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Gerätebeschreibung
♦ Schritt 9 (Probe ohne Kassette)
Achtung: Wenn am Spektrometer der 12-fache Probenwechsler
oder ein X-Y-Kassettenmagazin installiert ist, dürfen Proben
niemals ohne Kassetten oder Probenhalter geladen werden.
Die folgende Abbildung zeigt eine Probe ohne Kassette in der Messposition; diese Probe liegt einfach auf
dem Adapterring. Der Spektrometerlift hebt die Probe in die Messposition. Diese Bewegung wird durch
einen Sensor überwacht. Somit können Proben verschiedener Dicke gemessen werden. Der Lift kann auch
schiefe Probenoberflächen von bis zu 2 mm ausgleichen.
Die Kassette mit der Probe wird durch den Spektrometerlift in die Messposition gehoben (siehe Bewegung
„a"). Die Probe wird rotiert (siehe Bewegung „a") und die Messequenz wird gestartet.
Primary
Primärkammer
chamber
Spectrometer
Pumpleitung
pumping line
Spektrometer
Am Ende der Messzeit wird die Probenrotation gestoppt und die Probenkassette bzw. der Probenhalter wird
nach der Rückfahrsequenz entladen und an seine ursprüngliche Position verfahren.
AA83660
Betriebsanleitung Gerätereihe ARL 9900 INTELLIPOWER
Dummy
Simulations-
cassette
kassette
Spectrometer
Spektrometer-
Adaptation
Adapterring
Tank
tank
ring
Ball bearing for
Kugellager für
sample rotation
Probenrotation
Moving Parts
Bewegliche Baugruppen
Strukturbaugruppen
Structure Parts
Abdichtbaugruppen
Washer Parts
Abbildung 3.50
Sample
Probe
Vakuum
Vacuum
Luft
Air
Kapitel 3
a
3-45
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