Verwandte Anleitungen für LEYBOLD IONIVAC ITR 200 S
Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD IONIVAC ITR 200 S
- Seite 1 IONIVAC ITR 200 S, ITR 200 SL ITR 200 SP, ITR 200 SD Dual Filament Bayard-Alpert Pirani Transmitter Gebrauchsanleitung 17200137_001_C0 Kat.-Nummern 230 250 230 251 230 252 230 253 230 254 230 255 230 256 230 257 230 258...
- Seite 2 Allgemeine Hinweise Produktidentifikation Im Verkehr mit Leybold sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit den Katalognummern: ITR 200 S (ohne Anzeige, 1 Schaltfunktion) 230 250 (DN 25 ISO-KF)
- Seite 3 Der Transmitter ITR 200 SD verfügt über eine Feldbusschnittstelle gemäß DeviceNet-Standard (→ [6]) und zwei einstellbare Schaltfunktionen mit Relais- kontakt. Messteil und Auswerteelektronik des Transmitters entsprechen der Basisausfüh- rung. Lieferumfang 1 × Transmitter 1 × Kurzanleitung deutsch 1 × Kurzanleitung englisch 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 4 3 Einbau 3.1 Vakuumanschluss 3.1.1 Elektronikeinheit abnehmen / aufsetzen 3.1.2 Optionales Baffle einbauen / ausbauen 3.2 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Verwendung mit einem Leybold-Messgerät 3.2.2 Verwendung mit anderen Auswertegeräten 3.2.3 Verwendung des optionalen 24 VDC-Netzteils (mit RS232C-Leitung) 4 Betrieb 4.1 Messprinzip, Messverhalten 4.2 Arbeitsweise des Transmitters...
- Seite 5 Inhalt Anhang Beziehung zwischen Messsignal und Druck Gasartabhängigkeit Literatur Kontaminationserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→ XY) verwendet, für Verweise auf weitere, im Literaturverzeichnis aufgelistete, Dokumente das Symbol (→ [Z]). 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 6 Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult worden sind. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 7 Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung Leybold übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten •...
- Seite 8 0.75 V/Dekade (→ Anhang A) Fehlersignal (→ 42) ≈+0.1 VDC EEPROM-Fehler Heißkatodenfehler ≈+0.3 VDC Piranifehler ≈+0.5 VDC Minimale Lastimpedanz 10 kΩ Identifikation Transmitteridentifikation 42 kΩ zwischen Pin 10 und Pin 5 (Messkabelstecker) 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 9 LCD-Matrix, 32×16 Pixels, mit Hintergrundbeleuchtung (nur Kat.-Nr. 230 251, 230 255 und 230 258) Masse 17 mm × 12 mm Druckeinheiten mbar (ab Werk), Torr, Pa Umstellen der Druckeinheit über RS232C, → 30 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 10 Iridium, Yttriumoxyd (Y Katodenhalter Molybdän, Platin Pirani-Element Wolfram, Kupfer Inneres Volumen ≈24 cm DN 25 ISO-KF ≈34 cm DN 40 CF-R Druck max. 2 bar (absolut) Leybold-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. Spannungsabfall auf Speiseleitungen berücksichtigen. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 11 Höhe bis zu 2000 m NN Einbaulage beliebig Schutzart IP 30 Abmessungen [mm] 4-40UNC 2B 4-40UNC 2B DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R Am Vakuumanschluss, Einbaulage horizontal, ohne Elektronikeinheit. Am Vakuumanschluss, Einbaulage horizontal, mit Elektronikeinheit. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 12 Versionen. Gewicht 230 250, 230 251 ≈450 g 230 254, 230 255 ≈710 g 230 252, 230 253 ≈490 g 230 256, 230 257 ≈750 g 230 258 ≈917 g 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 13 (→ 38, 41). Beachten Sie beim Einbau den Platzbedarf für das Ein-/ Ausstecken und die zulässigen Biegeradien der Kabel. Bei Transmittern mit Anzeige soll das Ablesen der Anzeige bequem möglich sein. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 14 Schutzkappe (aufbewahren) Spannelement 3.1.1 Elektronikeinheit abnehmen / aufsetzen Benötigtes Werkzeug / • Innensechskantschlüssel SW 2.5 Material Elektronikeinheit abnehmen Innensechskant-Gewinde- stift (1) seitlich an der Elektronikeinheit (2) lösen. Elektronikeinheit ohne Drehbewegung ab- nehmen. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 15 Transmitter ausgebaut (Ausbau → 39). Voraussetzung Benötigtes Werkzeug / Material • Baffle (→ 45) • Spitze Pinzette • Stift (z.B. Bleistift) • Schraubendreher Nr. 1 Baffle einbauen Das Gitter mit der Pinzette vorsichtig entfernen. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 16 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Verwendung mit einem Leybold-Messgerät Für den Betrieb mit einem Leybold-Messgerät der Center-Serie wird ein ent- sprechendes Messkabel benötigt (→ [7]). Dieses Kabel erlaubt die Speisung des Transmitters, das Übertragen von Messwerten und Gerätezuständen sowie das Einstellen von Geräteparametern.
