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11 – M1 FAILURE
M1 ist der Motor, der das Ventil VR im Uhrzeigersinn dreht. Falls die Position
ERKLÄRUNG
des Ventils sich nicht innerhalb von 10 sec. Ändert, wird diese
Fehlermeldung ausgelöst. Das löst keinen blockierenden Fehler aus, da mit
Motor M2 das Ventil gegen den Uhrzeigersinn gedreht werden kann.
Mögliche Fehler: M1, Verkabelung, Platine IOB.
GRUND
Keine Fehlerbehebung durch den Anwender möglich. Falls das Problem
LÖSUNG
weiterbesteht rufen Sie unseren technischen Service.
12 - M2 FAILURE
M2 ist der Motor, der das Ventil VR gegen den Uhrzeigersinn dreht. Falls
ERKLÄRUNG
die Position des Ventils sich nicht innerhalb von 10 sec. Ändert, wird diese
Fehlermeldung ausgelöst. Das löst keinen blockierenden Fehler aus, da mit
Motor M1 das Ventil im Uhrzeigersinn gedreht werden kann.
Mögliche Fehler: M2, Verkabelung, Platine IOB.
GRUND
Keine Fehlerbehebung durch den Anwender möglich. Falls das Problem
LÖSUNG
weiterbesteht rufen Sie unseren technischen Service.
13 - VR MSW FAILURE
Der Mikroschalter des Ventils VR arbeitet nicht richtig. Das hat keinen Stop
ERKLÄRUNG
des Gerätes zur Folge. Das VR arbeitet weiter, aber die Kontrollfunktionen
des VR sind nicht mehr verfügbar.
Mögliche Fehler: VR, Mikroschalter, Verkabelung.
GRUND
Keine Fehlerbehebung durch den Anwender möglich. Falls das Problem
LÖSUNG
weiterbesteht rufen Sie unseren technischen Service.
20 - PROC SUSP USER
Der Prozess wurde unterbrochen, entweder durch Öffnen der Kammer oder
ERKLÄRUNG
auf Anforderung des Bedieners.
Falls der Kammerdeckel geöffnet wird oder der Bediener mit ESC und ENTER
GRUND
den Prozess unterbrochen hat, wird der Prozess vorübergehend
unterbrochen. Nach Schließen des Deckels wird der Prozess automatisch
weitergeführt (nach 3 min oder durch Drücken von ENTER).
Schließen Sie den Deckel. Falls der Prozess nicht startet, warten Sie 3 min
LÖSUNG
(dann wird die Funktion des Mikroschalters geprüft). Falls der Mikroschalter
defekt ist, wird er vom System abgeschaltet und der Prozess wird
fortgeführt. Falls der Deckel geschlossen ist, aber das System zeigt, dass er
offen ist, ist der Mikroschalter defekt oder nicht in der richtigen Position.
Während Sie auf den Service warten, kann er manuell im SETUP Menu
ausgeschaltet werden.
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