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Gerätebeschreibung
♦ Schritt 2
Der Probenkammerlift fährt die Kassette und/oder den Probenhalter in den Schlitten (siehe Bewegung „a").
♦ Schritt 3
Die Primärkammer wird geschlossen (siehe Bewegung „a").
AA83660
Betriebsanleitung Gerätereihe ARL 9900 INTELLIPOWER
a
Primärkammer
Abbildung 3.42
a
Pumpleitung
Primärkammer
Abbildung 3.43
Bewegliche Baugruppen
Strukturbaugruppen
Abdichtbaugruppen
Vakuum
Luft
Spektrometertank
Pumpleitung
Spektrometer
Bewegliche Baugruppen
Strukturbaugru
ppen
Abdichtbaugru
ppen
Vakuum
Luft
Spektrometertank
Pumpleitung
Spektrometer
Kapitel 3
3-41
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