Verwandte Anleitungen für INFICON Edge CDG045D2
Inhaltszusammenfassung für INFICON Edge CDG045D2
- Seite 1 Capacitance Diaphragm Gauge ™ Edge CDG045D2 ™ Edge CDG100D2 Gebrauchsanleitung inkl. EU-Konformitätserklärung tina86d1-c (2019-03)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihen Edge CDG045D2 und Edge CDG100D2. Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte an- geführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und un- terscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter (z. - Seite 3 ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0 ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 tina86d1-c (2019-03)
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Seite 4: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Absolutdruck-Messung von Gasen in unter- schiedlichen Messbereichen (→ 2). Die Messröhren gehören zu der Edge™ Familie und können mit einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder mit einem kunden- eigenen Auswertegerät betrieben werden. Funktion Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt. -
Seite 5: Marken
Marken Edge™ INFICON GmbH ® Swagelok Marketing Co. Patente EP 1070239 B1, 1040333 B1 US Patente 6528008, 6591687, 7107855, 7140085 Lieferumfang 1× Messröhre in Reinraumverpackung 1× Schutzschale (nur CDG100D2) 1× Taststift 1× Kalibrierzertifikat 1× Gebrauchsanleitung deutsch 1× Gebrauchsanleitung englisch tina86d1-c... -
Seite 6: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion Marken Patente Lieferumfang Sicherheit Verwendete Symbole Personalqualifikation Grundlegende Sicherheitsvermerke Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten Einbau Vakuumanschluss Elektrischer Anschluss 3.2.1 Stecker D-Sub, 9-polig 3.2.2 Stecker D-Sub, 15-polig Betrieb Anzeigen Messröhre abgleichen Schaltfunktionen Werkseinstellungen laden (Factory Reset) Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle) Ausbau Elektrischen Anschluss trennen... - Seite 7 Literatur ETL-Zertifizierung EU-Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→ XY) verwen- det, für Verweise auf weitere, im Literaturverzeichnis aufgeliste- te, Dokumente das Symbol (→ [Z]). tina86d1-c (2019-03)
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Seite 8: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis <…> Beschriftung Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend ge-... -
Seite 9: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen usw.) vornehmen... -
Seite 10: Technische Daten
Technische Daten Weitere technische Daten für Messröhren mit EtherCAT- Schnittstelle → [6], [7]. → "Gültigkeit" Messbereich Genauigkeit 0.15% vom Messwert Temperatureinfluss auf Nullpunkt 0.0025% F.S./ °C Temperatureinfluss auf Bereich 0.02% vom Messwert / °C 0.003% F.S. Auflösung Gasartabhängigkeit keine Ausgangssignal analog (Messsignal) Messbereich... - Seite 11 Schaltfunktion SP1, SP2 Einstellbereich 0 … 99% F.S. (0 … 9.9 V) Hysterese 1% F.S. 30 V (dc) / ≤0.5 A (dc) Relaiskontakt potentialfrei (NO) p ≤ p geschlossen (LED leuchtet) p ≥ p offen (LED aus) ≤50 ms Schaltzeit Status-Relais 30 V (dc) / ≤0.5 A (dc) Relaiskontakt...
- Seite 12 ≤14 W CDG100D2 mit Feldbus während Aufheizphase ≤16.5 W CDG045D2 ≤21.5 W CDG100D2 in Betrieb ≤11.5 W CDG045D2 ≤15.5 W CDG100D2 Sicherung vorzuschalten 1.6 AT Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung und Überlast geschützt. INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina86d1-c (2019-03)
- Seite 13 Anschluss elektrisch 3Cx5-xxx-01xx D-Sub 9-polig, Stifte 3Cx5-xxx-23xx D-Sub 15-polig, Stifte Messkabel 3Cx5-xxx-01xx 9-polig plus Abschirmung 3Cx5-xxx-23xx 15-polig plus Abschirmung Kabellänge ≤ 4 m (0.14 mm²/Leiter) Versorgungsspannung 15 V ≤ 7 m (0.25 mm²/Leiter) ≤20 m (0.14 mm²/Leiter) Versorgungsspannung 24 V ≤35 m (0.25 mm²/Leiter) ≤40 m (0.14 mm²/Leiter) Versorgungsspannung 30 V...
- Seite 14 Verwendung nur in Innenräumen, Höhe bis zu 2000 m NN Schutzart IP 40 Gewicht <650 g Abmessungen [mm] tina86d1-c (2019-03)
- Seite 15 Beziehung Messsignal analog – Druck Druck p 1.1×F.S. 1.0×F.S. 0.9×F.S. 0.8×F.S. 0.7×F.S. 0.6×F.S. 0.5×F.S. 0.4×F.S. 0.3×F.S. 0.2×F.S. 0.1×F.S. 0.0×F.S. Messsignal U p = (U / 10 V) × p (F.S.) Umrechnung Torr ↔ Pascal Torr mbar 1013.25 / 760 = 101325 / 760 = 1.00 1.3332…...