- Seite 17 Einbau Kabeldose des Messkabels am Transmitter anschließen und mit den Schrauben sichern. Das andere Ende des Messkabels an das Leybold-Messgerät anschließen und sichern. 3.2.2 Verwendung mit anderen Auswertegeräten Der Transmitter kann auch mit einem anderen Auswertegerät betrieben werden.
- Seite 18 Für den normalen Betrieb des Transmitters darf Pin 3 nicht angeschlossen werden. Masse 24V-Spannung Dieser Anschluss dient ausschließlich der D-Sub,15 polig Erde Schwellwerteinstellung der Schaltfunktion Buchsen, (Gehäuse, Vakuumanschluss) (→ 38). lötseitig → Tabelle 27. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 19 Speisungs-Masse (Pin 5) gemessen werden. Bei größerer Leitungs- länge ist differentielle Messung zwischen Signalausgang (Pin 2) und Messsignal Masse (Pin 12) empfohlen. Kabeldose zusammenbauen. Das andere Kabelende gemäß dem Anschluss des Auswertegerätes vor- bereiten und konfektionieren. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 20 (→ [4], [6]). Vorgehen DeviceNet-Kabel gemäß folgenden Angaben herstellen. Micro-Style, 5-polig, (DeviceNet) Buchsen, lötseitig Pin 1 Drain Pin 2 Speisung (nur DeviceNet-Schnittstelle) +24 VDC Pin 3 Speisungserde (nur DeviceNet-Schnittstelle) Pin 4 CAN_H Pin 5 CAN_L 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 21 Pin 6 Pin 7 nicht anschließen Pin 8 RxD/TxD-N Pin 9 nicht anschließen Wird nur bei Verwendung von optical link-Modulen angeschlossen. Wird nur bei Endgeräten im Profibussystem zum Leitungsabschluss be- nötigt (→ [3]). 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 22 24 VDC-Kabel 5 Meter, schwarz Auswertegeräteanschluss RS232C-Anschluss D-Sub-Dose, 9-polig Kabel 5 Meter, schwarz, 3-polig abgeschirmt Schema RS232C D-Sub, 9-polig ITR 200 Sx D-Sub, 15-polig +24 V Netz 90 ... 250 VAC 50 ... 60 Hz 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 23 Anschließen des Netzteils Das Netzteil an den Transmitter anschließen und die Kabeldose mit den Schrauben verriegeln. Das RS232C-Kabel an das Auswertegerät anschließen und die Kabeldose mit den Schrauben verriegeln. RS232C Netzteil Netz ITR 200 Sx 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 24 Drahtes und damit seine Temperatur konstant gehalten. Die dem Draht zugeführte elektrische Leistung ist dann ein Maß für die durch Wärmeleitung im Gas abgeführte Leistung und damit den Gasdruck. Das Grundprinzip der verwen- deten selbstabgleichenden Brückenschaltung zeigt folgendes Prinzipschaltbild: 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 25 Zu Beginn jedes Einschaltvorganges (Emission Ein) wählt der Transmitter alternie- rend eines der beiden Filamente aus. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Al- terung der Filamente. Die Auswahl kann jedoch auch manuell über die Schnittstel- len erfolgen (→ 28, 30 [1] und [2]). 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 26 (+24 V) auf AUS (0 V) wechseln, um dann mit EIN (+24 V) erneut Degas zu star- ten. Es wird empfohlen, das Degas-Signal jeweils nach 3 Minuten Ausheizen durch die Steuerung wieder auf AUS zu setzen, um wieder den ursprünglichen Be- triebszustand herzustellen. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 27 Filament-Status Relaiskontakt (→ Schema 18) Beide Filamente O.K. geschlossen Ein Filament defekt offen Beide Filamente defekt offen Wir empfehlen, den Sensor nach Bruch des ersten Filamentes auszu- tauschen (Sensor austauschen → 44). 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 28 (ausführliche Informationen → 30, [1], [2]). Das Ein-/Ausschalten der Emission über RS232 ist auf Seite 33 be- schrieben. Für die Feldbus-Transmitter wird das Vorgehen in [1] bzw. [2] erläutert. