eine lebensgefährliche Span- nung an.
- Seite 12 Sobald die Emission eingeschaltet ist, liegen an beiden Steckdosen des IMG 400 berührungsgefährli- che Spannungen an, auch wenn nur ein Messsystem angeschlossen ist. Im Betrieb mit den IMR 420 und IMR 430-Messröhren liegt im Fehlerfall am Messkabelanschluss eine lebensgefährliche Span- nung an.
- Seite 13 Sicherheit 2.3 Sicherheitsmaßnahmen Das Produkt ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln ge- baut. Dennoch sind bei unsachgemäßer Verwendung Gefahren für Leib und Leben des Benutzers oder Dritter bzw. Schäden am Produkt und weitere Sachschäden möglich. Informationspflicht zu möglichen Gefahren Der Halter oder Betreiber des Produkts ist verpflichtet, jede Bedienperson auf Gefahren, die von diesem Produkt ausgehen, aufmerksam zu machen.
- Seite 14 ● Verwenden mit nicht geeigneten oder zugelassenen Ersatz- und Zubehörteilen 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
- Seite 15 ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
- Seite 16 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion Die Messröhre IMR 420 ist ein Bayard-Alpert-Messsystem zum Anschluss an ein Ionisationsmessgerät IMG 400. Die Messröhre IMR 430 ist ein Extraktor-Messsystem zum Anschluss an ein Ionisationsmess- gerät IMG 400. Die Funktionsweise dieser passiven Messröhren beruht auf dem Heißkathoden-Ionisati- onseffekt.
- Seite 17 Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung 4.1 Produkt transportieren HINWEIS Beschädigung durch unsachgemäßen Transport Der Transport in einer ungeeigneten Verpackung oder fehlende Transportsicherung führen zu Be- schädigung des Produkts. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Transport ein. Verpackung Wir empfehlen die Transportverpackung und die original Schutzdeckel aufzubewahren. Produkt sicher transportieren ►...
- Seite 18 ► Sehen Sie beim Einbau mehrerer Messsysteme an einem Bauelement (T-Stück oder Kreuzstück) eine optische Trennung vor. Messsysteme können sich gegenseitig beeinflussen und fehlerhafte Ergebnisse liefern. Vorgehen 1. Entfernen Sie die Schutzkappe und bewahren Sie diese auf. 2. Montieren Sie die Messröhre mit Vakuumbauteilen aus dem Pfeiffer Vacuum Komponentenshop am Vakuumsystem. 18/36...
- Seite 19 Sobald die Emission eingeschaltet ist, liegen an beiden Steckdosen des IMG 400 berührungsgefährli- che Spannungen an, auch wenn nur ein Messsystem angeschlossen ist. Im Betrieb mit den IMR 420 und IMR 430-Messröhren liegt im Fehlerfall am Messkabelanschluss eine lebensgefährliche Span- nung an.
- Seite 20 Für den Anschluss des ausheizbaren Messkabels ist die Demontage der Messröhre erforderlich. Distanzstücke Das Einbau-Messystem der Messröhre IMR 420 hat einen größeren Abstand zwischen dem Flansch des Einbau-Messsystems und der Steckerführung. Daher sind 3 Distanzstü- cke zwischen Flansch des Einbau-Messsystems und der Steckerführung eingesetzt.
- Seite 21 Tab. 5: Farben der Kontakte Vorgehen 1. Schließen Sie die Messröhre an das Pfeiffer Vacuum Ionisationsmessgerät IMG 400 an. 2. Achten Sie auf ordnungsgemäße Belegung der Kontakte. Längster Stift = Schutzleiter. Dient zur Orientierung der Montage. Längster Stift = Schutzleiter. Dient zur Orientierung der Montage.
- Seite 22 Betrieb 6 Betrieb Halogen-Gase im Prozess In Anwesenheit von Halogen-Gasen wie Fluor, Chlor, Brom und Jod oder deren Verbindun- gen, wird die Yttriumoxidschicht der Iridium-Kathode innerhalb kürzester Zeit abgetragen. Die Kathoden brennen infolgedessen durch. Fehlmessungen durch Leckströme Feuchtigkeit an den Isolatoren, z. B. Kondenswasser, kann zu Fehlmessungen aufgrund von Leckströmen führen.