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Seite 16: Einbau
Einbau WARNUNG Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. GEFAHR Heiße Oberfläche (nur CDG100D2 und Betriebs- temperatur >40°C) Das Berühren der heißen Oberfläche (>65 °C) kann zu Verbrennungen führen. Heiße Teile gegen unabsichtliches Berühren schüt- zen und Warnhinweis anbringen. - Seite 17 GEFAHR Überdruck im Vakuumsystem >2.5 bar Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtun- gen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr stand- halten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden. GEFAHR Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein.
- Seite 18 Vorsicht Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen. Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Ein- baulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechte bis stehende Einbaulage zu bevorzugen.
- Seite 19 Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem an- schließen. Dichtung mit Zentrierring Schutzkappe Spannelement Schutzkappe aufbewahren. Schutzschalen anbringen (nur CDG100D2). Schutzschale tina86d1-c (2019-03)
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Seite 20: Elektrischer Anschluss
Steckergehäuse mit der Erde verbinden. Das andere Schirmende offen lassen. • Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutz- erde verbinden. • Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte Signal- und Speisungserde). • Potentialdifferenz zwischen Speisungserde und Gehäuse ≤18 V (Überspannungsschutz). INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina86d1-c (2019-03) -
Seite 21: Stecker D-Sub, 9-Polig
3.2.1 Stecker D-Sub, 9-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß fol- gendem Schema herstellen. Messkabel anschließen (Kabel- länge und -querschnitt → 13). Pin 1 Signalausgang (Messsignal) Pin 2 n.c. Pin 3 n.c. Pin 4 Speisung (+14 … +30 V oder +15 V) Pin 5 Speisung (-15 V) Pin 6 n.c. -
Seite 22: Stecker D-Sub, 15-Polig
3.2.2 Stecker D-Sub, 15-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß fol- gendem Schema herstellen. Messkabel anschließen (Kabel- länge und -querschnitt → 13). Pin 1,4 Relais SP1, Schließer Pin 2 Signalausgang (Messsignal) oder Schwellwerte SP1/2 Pin 3 Status Pin 5 Speisungserde Pin 6... -
Seite 23: Betrieb
Betrieb Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb. Bei Verwendung mit einem INFICON-Messgerät den Messbereich eingeben (nur → VGC032 oder VGC40x-Serie, [1], [2], [3]). Beachten Sie eine Aufwärmzeit der Messröhre von mindestens 90 Minuten, bei Präzisionsmessungen mindestens 3 Stunden. Bei schnellen Downstream-Druckregelungen empfehlen wir das Signalfilter der Messröhre auf "Schnell"... -
Seite 24: Anzeigen
Anzeigen DIAG ZERO Zustand Bedeutung <STATUS> Keine Versorgungsspannung leuchtet grün Messmodus blinkt grün kurzes Aufblinken Warnung, außerhalb Messbereich langes Aufblinken Aufwärmen leuchtet rot Fehler p ≤ Schaltpunkt 1 <SP1> leuchtet grün blinkt grün Schaltpunkt 1 einstellen p > Schaltpunkt 1 p ≤... - Seite 25 • den digitalen Input "Remote Zero": Am Pin 10 (15-polig) oder am Pin 7 (9-polig) die Versorgungs- spannung anlegen (Impuls → 10), • die RS232C-Schnittstelle (→ [5]), • ein INFICON-Messgerät (VGC-Serie). Während der Aufwärmphase und bei Atmosphärendruck ist der Nullpunktabgleich verriegelt, um Fehlbe- dienungen zu verhindern.
- Seite 26 Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entspre- chend der nachfolgenden Tabelle: Empfohlener Enddruck F.S. bei Nullpunkteinstellung 1100 mbar – <6.65×10 <6.65×10 mbar <5×10 Torr <6.65×10 – 1000 Torr <2.5×10 Torr <3.33×10 <3.33×10 mbar 500 Torr/mbar <10 Torr <1.33×10 <1.33×10 mbar...
- Seite 27 Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz drücken, oder … Taster kurz drücken max. ø1.1 mm … beim Remote Zero am Pin 7 (9-polig) oder am Pin 10 (15-polig) die Versorgungsspannung anlegen (Schema → 21 oder 22, Impulse → 10). Der Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch.
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Seite 28: Adjust Mit Rampenfunktion
<ZERO> Adjust mit Rampenfunktion 4.2.2 Mit der Rampe kann der Nullpunkt bei einem bekannten Refe- renzdruck eingestellt werden, welcher im Messbereich der Messröhre liegt. Weiterhin kann mit der Rampe ein Offset der Kennlinie einge- stellt werden, um • einen Offset vom Messsystem auszugleichen, oder •... - Seite 29 Taster gedrückt halten max. ø1.1 mm • Richtungswechsel (Inversrampe): Den Taster loslassen und innerhalb von 3 … 5 s erneut drücken und halten (die Blinkfrequenz der <STATUS> Anzeige ändert kurz). • Feineinstellung des Zero-Adjust Wertes: Den Taster loslassen und innerhalb von 3 s erneut kurz drücken. Der Wert ändert in Einzelschritten (Taster ca.