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 29 (→ 30). Druckanzeige Druck-Messwert Druckeinheit Funktionsanzeige Funktionsanzeige (keine) Piranibetrieb Emission 25 μA Emission 5 mA Degas Fehleranzeige Kein Fehler (grüne Hintergrundbe- leuchtung) Pirani-Sensorfehler (rote Hintergrundbe- leuchtung) Bayard-Alpert-Sensorfehler (rote Hintergrundbe- leuchtung) EEPROM-Fehler (rote Hintergrundbe- leuchtung) 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 30 Paritätsbit Elektrische Anschlüsse • • • (Messkabelstecker) 4.9.1.1 Sendestring Der gesamte Sendestring (Frame) ist neun Bytes lang (Byte 0 … 8). Davon ent- fallen sieben Bytes auf den Datenstring (Byte 1 … 7). 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 31 Toggle-Bit, ändert bei jedem richtig verstandenen Empfangsstring Bit 5 Bit 4 Definition aktuelle Druckeinheit mbar aktuelle Druckeinheit Torr aktuelle Druckeinheit Pa Bit 6 Definition Filament 1 aktiv Filament 2 aktiv Bit 7 Definition nicht verwendet Filament 2 aktiv 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 32 (01 47 High Byte wird ignoriert Checksumme = 47 4.9.1.2 Empfangsstring Für die Befehlsübermittlung an den Transmitter wird ein Empfangsstring (Frame) aus fünf Bytes übertragen (ohne <CR>). Byte 1 … 3 bilden den Datenstring. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 33 Definiert den "Filament Control Mode" (→ 28): AUTO = Filamentwahl automatisch durch Transmitter gesteuert MAN = Filamentwahl manuell über Schnittstellen gesteuert. Der Befehl "Filament x wählen" kann zu jeder Zeit gesendet werden, er wird jedoch erst bei ausgeschalteter Emission ausgeführt. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 34 4.10.2.1 Betriebssoftware Der Transmitter muss vor der Inbetriebnahme im DeviceNet konfiguriert werden. Dies geschieht mit einem Konfigurations-Tool und der gerätespezifischen EDS- Datei (Electronic Data Sheet). Die EDS-Datei kann vom Internet heruntergeladen werden (→ [7]). 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 35 Zwei LEDs auf dem Transmitter erlauben eine grobe Beurteilung des Transmitter- zustandes und des aktuellen DeviceNet-Status. "STATUS MOD" (Transmitter- Beschreibung Status) dunkel keine Speisung blinkt Selbsttest rot-grün grün Normalbetrieb Nicht korrigierbarer Fehler "STATUS NET" (Netzwerk-Status) 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 36 • Status- und Fehlermeldungen • Status der Schaltfunktionen 4.11.2 Betriebsparameter Aufgrund der relativ hohen Komplexität des Profibus-Protokolls wird hier nur auf die Schnittstellenanleitung (→ [1]) verwiesen. Dort werden Geräteparameter und Programmierung ausführlich beschrieben. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 37 Schwellwert Schaltpunkt Die Konstante c ist abhängig von der Druckeinheit (→ Anhang A). Messsignal (Druck p) Hysterese 10% U (Schaltpunkt) Schwellwert Schwellwert Zeit t Schaltfunktion Die Hysterese der Schaltfunktionen beträgt 10% des eingestellten Schwellwertes. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 38 • Status-Abfrage über die Feldbus-Schnittstelle (für ITR 200 SD → [2], für ITR 200 SP → [1]). • Ausmessen der Relaiskontakte mit einem Durchgangsprüfer oder Ohmmeter am Messkabelanschluss (→ 18, 19). 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 39 Falls eine übergeordnete Steuerung vorhanden ist, können je nach Programmierung Störungen auftreten bzw. Fehlermeldun- gen ausgelöst werden. Allfällige Abschalt- und Anfahrprozeduren sind zu berücksichti- gen. Transmitter außer Betrieb setzen, Spannungsversorgung ausschalten. Alle Kabel vom Transmitter lösen. