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Kapitel 3
♦ Schritt 4
Die Primärkammer wird durch die mechanische Pumpe evakuiert (siehe Vorgang „a").
♦ Schritt 5
Sobald das Vakuum erreicht ist, fährt der Lift weiter nach unten, um den Ring zu öffnen und dadurch den
Schlitten zu entriegeln (siehe Bewegung „a").
Gehäuse
Shell
3-42
Betriebsanleitung Gerätereihe ARL 9900 INTELLIPOWER
Primary chamber
Pumpleitung
pumping line
Primärkammer
Abbildung 3.44
Ring
a
Primary chamber
Pumpleitung Primärkammer
pumping line
Abbildung 3.45
Bewegliche Baugruppen
Moving Parts
Strukturbaugruppen
Structure Parts
Washer Parts
Abdichtbaugruppen
Vakuum
Vacuum
Air
Luft
Spectrometer
Pumpleitung
pumping line
Spektrometer
a
Moving Parts
Bewegliche Baugruppen
Structure Parts
Strukturbaugruppen
Washer Parts
Abdichtbaugruppen
Vacuum
Vakuum
Air
Luft
Spectrometer
Pumpleitung Spektrometer
pumping line
Gerätebeschreibung
Spectrometer
Spektrometertank
Tank
Spectrometer
Spektrometertank
Tank
AA83660
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