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Seite 30: Schaltfunktionen
Schaltfunktionen Die beiden Schaltfunktionen können auf einen beliebigen Druck im ganzen Messbereich der Messröhre eingestellt werden (→ 15). Die aktuellen Schwellwerte • können über den Diagnostik-Port gelesen und geschrieben werden, • stehen nach dem Drücken des Tasters <SP> am D-Sub- Stecker an Stelle des Drucksignales zur Verfügung (→... -
Seite 31: Einstellen Der Schwellwerte
4.3.1 Einstellen der Schwellwerte Die Schwellwerte können eingestellt werden über • die Taster an der Messröhre, • den Diagnostik-Port (→ [5]), • die RS232C-Schnittstelle (→ [5]). GEFAHR Fehlfunktion Falls mit dem Signalausgang Prozesse gesteuert werden, ist zu beachten, dass das Drücken des Tasters <SP>... - Seite 32 Taster drücken max. ø1.1 mm Zum Verändern des Schwellwertes Taster <ZERO> drücken und halten. Der Schwellwert wird ab dem aktuellen Wert kontinuierlich (Rampe) geändert, bis Taster losgelas- sen wird oder die Einstellgrenze erreicht ist. Taster gedrückt halten max. ø1.1 mm •...
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Seite 33: Werkseinstellungen Laden (Factory Reset)
• Feineinstellung des Schwellwertes: Den Taster loslas- sen und innerhalb von 3 s erneut kurz drücken. Der Wert ändert in Einzelschritten. Wird der Taster <ZERO> länger als 5 s nicht mehr ge- drückt, kehrt die Messröhre in den Messmodus zurück. Der obere Schwellwert liegt automatisch um 1% F.S. -
Seite 34: Diagnostik-Port (Rs232C-Schnittstelle)
Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle) Über den Diagnostik-Port <DIAG> können parallel der Messwert und alle Statusinformationen ausgelesen, sowie alle Einstellfunk- tionen vorgenommen werden (→ [5]). → "Zubehör" tina86d1-c (2019-03) -
Seite 35: Ausbau
Ausbau Voraussetzungen: • Vakuumsystem belüftet • Vakuumsystem abgekühlt auf <50 °C Elektrischen Anschluss trennen Messröhre außer Betrieb setzen. Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen. Vakuumanschluss trennen GEFAHR Heiße Oberfläche Das Berühren der heißen Oberfläche (>65 °C) kann zu Verbrennungen führen. Das Produkt außer Betrieb setzen und abkühlen lassen. - Seite 36 GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. Vorsicht Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente.
- Seite 37 Schutzschalen entfernen (nur CDG100D2). Schutzschale Beidseitig öffnen Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutz- kappe aufsetzen. Dichtung mit Zentrierring Schutzkappe Spannelement tina86d1-c (2019-03)
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Seite 38: Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleis- tung. Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen (→ 25). INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. Produkt zurücksenden WARNUNG Versand kontaminierter Produkte Kontaminierte Produkte (z. -
Seite 39: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. WARNUNG Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um- weltschäden verursachen. -
Seite 40: Zubehör
Bestellnummer Kommunikationsadapter (2 m) 303-333 Literatur Gebrauchsanleitung Vacuum Gauge Controller VGC032 tinb02d1 (deutsch) tinb02e1 (englisch) INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein Gebrauchsanleitung Einkanal-Messgerät VGC401 tinb01d1 (deutsch) tinb01e1 (englisch) INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein Gebrauchsanleitung Zwei- & Dreikanal Mess- und Steuergerät VGC402,... -
Seite 41: Etl-Zertifizierung
Gebrauchsanleitung Ein-, Zwei- & Dreikanal Mess- und Steuergerät VGC501, VGC502, VGC503 tina96d1 (deutsch) tina96e1 (englisch) INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein Kommunikationsanleitung Schnittstelle RS232C CDG045D2, CDG100D2 tira49d1 (deutsch) tira49e1 (englisch) INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein Kommunikationsanleitung EtherCAT CDG045D2, CDG100D2 (ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0) -
Seite 42: Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt die Konformität zur EMV-Richtlinie 2014/30/EU und zur RoHS- Richtlinie 2011/65/EU. Produkte Capacitance Diaphragm Gauge ™ Edge CDG045D2 ™ Edge CDG100D2 Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit) •... - Seite 43 Notizen tina86d1-c (2019-03)
- Seite 44 LI–9496 Balzers Liechtenstein +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch www.inficon.com t i na86d1- c...