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 40 Ausbau Transmitter vom Vakuumsystem demontieren und Schutzkappe aufsetzen. Schutzkappe 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 41 Der Abgleich gilt für das analoge Ausgangssignal, den angezeigten Wert von Transmittern mit Anzeige und den Messwert der digitalen Schnittstellen. • Benötigtes Werkzeug Stift ca. ø1.3 × 50 mm (z.B. eine aufgebogene Büroklammer) 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 42 Ersatz-Sensor (nach Befund) Fehlerdiagnose am Das Messsignal steht am Messkabelstecker (Pin 2 und Pin 12) zur Verfügung. Transmitter Wenn ein Fehler aufgetreten ist, empfiehlt es sich die Betriebsspannung auszuschalten und nach 5 s wieder einzuschalten. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 43 < <∞ 9 + 1 Elektrode – Masseschluss ∞ < <∞ 6/7/8 + 3 Schluss zwischen Elektroden ∞ < <∞ 9 + 3 ∞ Schluss zwischen Elektroden < <∞ → auch "Filament-Status", 27. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 44 Innensechskantschlüssel SW 2.5 Material • Ersatz-Sensor (→ 45) Vorgehen Transmitter ausbauen (→ 39). Elektronikeinheit vom defekten Sensor abnehmen und auf neuen Sensor aufsetzen (→ 14). Transmitter abgleichen (→ 41). 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 45 Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunter- nehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung (→ 51) beilegen. Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kosten- pflichtig dekontaminiert. Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kosten- pflichtig zurückgesandt. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 46 Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch usw.) müssen entsprechend den länderspezifischen Vorschriften dekontaminiert, entsprechend Bauteile ihrer Materialart getrennt und entsorgt werden. Nicht kontaminierte Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen und der Wiederver- wertung zuzuführen. Bauteile 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 47 U = 0.75 × (log p - c) + 7.75 wobei [mbar] [Pa] [Torr] -0.125 Druck p [mbar] Umrechnungskurve 1E+04 1E+03 1E+02 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 10.0 Messsignal U [V] 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 48 Nicht zulässiger Bereich B: Gasartabhängigkeit Anzeigebereich Angezeigter Druck (Transmitter für Luft abgeglichen, reiner Pirani-Betrieb) über 10 mbar p (mbar) He Ne Luft Anzeigenbereich Freon 12 über 10 mbar –1 Dampf –2 –3 –3 –2 –1 (mbar) 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 49 Kalibrierfaktor C Luft, O , CO, N (Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte) Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich. 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 50 Anhang Literatur [1] www.leybold.com Schnittstellenbeschreibung Profibus ITR 200 SP 17200028_001 Leybold GmbH, D–50968 Köln, Deutschland [2] www.leybold.com Schnittstellenbeschreibung DeviceNet™ ITR 200 SD 17200138_002 (nur englisch) Leybold GmbH, D–50968 Köln, Deutschland [3] www.profibus.com (Profibus-Anwenderorganisation) [4] www.odva.org DeviceNet™ Specifications Open DeviceNet Vendor Association, Inc.
- Seite 51 Kontaminationserklärung Kontaminationserklärung 17200137_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
- Seite 52 Vertriebs- und Servicenetz Deutschland Amerika Großbritannien Leybold Japan Co., Ltd. Tsukuba Technical Service Center 1959, Kami-yokoba Leybold GmbH Leybold UK LTD. Sales, Service, Support Center (3SC) Unit 9 Tsukuba-shi, Ibaraki-shi 305-0854 Leybold USA Inc. Bonner Straße 498 Silverglade Business Park...