- Seite 23 Lesen Sie die Abschnitte mit den Arbeitsanweisungen zuerst komplett durch, bevor Sie mit den Arbeiten beginnen. 7.1 Messröhre abgleichen Pfeiffer Vacuum hat die Messröhre im Werk abgeglichen. Den Kalibrierfaktor der Messröhre finden Sie auf dem Typenschild. Empfindlichkeit einstellen ► Stellen Sie am IMG 400 die Empfindlichkeit mit dem Messröhrenparameter "CAL_FULL" ein.
- Seite 24 Wartung IMR 420 IMR 430 Abb. 5: Kathode austauschen 1 Anode Klemme 2 Kathode Innensechskantschraube Vorgehen 1. Führen Sie den Kathodenwechsel in einem staubfreien Raum durch. 2. Schalten Sie das IMG 400 aus. 3. Trennen Sie das Messkabel vom Einbau-Messsystem der Messröhre.
- Seite 25 Sicherheit und die Gesundheit des Servicepersonals. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Versand ein. Kostenpflichtige Dekontamination Pfeiffer Vacuum dekontaminiert nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Pro- dukte kostenpflichtig. Produkt sicher versenden ► Senden Sie mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Produkte nicht ein.
- Seite 26 Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
- Seite 27 Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
- Seite 28 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
- Seite 29 ► Halten Sie die Artikelnummer und ggf. noch weitere Angaben auf dem Typenschild bereit. ► Setzen Sie nur originale Ersatzteile ein. Bestellnummer Auswahlfeld PT 120 020 -T Ersatz-Kathode für IMR 420 (inkl. Schraubendreher 0,89 mm) PT 120 021 -T Ersatz-Kathode für IMR 430 (inkl. Schraubendreher 0,89 mm) Tab. 6: Ersatz-Kathoden...
- Seite 30 12.2 Zubehör bestellen Bestellnummer Auswahlfeld PT 548 332 -T Messkabel IMG 400 für IMR 420 und IMR 430, 3 m PT 548 333 -T Messkabel IMG 400 für IMR 420 und IMR 430, 5 m PT 548 334 -T Messkabel IMG 400 für IMR 420 und IMR 430, 10 m PT 548 338 -T Messkabel IMG 400 für IMR 420 und IMR 430, 50 m...
- Seite 31 78,9 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 atm cm Tab. 9: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz 13.2 Technische Daten Parameter IMR 420 IMR 430 Messbereich 1 × 10 – 2 × 10 1 × 10 – 2 × 10 Messprinzip Bayard-Alpert Extraktor-System Flanschverbindung...
- Seite 32 +20 – +80 °C Max. Flanschtemperatur mit ausheizbarem Messkabel 250 °C Max. Umgebungstemperatur ohne elektrischen Anschluss 400 °C Lagerung +20 – +50 °C Tab. 13: Temperaturen Bauteil IMR 420 IMR 430 Durchführungsstifte Nickel-Eisen-(NiFe)-Legierung Nickel-Eisen-(NiFe)-Legierung Isolator Keramik (Al Keramik (Al Durchführungsteller Nickel-Eisen-(NiFe)-Legierung...
- Seite 33 Technische Daten und Abmessungen 13.3 Abmessungen Ø69.4 Ø33 DN 40 CF Diameter of power feedthrough on vacuum side Abb. 6: Abmessungen IMR 420 Abmessungen in mm Ø69.4 Ø33 DN 40 CF Diameter of power feedthrough on vacuum side Abb. 7: Abmessungen IMR 430...
- Seite 34 Diese Konformitätserklärung wurde unter der alleinigen Verantwortung des Herstellers aus- gestellt. Erklärung für Produkt(e) vom Typ: Messröhren IMR 420 in Betrieb mit IMG 400 IMR 430 in Betrieb mit IMG 400 Hiermit erklären wir, dass das aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestimmungen folg- ender europäischer Richtlinien entspricht.
- Seite 35 EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...