INFICON E3000 Handbuch Seite 86

Tabelle 13: Gase und ihre Massenposition (Forts.)
Gas Formel
R1234z(e) C H F
3 2 4
R1243z(f) C H F
3 3 3
Ar Argon
CO2 R744
H2 Wasserstoff
H2O R718
He Helium
HT135 Galden HT135
Kr Krypton
N2 Stickstoff
Ne Neon
NH3 R717
O2 Sauerstoff
SF6
Xe Xenon
ZT130 Galden ZT130
86
10 Anhang
Andere Messposition
Bezeichnung (xxx amu)
69
64
95
95
77
51
69
96
40
44
2
18
4
100
69
119
169
131
84
28
20
17
32
127
129
132
100
117
119
69
135
Molekülmasse Fragmentierungs-
(xxx.x amu) Faktor
114,0 1,00
0,82
0,48
96,0 1,00
0,52
0,48
0,41
0,85
40,0 1,00
44,0 1,00
2,0 1,00
18,0 1,00
4,0 1,00
610,0 0,08
1,00
0,45
0,42
0,03
84,0 1,00
28,0 1,00
20,2 1,00
17,0 1,00
32,0 1,00
146,1 0,80
131,3 1,00
1,00
497,0 0,25
0,32
1,00
0,50
0,12
Normalisierungs- Viskosität
faktor (x.xExx)
3,4E+08 0,600
2,9E+08 0,600
7,0E+07 1,127
1,0E+08 0,744
1,8E+06 0,448
7,0E+07 0,459
2,4E+07 1,000
1,2E+07 1,000
7,0E+07 1,275
7,0E+07 0,892
7,0E+07 1,586
7,0E+07 0,505
7,0E+07 1,030
9,1E+07 0,765
7,0E+07 1,153
7,0E+07 1,000