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Die Gasartabhängigkeit im Druckbereich 10
mit folgender Korrekturrechnung berücksichtigt:
p
= C × angezeigter Druck
eff
wobei
Gasart
Luft, O
Wasserdampf
Freon 12
(Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte)
Die Gasartabhängigkeit im Druckbereich <10
rechnung berücksichtigt (Transmitter für Luft abgeglichen):
p
= C × angezeigter Druck
eff
wobei
Gasart
Luft, O
(Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte)
Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Eine
genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Messgeräten
möglich.
-2
... 1 mbar (Pirani-Druckbereich) wird
Kalibrierfaktor C
, CO, N
1.0
2
2
CO
0.9
2
0.5
0.7
H
0.5
2
He
0.8
Ne
1.4
Ar
1.7
Kr
2.4
Xe
3.0
-3
mbar wird mit folgender Korrektur-
Kalibrierfaktor C
, CO, N
1.0
2
2
He
5.9
Ne
4.1
H
2.4
2
Ar
0.8
Kr
0.5
Xe
0.4
Anhang
Kalibrieren im Druckbereich
10
... 1 mbar
-2
Kalibrieren im Druckbereich
<10
mbar
-3
17200137_001_C0 – (2016-10) –
49
Leybold
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