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Gerätebeschreibung
♦ Schritt 6
Der Schlitten und die Kassette und/oder der Probenhalter werden durch den Verfahrmechanismus aus der
Primärkammer herausgefahren (siehe Bewegung „a").
♦ Schritt 7
Die Probe in der Kassette und/oder auf dem Probenhalter wird dann mit dem Schlitten in den
Spektrometertank gefahren (siehe Bewegung „a").
Primärkammer
Pumpleitung
Spektrometer
AA83660
Betriebsanleitung Gerätereihe ARL 9900 INTELLIPOWER
a
Primary chamber
Pumpleitung Primärkammer
pumping line
Abbildung 3.46
Spektrometertank
a
Bewegliche Baugruppen
Strukturbaugruppen
Abdichtbaugruppen
Abbildung 3.47
Bewegliche Baugruppen
Moving Parts
Strukturbaugruppen
Structure Parts
Washer Parts
Abdichtbaugruppen
Vakuum
Vacuum
Air
Luft
Spectrometer
Spektrometertank
Tank
Spectrometer
Pumpleitung Spektrometer
pumping line
Vakuum
Luft
Kapitel 3
3-43
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